_{Федеральное агентство по образованию}

ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ (ТГУ)

Физический факультет

Кафедра газовых лазеров

ДИПЛОМНАЯ РАБОТА

Эффективные импульсно-периодические эксимерные лазеры

Романов Всеволод Владимирович

Научный руководитель

д. ф.-м.н, ИСЭ СО РАН

_________Лосев В. Ф.

Автор работы Романов В.В

Томск 2011

1. Введение 1

2. Кинетика

1. Эксимерные молекулы 3

2. Плазмо-химические реакции 4

3. Упрощенная модель кинетики образования XeCl молекулы 6

3. Система возбуждения

1. Механизмы возбуждения эксимерных лазеров 7

2. Возбуждение эксимерного лазера элекронным пучком 7

3. Возбуждение зксимерного лазера разрядом 9

4. Общая характеристика систем предыонизации 11

5. Основные схемы возбуждения ЭЭЛ 12

6. Использование LC-контура для возбуждения

электроразрядных эксимерных лазеров 15

7. Описание схемы LC-инвертора 17

4. Системы прокачки рабочей смеси 19

5. Резонатор лазера

1. Формирование лазерного излучения 22

2. Формирование расходимости выходного излучения при использовании различных типов резонаторов 23

3. Формирование узкой спектральной линии излучения в селективных резонаторах, включающих в себя дифракционные решетки и эталоны Фабри-Перо 28

6. Экспериментальные приборы и методики измерений

1. Приборы и методы измерения 30

2. Погрешности измерений 32

3. Экспериментальные установки и их характеристики 32

7. Исследования формирования качественного излучения

   1. Расходимость выходного излучения сформированного в плоско параллельном резонаторе. 40

   2. Формирование излучения с узкой спектральной линии в селективном резонаторе. 44

8. Литература. 50