
Лебедев А.И. Физика полупроводниковых приборов
.pdf32 |
Гл. 1. Полупроводниковые диоды |
Таким образом, основные отличия вольт-амперных характеристик диодов в модели Са-Нойса-Шокли от их характеристик в модели тонкого р-п-перехода состоят в следующем:
1) уменьшении |
наклона |
зависимости l n J ( V ) в прямой ветви |
(ср. формулы |
(1.38) и |
(1.30)), |
2)появлении зависимости обратного тока от напряжения смещения и
3)ослаблении зависимости обратного тока от температуры (ср. формулы (1.36) и (1.31)).
Взаключение имеет смысл сопоставить значения генерационного тока при обратном смещении и тока насыщения в модели
тонкого р-п-перехода. Для оценки предположим, что LN — LP, тп = тр, rtpo = рпо и nt ~ pt — щ. Тогда плотность обратного тока
в модели Шокли равна J3 |
= 2qLnripo/Tn, |
а плотность |
генераци- |
|||
онного тока — Лен = Ящ№/2тп, откуда |
|
|
||||
|
^ |
|
|
|
|
( , 4 0 ) |
|
Js |
4 Про Ln |
4 щ |
Ln |
|
|
Для |
резкого р-п-перехода |
из Si с |
N<J ~ NA = 4 • 1015 |
см"3 тол- |
||
щина |
W составляет |
0,66 |
мкм. Тогда при характерном |
значении |
||
Ln « |
50 мкм и комнатной температуре {щ « Ю10 с м - 3 ) |
получаем |
||||
Лен/Л « 1400. |
|
|
|
|
|
|
Из проведенной оценки становится ясным, почему |
в р-п-пе- |
реходах, изготовленных из полупроводников со сравнительно широкой запрещенной зоной (то есть малыми я*), в области обратных и небольших прямых смещений преобладает генерационно-рекомбинационный ток. Действительно, при небольшом прямом смещении высота потенциального барьера в р-п-переходе слишком велика, чтобы заметное число носителей могло преодолеть этот барьер, а вот двум носителям преодолеть барьеры приблизительно вдвое меньшей высоты (чтобы захватиться на центр рекомбинации) гораздо проще.
Существование двух механизмов протекания тока через р-п- переход позволяет объяснить причину изменения наклона зависимости l n J ( V ) , наблюдаемого при прямом смещении в диодах из Si и GaAs (см. рис. 1.5). В этих полупроводниках, имеющих достаточно широкую запрещенную зону, при небольшом смещении на р-n-переходе диффузионная компонента тока слишком мала и поэтому в этой области напряжений преобладает рекомбинационный ток. Однако поскольку диффузионный ток нарастает с увеличением V быстрее рекомбинационного тока, то при достаточно больших напряжениях смещения диффузионный ток
/. 2. Волып-амперная |
характеристика р-п-перехода |
33 |
становится преобладающим |
и наклон кривой In J(V) изменяется |
от q/2kT до q/kT.
1.2.3. р-п-переход при высоких уровнях инжекции. Па-
дение напряжения при протекании тока через толщу р- и п- областей диода и контакты всегда немного искажает вольтамперную характеристику. Иногда эти изменения удается описать введением некоторого последовательного сопротивления R$, которое при протекании через диод тока I увеличивает падение напряжения на диоде на величину IRS.
|
Однако при высоких плотностях тока через р-п-переход |
||
на |
вольт-амперную характеристику начинают влиять эффек- |
||
ты |
модуляции |
проводимости |
областей диода, и это влия- |
ние |
уже нельзя |
учесть простым |
введением последовательного |
сопротивления. Наиболее ярко эти эффекты выражены в асимметрично легированных р-п-переходах, в которых база диода
слабо легирована.
