33 / Прил. 1 к покрытию

№

п/п

Пленкообразующие материалы

Плот-

ность,

г/см³

Температура

Характеристики исходных материалов и тонких слоев

⁰С

Материал испарителя

конструкции

ЭЛИ ^*

Приложение 1

Примечание

лодочка

тигель

1

Алюминий Аl

2,7

W

BN

+

Смачивает материалы испарителя; образует сплавы с вольфрамом; реагирует с графитом. Предпочтительны тигли из нитридов

2

Золото Аи

19,3

W.Mo

Мо, С

+

Реагирует с танталом, смачивает вольфрам, молибден

3

Медь Си

8,9

1084

1260

W,Mo,Та

Мо,С,

Аl₂О₃

+

Практически не взаимодействует с тугоплавкими материалами

4

Никель Ni

8,9

1450

1530

W, воль-

фрамовая

фольга,

покрытая

окисью

алюминия

Тугоплавкие

окислы

Аl₂О₃

+

Образует сплавы с тугоплавкими металлами; предпочтительно ЭЛИ

5

Палладий Pd

12

1550

1460

+

Образует сплавы с тугоплавкими металлами; возможна сублимация

6

Платина Pt

21,5

1770

2100

—

ThO₂, ZrO₂

+

Образует сплавы с тугоплавкими металлами; предпочтительно ЭЛИ

7

Серебро Ag

10,5

961

1130

Мо, Та, W

Мо, С

+

Не смачивает вольфрам. Наиболее долговечны тигли из молибдена

8

Хром Cr

7,0

1900

1400

W, Та

-

+

Предпочтительно ЭЛИ

9

Кадмий Cd

8,6

321

265

W, Мо, Та

Окислы

+

Сублимируется; осаждение на стенки приводит в негодность вакуумную систему

10

Титан Ti

4,5

1700

1750

W, Та

С, ТhO₂

+

Вступает в реакцию с тугоплавкими металлами. Предпочтительно ЭЛИ

11

Родий Rh

12,4

1966

2040

-

ТhO₂, ZrO₂

+

Предпочтительно ЭЛИ

№

п/п

Пленкообразующие материалы

Плот-

ность,

г/см³

Температура

⁰С

Материал испарителя

конструкции

ЭЛИ

Показатель

преломления

слоя

Область

спектра

,мкм

Продолжение приложения 1

Примечание

лодочка

тигель

12

Кремний Si

2,4

1410

1350

-

BeO, ZrO₂,

ThO₂, С

+

3,3

> 1,3

Тигли разрушаются расплавленным

кремнием; наиболее чистые слои при ЭЛИ

13

Германий Се

5,4

940

1400

W, Мо, Та

W, С,

А1₂О₃

+

4

> 2

Смачивает тугоплавкие металлы;

растворимость в вольфраме плохая

14

Окись алюминия А1₂О₃

3,97

2030

1800

-

-

+

1,61- 1,65

( Т_подл =

= 300 °С)

0,20 - 7

МСП: А1, О, Al, O₂ , Аl₂О, (А1O)₂

15

Двуокись кремния SiO₂

2,2

1730

1200

-

А1₂O₃

+

1,45—1,46

0,20 - 8

МСП: SiO, O2

16

Двуокись циркония ZrO₂

5,9

2700

2000

-

-

+

1,95 – 2,05

( Т_подл =

= 200 °С)

0,35 - 7

МСП: ZrO, O₂

17

Двуокись церия СеО₂,

7,13

2600

1600

W

+

1,8

( Т_подл =

= 20 °С)

2,4

( Т_подл =

= 350 °С)

0,4 - 16

Предпочтительно ЭЛИ

18

Двуокись титана ТiO₂

4,17

1640

—

+

2,4

( Т_подл =

= 250 °С)

ро₂, =

= 3 _*10^-2 Па)

0,35 – 12

МСП: ТiO, Ti, TiO₂

19

Моноокись титана ТiO₂

4,9

1750

1800

W

+

20

Моноокись кремния SiO

2,1

1705

1080

Мо, Та

-

1,49 – 1,9

0,8 - 8

Показатель преломления зависит

от скорости испарения и давления

кислорода

21

МgО

3.6

2800

1560

-

Al₂O₃

+

1.7

0.25 – 8.5

МСП: MgO, Mg,O₂, O

22

Трехокись молибдена МоО₃

4,1

795

610

Mo, Pt

-

-

2,07

(Т_ПОДЛ =

= 250 °С)

1,83

(Т'подл -

= 20 °С)

> 0,36

МСП: МоО₃, МоО₂

№

п/п

Пленкообразующие материалы

Плот-

ность,

г/см³

Температура

⁰С

Материал испарителя

конструкции

ЭЛИ

Показатель

преломления

слоя

Область

спектра

,мкм

Продолжение приложения 1

Примечание

лодочка

тигель

23

Трехокись вольфрама WO₃

7,16

1473

1140

Mo, Pt

-

-

1,68

> 0,36

MCП: WО₃, WO₂

24

Окись неодима Nd₂О₃

7.24

2272

1900

W

+

1,77

(Тподл =

= 20 °С)

1,88

(Тподл =

= 300°С)

> 0,24

-

25

Окись иттрия Y₂ O₃

4,84

-

+

1,7

(Тподл =

= 20 °С)

