LUCKY / INT

Содержание

Аннотация......................................................................................1

Введение.......................................................................................3

Расчетно-конструкторская часть...........................................

Преимущества кластерного оборудования........................8

Технология получения слоя оксида кремния методом пирогенного окисления..............................................................11

Установка нанесения слоя подзатворного диэлектрика..13

Тепловой и электрический расчет нагревателя пирогенной горелки..............................................................................39

Технологическая часть.........................................................

Конструктивно-технологические особенности детали.....58

Маршрутная карта...................................................................61

Расчет режимов резания.......................................................65

Расчет штучного времени......................................................85

Производственно-экологическая безопасность.............

Введение..................................................................................89

Анализ источников опасности при работе установки......89

Выбор принципов производственной безопасности

при работе на установке.......................................................92

Правила техники безопасности при работе с газами.......93

Общие правила техники безопасности при работе на

данной установке....................................................................95

Экологическая безопасность..............................................100

Расчет вытяжной вентиляции............................................102

Краткие выводы....................................................................104

Организационно-экономическая часть.............................

Введение................................................................................106

Специфика кластерного оборудования применительно

к технико-экономическим показателям

проектируемого участка.......................................................107

Расчет основных технико - экономических

показателей участка.............................................................108

Сводная таблица рассчитанных технико-

экономических показателей участка.................................118

Заключение............................................................................120

Заключение.......................................................................121

Литература.........................................................................123

Приложения.......................................................................124

Аннотация

Темой дипломного проекта является «Разработка модуля кластерной установки группового пирогенного окисления пластин кремния».

В дипломном проекте приведен обзор развития кластерного оборудования, отмечены преимущества и недостатки различных видов компоновки модулей.

Дипломный проект содержит четыре части:

1. Расчетно - конструкторская.

2. Технологическая.

3. . Производственно - экологическая безопасность.

4. Организационно - экономическая

В 1-ой части дипломного проекта дано краткое описание процесса пирогенного окисления пластин кремния, описание установки: состав, порядок работы, управление. Разработана и описана программа, предназначенная для теплового и электрического расчета нагревателя пирогенной горелки модуля пирогенного окисления. Описаны особенности конструкции и эксплуатации установки. В 2-ой части разработан технологический процесс изготовления опорной стойки реактора пирогенного окисления. Рассчитаны режимы резания, дано полное обоснование выбора технологического маршрута. Наиболее характерные и интересные операции отображены на соответствующих чертежах.

В 3-ей части произведен расчет технико-экономических показателей производственного участка.

В 4-той части произведен анализ опасных и вредных факторов, возникающих при эксплуатации установки пирогенного окисления, описаны меры безопасности, которые необходимо предпринимать при работе с горючими, взрывоопасными и токсичными газами, а также описаны особенности системы управления и конструкции модуля, направленные на обеспечение взрыво- и пожаробезопасности установки.

Заключение.

В результате выполнения дипломного проекта:

Был проведен анализ перспектив развития специального технологического оборудования для микроэлектронного производства, показана эффективность применения в ближайшем будущем кластерного оборудования. Для частного случая получения оксидных слоев разработан модуль пирогенного окисления для кластерной многофункциональной установки. Наиболее подробно проработан узел пирогенной горелки

Разработан алгоритм расчета мощности нагревателя в для трубчатой печки пирогенной горелки с концентрическим расположением газовых труб. На его базе создана программа теплового и электрического расчета нагревателя пирогенной горелки.

Разработан технологический процесс изготовления детали «Стойка». Проведен расчет режимов резания и штучного времени. Опираясь на полученные данные был сделан выбор оборудования и технологической оснастки для технологического процесса.

Проведена оценка технико-экономических показателей разрабатываемого участка. По полученным данным возможно провести обеспечение цеха персоналом, расходными материалами, оценить себестоимость и оптовую цену изготавливаемых изделий, оценить необходимые капитальные вложения.

Были выявлены факторы, которые могут отрицательно влиять на здоровье персонала и окружающую среду при эксплуатации установки, а также дан анализ методов и средств защиты человека от вредностей и опасностей, возникающих в процессе работы, а также методов защиты окружающей среды.

Литература.

1. “ Многокамерные установки с интеграцией технологических операций в производстве ультрабольших интегральных схем “. (аналитический обзор)

2. Частное техническое задание на этап теоретической разработки научно-исследовательской работы “ Разработка и исследование физико-термического оборудования с вертикальными реакторами групповой обработки пластин в технологии СБИС 4-16М “.

3. Техническая документация по теме «Осада - Ось-1» АО НИИТМ.

4. Отчет по теме «Осада 200».

5. Справочник технолога - машиностроителя. Том 1-2.

6. Расчет основных технико-экономических показателей участка. В.Я. Лякса-Тиминский

Дипломный проект

*МГИЭТ(ТУ) 1997г.*