Рассмотрим в качестве примера р+ -п-переход. Если на него подать большое прямое смещение, то концентрация инжектированных в n-область дырок Ар может превысить равновесную концентрацию электронов по в этой области. Чтобы скомпенсировать заряд инжектированных носителей и обеспечить локальную электронейтральность базы, с контакта в объем п-области подходят избыточные электроны, локальная концентрация которых возрастает на Д п = п - по « Др. 2) Как мы покажем ниже, в этих условиях вольт-амперные характеристики диода существенно изменяются. Оценка плотности тока, отвечающей
условию Др = по, для n-Si |
с по = |
4 • 1015 с м - 3 |
и Lp = 50 мкм |
дает Jp = qDpAp/Lp « 1 , 6 |
А/см2 . |
Поскольку |
выпрямительные |
диоды обычно работают при плотностях тока 10-100 А/см2 , анализ случая высокого уровня инжекции представляется весьма актуальным.
Рассчитаем вольт-амперную характеристику |
|
короткого |
р+ -п-перехода (диода с тонкой базой) в случае, |
когда кон- |
|
центрация инжектированных дырок сравнима или |
превышает |
ОЭта ситуация очень характерна для силовых выпрямительных диодов, которые работают при высоких плотностях тока и в которых для получения высокого напряжения пробоя база диода намеренно легируется довольно слабо (см. п. 1.3).
2) Здесь и далее в этом разделе мы предполагаем, что в полупроводнике
нет глубоких уровней, способных изменять свое зарядовое состояние при инжекции дырок. Случай, когда это условие не выполняется, подробно разобран В [8].
2 А.И. Лебедев
34 Гл. 1. Полупроводниковые диоды
концентрацию равновесных электронов в базе диода. Мы наме-
ренно рассматриваем случай короткого |
диода^ поскольку из-за |
|||
одностороннего характера инжекции в асимметрично легирован- |
||||
ном р-п-переходе и несущественности |
рекомбинации |
(толщина |
||
n-области Хп мала по сравнению |
||||
с |
диффузионной |
длиной дырок) |
||
в |
этом |
случае |
можно |
считать, |
что ток переносится в основном |
||||
дырками, а плотность тока элек- |
||||
тронов Jn та 0. |
|
|
||
|
Из условия |
|
|
о Х п |
Xп |
X |
|
|
|
dfi |
(1.41) |
|
Рис. 1.7. Энергетическая диаграм- |
|
Jn = qnjj,nE + qDn— = 0 |
||||||
ма р+-п-диода в условиях высокого |
следует, |
что |
в базе диода |
возни- |
||||
уровня инжекции |
|
кает объемное электрическое по- |
||||||
|
|
|
||||||
ле (см. рис. 1.7), напряженность |
которого равна |
|
||||||
I |
^ _ |
|
I |
d n |
VTldp |
(1.42) |
||
п |
dx |
q |
п |
dx |
q |
n dx' |
||
|
где последнее соотношение следует из условия локальной электронейтральности, Д п « Др. Это поле создает в n-области ток дрейфа дырок, направленный в том же направлении, что и их диффузия. При высоком уровне инжекции ( р « п > по) полная плотность тока дырок равна
JP = qfJyp£-qDp^ |
= —qDp ^ 1 + ^ |
Если исключить из рассмотрения омическое падение напряжения на n-области, то разность потенциалов, связанная с возникновением этого объемного поля, равна
|
|
Хп |
|
|
, |
|
kT , |
uq |
|
||
|
£dx |
Г J_ dn |
|
= |
(1.44) |
||||||
|
Я J |
— |
d x |
q |
In |
n(xn) |
|||||
|
|
n dx |
|
|
|
|
|
||||
|
|
Xn |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где n(x n ) |
— концентрация |
электронов |
на границе |
р-п-перехода. |
|||||||
При выводе этого |
уравнения |
мы |
полагали, |
что |
на |
контакте |
|||||
к n-области п(Хп) |
= щ, |
то есть |
достигающие |
контакта дырки |
|||||||
уходят из |
образца. 1) Обозначая |
через Vq величину |
смещения |
') Для этого необходимо, чтобы скорость поверхностной рекомбинации на контакте была достаточно велика (см. п. 1.5).
