1.4. Четырехслойное просветляющее покрытие

n₂h₂ = n₃h₃= n₄h₄= n₅h₅=λ₀/4 = 600/4 = 150 нм

Находим показатель преломления n₅:

Из таблицы плёнкообразующих материалов выбираем материал с наиболее близким показателем преломления для заданного диапазона λ₁-λ₂=400 – 800 нм

Пленкообразующий материал	Показатель преломления слоя ,n	Методы нанесения	Температура плавления, Тпл, ° С	Область спектра, 1-2, мкм
Фтористый иттрий YF3	1,54– 1,56	И, ИЭ	1136	1>0.3

Рассчитаем минимальный коэффициент отражения по формуле:

Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:

;

;

;

;

;

.

R_1,6= |r_1,6² |

Т_1,6= 1- R_1,6

Для построения спектральной характеристики R_1,6= f(β) и R_1,6 = f(λ) составим таблицы 1.9 и 1.10:

таблица 1.9

n4·h4	0	λ0/4	λ0/2	3λ0/4	λ0
β	0	π/2	π	3π/2	2π
cos2β	1	-1	1	-1	1
r4,6	0,0492	-0,0172	0,0492	-0,0172	0,0492
r3,6	0,03321	0,00127	0,03321	0,00127	0,03321
r2,6	-0,0790	-0,1132	-0,0790	-0,1132	-0,0790
r1,6	-0,18066	0,01015	-0,18066	0,01015	-0,18066
R1,6	0,0326	0,0001	0,0326	0,0001	0,0326
T1,6	0,9674	0,9999	0,9674	0,9999	0,9674

таблица 1.10

λ, нм	400	450	500	550	600	650	700	750	800
β	0,7500	0,6667	0,6000	0,5455	0,5000	0,4615	0,4286	0,4000	0,3750
cos2β	0,0000	-0,5000	-0,8090	-0,9595	-1,0000	-0,9709	-0,9010	-0,8090	-0,7071
r4,6	0,0160	-0,0006	-0,0109	-0,0159	-0,0172	-0,0163	-0,0140	-0,0109	-0,0075
r3,6	-0,0160	-0,0157	-0,0072	-0,0007	0,0013	-0,0002	-0,0034	-0,0072	-0,0107
r2,6	-0,1119	-0,1041	-0,1061	-0,1113	-0,1133	-0,1119	-0,1088	-0,1061	-0,1044
r1,6	-0,1031	-0,0514	-0,0174	0,0037	0,0103	0,0056	-0,0051	-0,0174	-0,0296
R1,6	0,0106	0,0026	0,0003	0,0000	0,0001	0,0000	0,0000	0,0003	0,0009
T1,6	0,9894	0,9974	0,9997	1,0000	0,9999	1,0000	1,0000	0,9997	0,9991
Rсмод	0,0101	0,0025	0,0004	0,0000	0,000103	0,000024	0,000037	0,00034	0,9990

1.5.Анализ результатов расчетов

Для выбора оптимальной конструкции просветляющего покрытия построим графики спектральных зависимостей R= f(λ) для всех типов покрытий в единой системе координат.

Оптимальной будет та конструкция, которая обеспечивает минимальный коэффициент отражения на рабочей длине волны λ₀=600нм и более широкую зону просветления в заданной области спектра.

Таким образом, оптимальным является 4-х слойное оптическое покрытие.

Построим графики спектральных зависимостей R= f(λ) для 4-х слойного покрытия (теоретический и смоделированный):

Обозначим выбранную конструкцию просветляющего покрытия:

ВД– Просветл. 97ИЭ 112 ИЭ 97 ИЭ 110 ИЭ₁₅₀

λ₀ = 600 нм ±20 нм;

ρ_min = 0,006;

λ₁ – λ₂ = 400 – 800 нм.

Материал подложки: ЛК-1 ГОСТ 3514-94;

n_с=1.441

Для данной конструкции просветляющего покрытия составим технологический процесс.