Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ФРК 2.doc
Скачиваний:
61
Добавлен:
03.04.2015
Размер:
162.82 Кб
Скачать

Таблица 2

Составы и реактивы для выявления дислокационной структуры

монокристаллов

Кристалл

Состав

Условия

травлений

Назначение

LiF

Водный раствор FeCl3, промывка в воде или спирте

30–60 с

Выявление дислокаций и межблочных границ

Ge

Травитель CH-4:

25ч. HNO3

15ч. HF

в растворе СН3СООН

1.5 мин для травления,

2 мин. и больше для полирования

Травление и полирование {111} и {100}. Выявление межблочных и двойниковых границ

Травитель иодный: 10мл. HNO3

5ч. HF

11 мл. СН3СООН

с 30 мг I2 в растворе

4 мин

Травление и полирование {111} и {100}.

Si

Травитель Уита:

3ч. HNO3

1ч. HF

15 сек

Полирующий

Травитель Дэша:

3ч. HNO3

1ч. HF

8–15 ч. СН3СООН

От 1 до 16 час

Травление всех плоскостей. При меньшем количестве СН3СООН скорость травления увеличивается

Травитель SD-1:

18 мл. HNO3

25 мл. HF

5 мл. СН3СООН

2 – 4 мин

Выявляет краевые и смешанные дислокации на всех плоскостях

GaAs

3ч. H2SO4

1ч. Н20

10–30 сек при комнатной температуре

Выявляет дислокации на {111}

Таблица 3

Наиболее распространенные составы реактивов для выявления микроструктуры

Группа сплавов

Состав реактива, мл

Рекомендации по травлению

Углеродистые и низколегированные стали, другие сплавы

  1. Азотная кислота 110, этиловый спирт 100.

  2. Азотная кислота 5, глицерин 100.

  3. Пикриновая кислота 4 г, этиловый спирт 100.

Время травления — до нескольких секунд

Время травления 12 мин

С многократной переполировкой

Высоколегированные и сложнолегированные стали

  1. Соляная кислота 3 части, азотная кислота 1 часть (царская водка)

  2. Соляная кислота 35 мл, пикриновая кислота 14 г, этиловый спирт до 100 мл

  3. Пикриновая кислота 2 5 г, едкий натр 2025 г, вода дистиллированная до 100

С многократной переполировкой

Время травления до 60 с.

Время травления 530 мин при 60

Коррозионно-стойкие стали

Азотная кислота 30, уксусный ангидрид 20.

Реактив наносить тампоном

Алюминиевые сплавы

  1. Соляная кислота 520, этиловый спирт 100

  2. Плавиковая кислота 1020, вода 100

Травить последовательно в составах 1 и 2 по несколько секунд

Сплавы меди, цинка, олова, висмута, свинца и др.

  1. Соляная кислота 100, этиловый спирт 0100

  2. Азотная кислота 10, соляна кислота 5, дистиллированная вода 5

Время травления 110 мин

Травить при 70

Борированные слои

5%-ный спиртовой раствор йода

Время травления 5 с