1.2. Вольт-амперная характеристика |
р-п-перехода |
35 |
на самом р-п-переходе (без учета объемного поля) и учитывая, что при высоком уровне инжекции п(хп) « р(хп) = = рп оехр(9^о/ЛТ), преобразуем уравнение (1.44) к виду
П0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Я |
ехр |
кТ |
|
|
q |
J |
m |
|
+ VQ. |
|
(1-45) |
|
|
|
|
\ г ц |
|
|
|
||||
Поскольку приложенное |
к диоду |
смещение |
равно сумме, |
V = |
|||||||
= Vo + Vv, то |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
V = Vq + VV = 2VQ + |
|
Inf — 1 , |
|
(1.46) |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
V Щ |
|
|
|
|
откуда |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Vo |
V |
кТ |
In |
(?) |
|
|
|
(1.47) |
||
|
2 |
Я |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Теперь, выражая |
плотность |
диффузионного |
тока Jp, |
рассчиты- |
|||||||
ваемую по формуле (1.43), через приложенное напряжение V, |
|||||||||||
находим |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
dp |
2qDp Рпо |
ехр |
яУо |
|
|
|
|
|
|||
X « -2qDр dx Х~Хп |
Хп |
Хп |
кТ |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
2 q |
D p U |
i |
|
c:JqV~ |
• |
(1-48) |
|
|
|
|
Х п |
— Хп |
|
V2/сТ |
При выводе этой формулы мы предположили, что напряженность электрического поля в базе диода (1.42) не слишком велика, так что распределение концентрации дырок в базе можно описать линейной функцией, как в коротком диоде. ')
Из формулы (1.48) следует, что при высоком уровне инжекции вольт-амперная характеристика диода действительно
изменяется, причем ее наклон |
в полулогарифмическом |
масшта- |
|||
бе становится |
вдвое |
меньше, |
чем при низком уровне |
инжек- |
|
ции. Физический смысл этого |
|
изменения состоит в том, что |
|||
при высоком |
уровне |
инжекции |
из-за увеличения локальной |
||
концентрации |
электронов в базе |
(которые компенсируют заряд |
') Проверка условия малости поля (см. с. 134) показывает, что это предположение можно считать еще применимым.
2'
36 |
Гл. 1. Полупроводниковые диоды |
инжектированных дырок) в соответствии с формулой (1.4) контактная разность потенциалов фк в р-п-переходе также возрастает, причем изменяется с ростом тока вдвое медленнее по сравнению с приложенным к диоду напряжением. Очевидно, что этот вывод о возрастании фк с увеличением уровня инжекции остается верным и для диодов с произвольной толщиной базы. О
Расчет вольт-амперных характеристик р-п-перехода с тол- стой базой и омическим тыловым контактом в условиях высокого уровня инжекции был выполнен Стафеевым [9]. Им было показано, что для произвольного отношения толщины базы к амбиполярной длине диффузии 2) W/La значение фактора идеальности т в зависимости J ~ e x p ( q V / m k T ) равно
т = |
(1.49) |
где b = Дп/Мр |
отношение подвижностей электронов |
и дырок. |
Значение т « |
2, следующее из этой формулы при |
W/La «с |
1, согласуется с полученным выше результатом. Эта формула предсказывает, что с ростом W/La наклон зависимости In J от У
впрямой ветви должен становиться все более пологим. Расчет вольт-амперных характеристик для случая высокого уровня инжекции при разных граничных условиях и с учетом перезарядки глубоких уровней можно найти в [8].
При еще более высоких плотностях тока электрическое поле
вбазе диода становится настолько сильным, что изменяется само пространственное распределение инжектированных носителей в п-области [2]. В этой ситуации мы больше не можем пользоваться уравнением (1.26), которое является частным случаем уравнения непрерывности и применимо только в случае слабого электрического поля, и должны искать более общее решение.
К сожалению, решение этой задачи в общем виде слишком сложно, поэтому рассмотрим случай очень высокой плотности тока, когда в уравнении непрерывности можно пренебречь
') Еще одним следствием высокого уровня инжекции, следующим из описанной качественной картины, является увеличение отношения токов J n / J p с
ростом уровня инжекции. В п. 2.2.3 мы увидим, что этот эффект определяет уменьшение коэффициента усиления биполярных транзисторов, работающих в области больших токов.
