Технология СБИС / sbis / metkontr / mkd_rma

Рентгеновский микроанализРентгеновский микроанализИсследуется спектр рентгеновского излучения, генерируемого при попадании электронного пучка микроскопа (энергия Е= 15 - 40 кэВ) на исследуемый объект. Электронная бомбардировка позволяет получить как непрерывный, так и характеристический спектры.

Разрешение метода определяется диаметром первичного электронного пучка (0.1 мкм и 10 нм для просвечивающего и растрового микроскопов соответственно) и объемом образца, в котором возбуждается вторичное рентгеновское излучение.

Чувствительность метода РМА позволяет определять частицы массой примерно 10-15 г, что соответствует золоту размером 10 нм или частице кремния размером 95 нм. Использование просвечивающего микроскопа и повышение энергии электронного пучка до 100 кэВ позволяет выявлять наличие кремниевых частиц размером в 2 нм.

В качестве анализаторов вторичного излучения используются детекторы, аналогичные датчикам, применяемым в методе РФА.