Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Презентации Тв эл / 7. Спецприборы.ppt
ПРИБОРЫ С ЗАРЯДОВОЙ
СВЯЗЬЮ (ПЗС)
диэлектрик- полупроводник
d 2 |
0 |
d 2 |
|
|
|||
dx |
2 |
dx |
2 |
|
|||
Si 0 |
|||||||
|
|
|
|
||||
|
Структура металл- |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
диэлектрик- |
|
|||||||
|
d 2 |
|
полупроводник |
|
||||||||||
• |
dx 2 0 |
xd |
x 0 |
– для окисного |
||||||||||
|
слоя; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
q NA |
||||
|
dx2 |
|
Si 0 |
|
|
|
|
|||||||
• |
|
|
|
|
|
|
|
– для Si, |
||||||
d 2 |
|
|
|
|
|
|
|
q NA |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
dx2 |
|
|
Si 0 |
Si 0 |
|
|
|||||||
|
Cох /об |
|
SiO2 0 |
|
Cd |
Si o |
||||||||
|
|
d |
xd |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Структура металл-
диэлектрик-
полупроводник 2 |
|
|
|
|
|
|||||||
|
q NA |
|
x xd |
|
,0 x xd |
|||||||
2 Si 0 |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
S пов |
|
q NA |
|
x |
2 |
||||
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d |
|||
|
|
|
|
|
|
2 Si 0 |
|
|||||
|
|
|
S |
|
2 B |
|
||||||
|
|
B |
k T |
ln |
NA |
|
||||||
|
|
|
q |
ni |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
ns n0 exp s 
T
Структура металл-
диэлектрик- полупроводник
Uпор Uз ( 2 B ) 2 |
B |
4 Si 0 q NA |
|
Cox |
|||
|
|
Заряды в окисле
ПЗС с поверхностным каналом (ПК)
ПЗС
Формирователи видео сигналов (ФВС)
Ф1
Ф2
Тнакопл |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Тперед |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|||||||||
|
|
Выходной сигнал