При высоком уровне инжекции (р « п) при вычислении диффузионной длины по формуле L = y/Dr мы должны использовать амбиполярный коэф-
фициент диффузии, определяемый формулой (1 25). Полученная величина Ь а называется амбиполярной длиной диффузии.
/ . 2. Волып-амперная характеристика р-п-перехода |
37 |
диффузионным током по сравнению с дрейфовым током. 1) Тогда уравнение непрерывности для дырок (1.21) в одномерном стационарном случае приобретает вид
I |
= |
Р-РпО |
(1.50) |
q dx |
|
т. |
|
|
|
р |
|
Если через образец протекает ток плотностью J, то напряженность локального электрического поля Е(х) в квазинейтральной области, в которой локальные концентрации носителей связаны соотношением р(х) « п(аг) — по, равна
^ |
= Щ |
= gj«p [(Ы - 1Ж®) + Ьтю]' |
° ' 5 1 ) |
где b ~ р^пЫр — отношение подвижностей электронов и дырок, которое мы будем считать не зависящим от концентрации носителей. Из формулы (1.51) следует, что плотность дырочного тока равна
Jp = WpP&)£(x) |
= |
|
|
||
Jp{x) |
|
|
|
(1.52) |
|
(.b + l)p(x) + bn0 |
(b + |
1) + |
Ьщ/р{х) ' |
||
|
|||||
Подставляя (1.52) в уравнение (1.50), получаем |
|
||||
JbriQ |
1 dp |
р Pno |
(1.53) |
||
q[(b + 1) + bno/p(x)]2 |
p2 dx |
TP |
|||
|
При высоком уровне инжекции (n « р > no > рпо) в левой части этого уравнения можно пренебречь слагаемым Ьпо/р по сравнению с ( Ь + 1 ) , а в правой части — пренебречь величиной рпо по сравнению с р. Поскольку, в соответствии с формулой (1.35), при высоком уровне инжекции тр не зависит от р, то после разделения переменных уравнение непрерывности приводится к виду
jTpbno dp |
. - ч |
1) Условия» в которых можно пренебречь током диффузии по |
сравнению |
с током дрейфа, легко реализуются в диодах с очень толстой базой |
(W/La > |
> 20). В таких диодах при достаточном удалении от р-n-перехода градиент концентрации инжектированных носителей становится очень малым и при высокой плотности тока носители в этой части диода переносятся за счет дрейфа.
38 |
Гл. 1. Полупроводниковые |
диоды |
|
|
Интегрирование |
этого |
уравнения от |
х — хп |
до х — Хп дает |
уравнение, связывающее |
ток, концентрации |
инжектированных |
||
носителей в двух точках n-области и ее |
длину: |
d = = ЯътЬ ( ж ) " ? ( Ь ) • ( 1 5 5 )
Падение напряжения на n-области можно найти интегриро-
ванием |
уравнения (1.51), в |
котором мы также |
полагаем, что |
||
п « р » |
по: |
|
|
|
|
|
х п |
Хп |
dx |
|
|
U = U(Xn) - U(xn) = |
Sdx ^ |
(1.56) |
|||
|
|||||
|
Хп |
д д р ( Ь + 1) t |
р ( х ) ' |
|
|
|
Хп |
|
|
Чтобы вычислить последний интеграл, сделаем замену переменных, подставив дифференциал (1.54) в подынтегральное выражение в (1.56) и перейдя тем самым от интегрирования по х к интегрированию по р. В результате получаем
3 \ Ь п о |
( |
1 |
1 _ \ |
Если скорость поверхностной рекомбинации на контакте и про-
пускаемый |
ток таковы, что |
выполняется соотношение |
р{хп) |
» |
|
» р(Хп) |
по, то в уравнениях (1.55) и (1.57) можно пренебречь |
||||
слагаемыми, содержащими р{хп), |
и после несложных |
преобра- |
|||
зований выразить плотность |
тока |
через падение напряжения |
на |
||
п-области: |
|
|
|
|
|
|
J |
|
rt. |
(1.58) |
|
|
О |
o r |
|
|
|
Полученная квадратичная зависимость тока от напряжения на- зывается законом Momma и часто наблюдается в высокоомных полупроводниках при высокой плотности протекающего тока. 1)
]) Следует заметить, что квадратичная зависимость тока от напряжения может иметь различную природу. В рассмотренном нами случае она возникала из-за особенностей пространственного распределения носителей, рекомбини- рующих в процессе дрейфа в сильном электрическом поле, Точно такая же зависимость, отличающаяся лишь заменой времени жизни иа максвелловское время релаксации та/, получается в случае так называемых токов, ограниченных пространственным зарядом [1, 10], которые возникают, когда время пролета носителей через образец становится сравнимым с т м и распределение электрического поля в образце становится неоднородным. В последнем случае
рекомбинация носителей не играет особой роли.
