Технология СБИС / sbis / metkontr / mkd_rfa

Рентгеновский флюорисцентный анализ (РФА)Рентгеновский флюоресцентный анализ (РФА)Анализируется спектр вторичного рентгеновского излучения, возбуждаемого первичным рентгеновским излучением достаточно высокой энергии. В качестве детекторов излучения используют энергодисперсионные датчики или детекторы, анализирующие распределение регистрируемого излучения по длине волны. В первом случае используются литиево-кремниевые диоды, преобразующие рентгеновские кванты в пропорциональные их энергии импульсы напряжения. Эти детекторы дают разрешение линий 150 - 170 эВ.

Во втором типе детекторов используется кристалл-анализатор, ориентируемый до положения, соответствующего достижению максимального брэгговского отражения. Отраженное от кристалла излучение регистрируется газовым пропорциональным счетчиком квантов. Разрешение метода составляет 5 - 10 эВ, однако единовременно возможно регистрировать только один пик.

Метод РФА позволяет получать качественную и количественную информацию о химическом составе вещества. При этом возможно исследовать диэлектрики из-за относительно малой их зарядки в потоке рентгеновских квантов. В случае исследования многослойных структур необходимо учитывать, что вторичное рентгеновское излучение испускается из слоев, расположенных как вблизи исследуемого участка поверхности, так и на глубине.