Технология СБИС / sbis / metkontr / mkd_orr

Обратное рассеяние РезерфордаОбратное рассеяние РезерфордаЭтот метод применяется для определения наличия аморфных областей или нахождения расположения примесных атомов в кристаллической решетке. Если направление первичного ионного пучка параллельно кристаллографической плоскости высокой симметрии решетки, то можно сказать, что пучок идет вдоль кристаллографических каналов. Ионы отражаются под малыми углами в результате столкновений с ядрами атомов, расположенных в узлах кристаллической решетки, и пучок углубляется в образец на расстояния, много большие, чем при произвольной ориентации "пучок - образец". Вследствие этого, очень сильно снижается интенсивность обратного рассеяния Резерфорда.

Рис. 1.

На рис.1 представлена зависимость интенсивности от угла наклона и от энергии первичного пучка ионов. Нарушения совершенства кристаллической структуры образца (межузельные атомы или линейные дефекты) приводят к значительному повышению интенсивности, при нахождении в области каналирования. В предельном случае аморфного образца интенсивность становится равной интенсивности ОРР от случайно расположенного образца.

Для анализа распределения атомов примеси регистрируют спектры ОРР от образца в случайном положении (Н) и в положении каналирования (НА). Затем сравнивают минимальные интенсивности для сигналов легирующей примеси и для кремния. Атомы примеси в узлах решетки (примеси замещения) экранируются атомами кремния, поэтому не вносят никаких особенностей в интенсивность вторичного пучка. Если же атомы примеси находятся в междоузлиях (примеси внедрения), то отношение интенсивностей НА/Н пропорционально возрастает. По степени этого роста и определяют долю примесных атомов.

Рис. 2.

На рис. 2 приводится примерная схема измерений ОРР. Облучение происходит пучком ионов (обычно Не+) с энергией от 1 до 3 МэВ. Диаметр пучка составляет от 10 мкм до 1 мм.

Метод ОРР часто применяют для химического анализа сложных структур.