/. 2. Волып-амперная характеристика р-п-перехода 3d
Наконец, при сверхвысоких плотностях тока, когда величина тока ограничена скоростью рекомбинации на контакте, база диода практически однородно «заливается» инжектированными носителями и вольт-амперная характеристика полупроводниковой части структуры на этом участке принимает вид J
Изучение силовых выпрямительных диодов и тиристоров показывает, что сделанные выше предположения о неизменности р и т не
выполняются при очень высоком уровне инжекции. При концентрациях |
||
р и п > 3 • 10'® см- 3 становится |
существенным взаимное |
рассеяние |
электронов и дырок, отношение |
их подвижностей стремится к 1, |
|
а сами подвижности изменяются приблизительно как |
[11]. |
Так, в р-г-п-диодах из Ge подвижность носителей при плотности тока 100 А/см2 падает почти вдвое (12). Понятно, что усиление рассеяния может изменить рассчитанные выше вольт-амперные характеристики приборов. При еще более высокой концентрации инжектированных носителей (>1018 см- 3 ) большую роль начинает играть Оже-рекомбинация, которая сильно уменьшает их время жизни.
Таким образом, проведенный на- |
|
||||||
ми анализ показывает, что в ре- |
|
||||||
альных диодах прямые ветви вольт- |
|
||||||
амперных характеристик могут иметь |
|
||||||
до четырех участков с качественно |
|
||||||
различным |
поведением |
(см. рис. 1.8). |
Ь£ |
||||
При |
низком |
напряжении |
смеще- |
||||
|
|||||||
ния |
V |
(участок /) |
ток |
через |
|
||
р-п-переход |
определяется рекомби- |
|
нацией в области пространственного заряда. При увеличении V (участок 2) ток начинает определяться инжекцией неосновных носителей. При достижении условия высокого уровня инжекции (участок 3) ток продолжает определяться инжекцией, но наклон вольт-амперной
V
Рис. 1.8. Качественный вид прямой ветви вольт-амперной характеристики диода
характеристики в |
полулогарифмическом |
масштабе |
уменьша- |
|||
ется в т |
раз, |
где |
т |
определяется |
формулой |
(1.49). |
И наконец, |
на участке 4 |
(очень высокий уровень инжекции) за- |
висимость тока от напряжения изменяется от экспоненциальной на степенную (закон Мотта) и далее линейную (закон Ома).
