- •Методы препарирования образцов
- •1.2. Шлифовка и полировка образцов
- •Тонкая шлифовка ………………………………….. 100–10 Грубая полировка …………………………………. 10–1 Тонкая полировка …………………………………. Менее 1
- •1.3. Металлографическое травление
- •Составы реактивов и режимы травления для выявления макроструктуры
- •3.1. Изучение методик и экспериментального оборудования
- •3.2. Определение площади ячейки окулярной сетки
- •Составы и реактивы для выявления дислокационной структуры
- •Наиболее распространенные составы реактивов для выявления микроструктуры
- •4. Контрольные вопросы
- •5. Список рекомендуемой литературы
Таблица 2
монокристаллов
Кристалл Состав
Условия травлений Назначение LiF
Водный
раствор FeCl3,
промывка в воде или спирте 30–60
с
Выявление
дислокаций и межблочных границ Ge
Травитель
CH-4:
25ч.
HNO3
15ч.
HF
в
растворе СН3СООН
1.5 мин для
травления, 2
мин. и больше для полирования
Травление
и полирование {111} и {100}. Выявление
межблочных и двойниковых границ
Травитель
иодный: 10мл. HNO3
5ч.
HF
11
мл. СН3СООН
с
30 мг I2
в растворе 4
мин Травление
и полирование {111}
и {100}. Si
Травитель Уита:
3ч.
HNO3
1ч.
HF
15
сек Полирующий
Травитель Дэша:
3ч.
HNO3
1ч.
HF
8–15
ч. СН3СООН От
1 до 16 час Травление
всех плоскостей. При меньшем количестве
СН3СООН
скорость травления увеличивается
Травитель
SD-1:
18 мл.
HNO3
25
мл. HF
5
мл. СН3СООН 2
– 4 мин Выявляет
краевые и смешанные дислокации на
всех плоскостях GaAs
3ч.
H2SO4
1ч.
Н20 10–30
сек при комнатной температуре Выявляет
дислокации на {111}
Составы и реактивы для выявления дислокационной структуры
Таблица
3
Группа
сплавов
Состав
реактива, мл Рекомендации
по травлению
Углеродистые
и низколегированные стали, другие
сплавы
Азотная
кислота 110,
этиловый спирт 100.
Азотная
кислота 5, глицерин 100. Пикриновая
кислота 4 г, этиловый спирт 100.
Время
травления — до нескольких секунд
Время
травления 12 мин
С
многократной переполировкой
Высоколегированные
и сложнолегированные стали
Соляная
кислота 3 части, азотная кислота 1
часть (царская водка)
Соляная
кислота 35
мл, пикриновая кислота 14 г,
этиловый спирт до 100 мл
Пикриновая
кислота 2
5 г, едкий натр 2025 г,
вода дистиллированная до 100
С
многократной переполировкой
Время
травления до 60 с.
Время
травления 530 мин
при 60
Коррозионно-стойкие
стали
Азотная
кислота 30, уксусный ангидрид 20.
Реактив
наносить тампоном
Алюминиевые
сплавы
Соляная
кислота 520,
этиловый спирт 100
Плавиковая
кислота 1020,
вода 100
Травить
последовательно в составах 1 и 2 по
несколько секунд
Сплавы
меди, цинка, олова, висмута, свинца и
др.
Соляная
кислота 100, этиловый спирт 0100
Азотная
кислота 10, соляна кислота 5,
дистиллированная вода 5
Время
травления 110 мин
Травить
при 70
Борированные
слои
5%-ный
спиртовой раствор йода
Время
травления 5 с
Наиболее распространенные составы реактивов для выявления микроструктуры