Производственно-экологическая безопасность

Часть 3 Производственно-экологическая безопасность

Выполнил студент группы АиЭм-54

Шакало Д.В.

Консультант Ключников А.В.

Введение

В данном дипломном проекте исследуется кластерная установка для получения подзатворной диэлектрической структуры. В состав установки входят четыре основные технологические модуля: модуль пирогенного окисления, два модуля осаждения поликремния и модуль осаждения Si₃N₄ соответственно. Установка содержит электрическую и вакуумную и газовые схемы. Далее будет дан анализ источников опасности и приведены меры по обеспечению производственно-экологической безопасности при работе на данной установке. Особое внимание уделено правилам техники безопасности при работе с газами.

Анализ источников опасности при работе установки.

При испытаниях, монтаже, эксплуатации и всех видах технического обслуживания системы могут возникнуть следующие виды опасности и вредности:

• электроопасность;

• пожароопасность;

• взрывоопасность;

• опасность термических ожогов;

• опасность химических ожогов;

• отравление токсичными газами;

• опасность пореза кварцевым стеклом.

Источники электроопасности.

Источниками электроопасности в системе загрузочной бесконтактной являются:

• панель распределительная;

• блок управления загрузкой;

Источниками электроопасности в электропечи являются:

• силовые трансформаторы;

• пускатели магнитные;

• блоки тиристоров;

• выводы и шины камер нагревательных;

• устройства индикации;

• цепи ввода сетевого питания;

• разъемы преобразователей измерительных;

Источниками электроопасности в посту управления ПУ-4 являются:

• блоки управления;

• панель распределительная;

Источниками электроопасности в устройствах газораспределения являются:

• плата трансформаторов;

• панель пускателей;

• блок вентиляторов

• блок управления пирогенным окислением;

Источники пожароопасности.

Источниками пожароопасности в системе являются:

• водорород H₂;

• кислород O₂;

Источники взрывоопасности.

Источниками взрывоопасности в системе являются:

водорород H₂в смеси с кислородом O₂при превышении соотношения объемных расходов в воздухе или кислороде.

Источники прочих опасностей.

Источниками опасности термических ожогов в системах могут быть камеры нагревательные электропечи, кварцевая камера и кожух нагревательного устройства водородной горелки, крышка заслонки, лодочки с пластинами, размещенные на носителе системы загрузочной, хвостовик носителя лодочек.

Источником опасности химических ожогов является хлористый водород при негерметичности газовых магистралей.

Источником опасности отравления токсичными газами является хлористый водород при негерметичности газовых магистралей.

Источниками опасности пореза кварцевым стеклом могут быть камеры испарителя и водородной горелки, реактор, крышка заслонки, крышка держателя, лодочки, имеющие неоплавленные края.

Выбор принципов производственной безопасности при работе на установке.

Различают четыре метода по организации производственной безопасности работающих:

метод А - пространственное или временное разделение гомосферы и ноксосферы. Метод реализуется при механизации, автоматизации, дистанционном управлении. использовании робототехники;

метод Б - применение принципов безопасности к совершенствованию производственной Среды (ноксосферы); приведение характеристик ноксосферы в соответствии с характеристиками человека; создание безопасной техники (адаптация окружающей Среды к человеку);

метод В - повышение защитных свойств человека при помощи соответствующих средств защиты (СЗ); адаптация человека к ноксосфере (обучение, применение индивидуальных СЗ и др.);

метод Г - комбинация мероприятий.

Далее будет подробнее описаны конкретные применения вышеописанных методов