17
1 |
3 |
2 |
4 |
5 |
9 |
4′ |
10 |
11 |
7′ 6
7
8
Рис.8. Оптическая схема ИТ-70
Интерферометр для контроля плоских поверхностей
Интерферометры для технологического контроля плоских поверхностей могут быть с зеркальным или линзовым объективом. Первые, в соответствии с размером зеркала, позволяют контролировать детали или блоки диаметром до 350 - 400 [мм], вторые, до 100 - 120 [мм]. В настоящей работе используется интерферометр ИТ-70 с линзовым объективом.
Оптическая схема прибора приведена на рис.8. Здесь светящееся тело 1 спектральной лампы СМР-1 конденсором 2 проектируется в плоскость отверстия диафрагмы 4. В ход лучей вводится светофильтр 3. Свет, отраженный зеркалом 5 , попадает в объектив 6 коллиматора. На выходе из него параллельный пучок падает на эталон 7, проходит через него и попадает на контролируемую поверхность детали 8. Пучки света, отраженные поверхностями детали и эталона накладываются друг на друга и интерферируют. Картина интерференции при помощи светоделительной пластинки 9 проектируется в фокальную плоскость телескопической лупы, состоящей из объектива 10 и окуляра 11.Прибор может быть использован для наблюдения двух - и многолучевой картин интерференции. В последнем случае вместо эталона 7 вводят эталон 7′ со светоделительным покрытием. При использовании двухлучевой интерференции отступление от плоскости может быть измерено с точностью порядка 0,1 полосы, при многолучевой - до 0,05 полосы. На интерферометре можно контролировать плоскопарал