1.3. Трехслойное просветляющее покрытие
1 вариант: n2h2 = n3h3= n4h4=λ0/4
n2h2 = n3h3= n4h4=λ0/4 = 600/4 = 150 нм
Находим показатель преломления n4:
Из таблицы плёнкообразующих материалов выбираем материал с наиболее близким показателем преломления для заданного диапазона λ1-λ2=400 – 800 нм
|
Пленкообразующий материал |
Показатель преломления слоя ,n |
Методы нанесения |
Температура плавления, Тпл, ° С |
Область спектра, 1-2, мкм |
|
Фтористый лантан LaF3 |
1.59 |
И, ИЭ |
1750 |
0,22-2 |
Рассчитаем минимальный коэффициент отражения по формуле:
Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:
;
;
;
;
;
.
R1,5= |r1,52 |
Т1,5= 1- R1,5
Для построения спектральной характеристики R1,5= f(β) и R1,5 = f(λ) составим таблицы 1.5 и 1.6:
таблица 1.5
|
n4·h4 |
0 |
λ0/4 |
λ0/2 |
3λ0/4 |
λ0 |
|
β |
0 |
π/2 |
π |
3π/2 |
2π |
|
cos2β |
1 |
-1 |
1 |
-1 |
1 |
|
r3,5 |
0,0332 |
-0,0651 |
0,0332 |
-0,0651 |
0,0332 |
|
r2,5 |
-0,07900 |
-0,04717 |
-0,07900 |
-0,04717 |
-0,07900 |
|
r1,5 |
-0,18066 |
-0,05624 |
-0,18066 |
-0,05624 |
-0,18066 |
|
R1,5 |
0,0326 |
0,0032 |
0,0326 |
0,0032 |
0,0326 |
|
T1,5 |
0,9674 |
0,9968 |
0,9674 |
0,9968 |
0,9674 |
таблица 1.6
|
λ, нм |
400 |
450 |
500 |
550 |
600 |
650 |
700 |
750 |
800 |
|
β1(nh=λ0/4) |
0,7500 |
0,6667 |
0,6000 |
0,5455 |
0,5000 |
0,4615 |
0,4286 |
0,4000 |
0,3750 |
|
cos2β1 |
0,0000 |
-0,5000 |
-0,8090 |
-0,9595 |
-1,0000 |
-0,9709 |
-0,9010 |
-0,8090 |
-0,7071 |
|
r3,5 |
-0,0160 |
-0,0405 |
-0,0557 |
-0,0631 |
-0,0651 |
-0,0637 |
-0,0602 |
-0,0557 |
-0,0507 |
|
r2,5 |
-0,1119 |
-0,0919 |
-0,0672 |
-0,0517 |
-0,0472 |
-0,0505 |
-0,0580 |
-0,0672 |
-0,0764 |
|
r1,5 |
-0,1031 |
-0,0575 |
-0,0491 |
-0,0538 |
-0,0562 |
-0,0544 |
-0,0512 |
-0,0491 |
-0,0494 |
|
R1,5 |
0,0106 |
0,0033 |
0,0024 |
0,0029 |
0,0032 |
0,0030 |
0,0026 |
0,0024 |
0,0024 |
|
T1,5 |
0,9894 |
0,9967 |
0,9976 |
0,9971 |
0,9968 |
0,9970 |
0,9974 |
0,9976 |
0,9976 |
2 вариант: n2h2 = n4h4=λ0/4
n3h3 =λ0/2
n2h2 = n4h4=λ0/4 = 600/4 = 150 нм
n3h3 =λ0/2=600/2=300 нм
Находим показатель преломления n4:
Из таблицы плёнкообразующих материалов выбираем материал с наиболее близким показателем преломления для заданного диапазона λ1-λ2=400 – 800 нм
|
Пленкообразующий материал |
Показатель преломления слоя ,n |
Методы нанесения |
Температура плавления, Тпл, ° С |
Область спектра, 1-2, мкм |
|
Фтористый лантан LaF3 |
1.59 |
И, ИЭ |
1750 |
0,22-2 |
Рассчитаем минимальный коэффициент отражения по формуле:
Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:
;
;
;
;
;
.
R1,5= |r1,52 |
Т1,5= 1- R1,5
Для построения спектральной характеристики R1,5= f(β) и R1,5 = f(λ) составим таблицы 1.7 и 1.8:
таблица 1.7
|
n4·h4 |
0 |
λ0/4 |
λ0/2 |
3λ0/4 |
λ0 |
|
β |
0 |
π/2 |
π |
3π/2 |
2π |
|
cos2β |
1 |
-1 |
1 |
-1 |
1 |
|
r3,5 |
0,0332 |
-0,0651 |
0,0332 |
-0,0651 |
0,0332 |
|
r2,5 |
-0,07900 |
-0,04717 |
-0,07900 |
-0,04717 |
-0,07900 |
|
r1,5 |
-0,18066 |
-0,05624 |
-0,18066 |
-0,05624 |
-0,18066 |
|
R1,5 |
0,0326 |
0,0032 |
0,0326 |
0,0032 |
0,0326 |
|
T1,5 |
0,9674 |
0,9968 |
0,9674 |
0,9968 |
0,9674 |
таблица 1.8
|
λ, нм |
400 |
450 |
500 |
550 |
600 |
650 |
700 |
750 |
800 |
|
β1(nh=λ0/4) |
0,7500 |
0,6667 |
0,6000 |
0,5455 |
0,5000 |
0,4615 |
0,4286 |
0,4000 |
0,3750 |
|
β2(nh=λ0/2) |
1,5000 |
1,3333 |
1,2000 |
1,0909 |
1,0000 |
0,9231 |
0,8571 |
0,8000 |
0,7500 |
|
cos2β1 |
0,0000 |
-0,5000 |
-0,8090 |
-0,9595 |
-1,0000 |
-0,9709 |
-0,9010 |
-0,8090 |
-0,7071 |
|
cos2β2 |
-1,0000 |
-0,5000 |
0,3090 |
0,8413 |
1,0000 |
0,8855 |
0,6235 |
0,3090 |
0,0000 |
|
r3,5 |
-0,0160 |
-0,0405 |
-0,0557 |
-0,0631 |
-0,0651 |
-0,0637 |
-0,0602 |
-0,0557 |
-0,0507 |
|
r2,5 |
-0,0961 |
-0,0919 |
-0,1289 |
-0,1640 |
-0,1757 |
-0,1672 |
-0,1488 |
-0,1289 |
-0,1119 |
|
r1,5 |
-0,1031 |
-0,0575 |
0,0011 |
0,0551 |
0,0739 |
0,0602 |
0,0314 |
0,0011 |
-0,0242 |
|
R1,5 |
0,0106 |
0,0033 |
0,0000 |
0,0030 |
0,0055 |
0,0036 |
0,0010 |
0,0000 |
0,0006 |
|
T1,5 |
0,9894 |
0,9967 |
1,0000 |
0,9970 |
0,9945 |
0,9964 |
0,9990 |
1,0000 |
0,9994 |
