Технология СБИС / sbis / diffuz / diff_fvd

Факторы, влияющие на процесс диффузииФакторы, влияющие на процесс диффузии1) Температурная зависимость коэффициента диффузии.

Экспериментально установлено:  

D = D0exp(-E/kT), 

E - энергия активации. Если построить график D от 1/kT  в полулогарифмических координатах, то получим прямую линию, тангенс угла наклона которой  tg a=E/kT, D0 - константа диффузии - частотный фактор.

Из атомистических моделей - это связано с частотой атомных скачков или частотой колебаний решетки (1013 Гц) не зависит от температуры, E - энергия активации, связанная с энергиями образования дефектов.