1,86

(Тподл =

= 350°С)

> 0,26

26

Окись лантана La₂O₃

6,51

2250

2300

W

-

1,76

(Тподл =

= 20 °С)

> 0,26

27

Окись индия In₂O₃

-

-

Pt

Al₂O₃

+

1,75

> 0,4

MCП: In, O₂, In₂O

28

Двуокись олова SnO₂

-

-

W

SiO₂

+

>1,85

> 0,4

МСП: SnO, O₂

29

Двуокись тория ТhO₂

9,86

3050

300

-

-

+

1,86

(Тподл =

= 200°С)

0,25 - 2

Радиоактивен

30

Окись висмута Bi₂О₃

8,9

820

800

Pt, Мо

-

1,97

> 0,35

-

31

Окись самария Sm₂O₃

-

2350

-

-

+

2,03

> 0,3

32

Окись европия Еu₂О₃

2050

-

+

2,03

> 0,3

33

Окись гадолиния Gd₂O₃

2340

-

+

1,83

> 0,34

№

п/п

Пленкообразующие материалы

Плот-

ность,

г/см³

Температура

⁰С

Материал испарителя

конструкции

ЭЛИ

Показатель

преломления

слоя

Область

спектра

,мкм

Продолжение приложения 1

Примечание

лодочка

тигель

34

Окись диспрозия Dy₂O₃

-

2340

-

-

-

+

1,91

> 0,28

-

35

Окись гольмия Ho₂O₃

2365

-

+

2,00

> 0,25

36

Окись эрбия Ег₂О₃

2290

-

+

1.95

> 0,25

37

Окись туллия Тu₂O₃

2390

-

+

1.91

> 0,29

38

Окись иттербия Yb₂O₃

2346

-

+

1.92

> 0,28

39

Окись лютеция Lu₂O₃

2465

-

+

2.02

> 0,23

40

Двуокись гафния НfO₂

2777

-

+

1,87-2.0

(Тподл =

= 20 °С)

1,94

(Тподл =

= 300°С)

> 0,24

41

Окись скандия Sc₂О₃

2470

-

+

1,78

(Тподл =

= 20 °С)

1,96

(Тподл =

= 350°С)

-

> 0,22

42

Сернистый цинк ZnS

4,8

1850

970

Mo, Та

+

2,3

0,39 – 14,1

Сублимируется

43

Сернистый кадмий CdS

4

1405

680

W, Mo, Та

+

2,5

0,6 - 7

-

44

Сернистая сурьма Sb₂S₃

4,1

550

300

Mo, Та

-

3

0,5 – 1,0

45

Теллуристый свинец РbТе

8,2

917

1100

*

5

4 – 20

46

Теллуристый кадмий

CdTe

5,8

1042

900

-

3,05

0,9 – 15

47

Теллуристый цинк ZnTe

6,3

1238

800

-

5,3

> 1

48

Селенистый кадмий CdSe

5,8

1350

200

-

2,4

0,75 - 25

№

п/п

Пленкообразующие материалы

Плот-

ность,

г/см³

Температура

⁰С

Материал испарителя

конструкции

ЭЛИ

Показатель

преломления

слоя

Область

спектра

,мкм

Продолжение приложения 1

Примечание

лодочка

лодочка

49

Селенистый цинк ZnSe

5,4

1526

500

Mo, Та

-

-

2,58

0,6 - 15

-

50

Фтористый магний MgF₂

3,1

1263

1130

+

1,38

0,21 - 10

МСП: MgF₂,(MgF₂)₂, (MgF₂)₃

51

Фтористый стронций SrF₂

-

-

-

1,43

> 0,85

-

52

Фтористый церий CeF₃

6,2

1460

800

Mo, Та, W

W

+

1,63

0,30 - 5

53

Фтористый иттрий YF₃

-

1136

-

Mo, W

-

+

1.54 – 1.56

> 0,3

54

Криолит Na₃AlF₆

2,9

1000

860

Mo, Ta

-

1,35

0,20 - 14

55

Фтористый кальций CaF₂

3,2

1360

-

Mo, Ta

+

1,23 - 1,46

0,15- 12

56

Фтористый неодим NdF₃

6,5

1410

1300

Mo, Ta, W

Окислы

+

1,61

0,25 - 2

57

Фтористый лантан LaF₃

6,0

1750

1200

Mo, Ta, W

+

1,59

0,22 - 2

58

Фтористый свинец PbF₂

8,2

855

700

Mo, W, Pt

+

1,75

0,25 - 17

59

Фтористый торий ThF₄

6,3

1110

950

Mo, Ta

-

+

1,52

0,25 - 12

Радиоактивен

60

Фтористый литий LiF

2,64

870

870

Mo, Ta, W

+

1,31—1,30

0,11 - 7

Гигроскопичны

61

Фтористый натрий NaF

2,85

988

-

Mo, Ta

-

1,29—1,30

0,25 - 14

62

Фтористый барий BaF₂

4,83

1280

-

W

+

1,38—1,4

0,22 - 9

-

Примечания: 1. Плюс (+) в графе означает возможность электронно-лучевого испарения материала.

2. В области спектра , прозрачность 0,8 < П < 1, где П определяется коэффициентами пропускания и отражения на

заданной длине волны

3. МСП — молекулярный состав пара.