Таблица 2

Составы реактивов и режимы травления для выявления макроструктуры

Выполняемая задача	Состав реактива, мл	Режимы травления
Общий анализ макроструктуры, дендритное строение, распределение легирующих элементов, включений, примесей	Азотная кислота 15, дистиллированная вода 100. Хлорное железо 125 г, соляная кислота 150, вода 100120. Хлорное железо 200 г, азотная кислота 300, вода 100 4 % раствор пикриновой кислоты в этиловом спирте 10 % раствор азотной кислоты в этиловом спирте	Время травления 3060 с. Протирка тампоном 1050 с. Протирка тампоном 15 мин Время травления 1,5…6 ч.
Исследование ликвации марганца, серы, мышьяка анализ неметаллических включений в стали	Йод 150 г, этиловый спирт 100 Хлорная медь 1 г, пикриновая кислота 0.5, соляная кислота 1.52.5, вода 10 2%-ный водный раствор соляной кислоты Хлористоамиачная медь 515 г, вода до 100	Время травления до 10 с Время травления 1520 с Время травления 1 мин
Анализ микроструктуры латуней	Водный раствор хромпика 50100, серная кислота 10	Подогрев до 60
Выявление включений и пор в стали	Азотная кислота 10, соляная кислота 20, серная кислота 10, вода 60	Время травления 5 мин

ВЫПОЛНЕНИЕ РАБОТЫ

3.1. Изучение методик и экспериментального оборудования

1. Изучить метод выявления дислокаций путем избирательного травления

2. Ознакомится с устройством и принципом работы металлографического микроскопа МИМ–7.

3. Установить пробный образец на столик микроскопа и получить изображение поверхности объекта.

3.2. Определение площади ячейки окулярной сетки

1. Установить на микроскопе 20^х окуляр с сеткой, объектив F=8.2.

2. Положить на столик микроскопа объект-микрометр. Настроить микроскоп так, чтобы в поле зрения была видна шкала объект- микрометра (цена деления шкалы – 10 мкм).

3. Совместить ячейку окулярной сетки со шкалой и измерить длину стороны ячейки а в мкм.

4. Определить площадь ячейки окулярной сетки при данном увеличении по формуле S = a².

3. Определение плотности дислокаций

1. Получить у преподавателя полированный и травленый образцов монокристаллов полупроводников.

2. Произвести общий осмотр полученных образцов при малом увеличении. Найти выходы дислокаций, малоугловые границы, включения и др.

3. Определите тип симметрии ямки травления. Используя информацию о пространственной группе симметрии кристалла, оцените индексы Миллера изучаемой грани.

4. Произвести подсчет числа дислокаций в нескольких ячейках, результаты измерений занести в протокол испытаний.

5. Обработать результаты измерений. Рассчитать среднее число ямок травления в ячейке, среднеквадратичное отклонение и определить плотность дислокаций.

6. Построить гистограмму распределения плотности дислокаций в кристалле.

Протокол испытаний:

Длина стороны ячейки а = … , мкм

Площадь ячейки S = a² = … , см²

Номер ячейки	Число ямок травления на ячейку
	Z	W	U	X = Z + 0.5W + 0,25U
1 2 … 20
Среднее:
Среднеквадратичное отклонение:

Плотность дислокаций:  = …, см^–2.