1.2.4. Вольт-амперная характеристика p-i-n-диода. По
сравнению с р-n-переходом, р-г-п-диод представляет собой несколько более сложную структуру (см. рис. 1.9), в которой
40 Гл. 1. Полупроводниковые диоды
области р- и n-типа проводимости разделены высокоомной областью, проводимость которой близка к собственной (г) [13]. Поскольку технологически создать нелегированную область с собственной проводимостью очень трудно, г-слой обычно
представляет собой |
слабо легированный полупроводник р- |
или |
||||||||
n-типа проводимости; такие слои |
принято обозначать буквами я* |
|||||||||
и и, |
соответственно. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Wt |
|
|
Особенностью |
энергетиче- |
|||||
|
|
|
|
ской |
диаграммы |
р-г-п-диода |
||||
|
р |
п |
а |
является |
наличие |
в |
ней |
двух |
||
|
|
|
|
энергетических |
барьеров, |
об- |
||||
Na-Nd |
i |
|
|
разующихся на границах г- |
||||||
|
|
слоя |
с |
сильно легированными |
||||||
|
|
|
|
областями. Решение |
уравне- |
|||||
|
|
|
|
ния |
Пуассона |
показывает, |
что |
Xпрактически все электрическое поле в структуре сосредо-
|
|
|
|
|
точено в г-области, причем |
|||||||||
Pk |
|
|
|
в |
поскольку в этой области кон- |
|||||||||
|
L |
|
|
|
центрация |
примесей |
мала, |
то |
||||||
|
|
|
X |
экранирование |
электрического |
|||||||||
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
поля в ней осуществляется не |
|||||||||
|
|
|
|
|
заряженными примесями, а по- |
|||||||||
s I |
|
|
|
|
движными |
носителями |
заря- |
|||||||
|
|
|
|
да |
(электронами |
и |
дырками), |
|||||||
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
x |
возникающими |
|
в |
результате |
||||||
|
|
|
|
тепловой |
|
генерации. |
По |
этой |
||||||
|
|
|
|
|
причине |
энергетическая |
диа- |
|||||||
Рис. 1,9, Устройство |
p-i-тг-диода (a), |
грамма р-г-п-структуры при |
||||||||||||
его профиль легирования (б), распре- |
нулевом |
смещении зависит |
от |
|||||||||||
деление плотности заряда (е) и элек- |
толщины |
|
г-слоя (Wj). |
|
Ес- |
|||||||||
трического |
поля |
(г) |
в |
структуре |
ли |
этот |
слой |
достаточно |
то- |
|||||
при нулевом |
напряжении |
смещения. |
нок (меньше дебаевской длины |
|||||||||||
Пунктиром |
показано |
распределение |
||||||||||||
экранирования |
в |
собственном |
||||||||||||
электрического поля в р-г-тг-диоде |
||||||||||||||
при обратном |
смещении |
полупроводнике |
0), |
то |
элек- |
трическое поле в г-области не спадает до нуля (этот случай показан сплошной линией на рис. 1.9г), а в случае толстого г- слоя — спадает до нуля, При подаче на р-г-п-диод обратного смещения |V| » kTjq ситуация меняется, поскольку концентрации свободных носителей в г-области становятся исчезаю-
') Для примера, дебаевская длина экранирования в собственном кремнии равна 24 мкм при 300 К [14].
/. 2. Волып-амперная характеристика р-п-перехода |
41 |
Ш е малыми. При этом распределение электрического поля в г- слое становится практически однородным (пунктир на рис. 1.9 г), а его напряженность равна £ = (фь — V)/Wu где Фк — контактная разность потенциалов между р- и n-областями р-г-п-диода.
р-г-п-структуры находят практическое применение при изготовлении высоковольтных диодов, модуляторов и аттенюаторов СВЧ излучения, лавинных фотодиодов. Преимущество от использования р-г-п-структур для создания высоковольтных диодов состоит в том, что при заданных геометрических размерах (толщине) кристалла в структурах с близким к однородному распределением поля получаются наибольшие напряжения про- - боя. Применение р-г-п-диодов для модуляции СВЧ излучения основано на изменении дифференциального сопротивления ди-
ода, которым |
легко управлять |
изменяя величину протекающе- |
го через диод |
электрического |
тока. Примерами отечественных |
р-г-п-диодов могут служить выпрямительный диод КД529 (2 кВ
и400 А в импульсном режиме) и переключательные СВЧ диоды
КА509 и КА520.
Для р-г-п-диодов с тонкой базой, то есть структур, в которых толщина г-слоя много меньше длины амбиполярной диффузии 0 (Wi «С Ьа ), вольт-амперная характеристика может быть найдена из следующих простых соображений. Наличие двух барьеров в структуре приводит к тому, что когда напряжение прямого смещения невелико, то инжектированные в г-слой носители обоих знаков оказываются как бы «запертыми» в этом слое (второй барьер препятствует выходу носителей из г-слоя в сильно легированные области). В этом случае ток через структуру можно считать равным току рекомбинации в г-области. Далее, поскольку толщина г-слоя мала по сравнению с диффузионной длиной, то распределение инжектированных носителей в г-слое можно считать однородным. Тогда, по аналогии с подходом, использованным нами при расчете тока рекомбинации в области пространственного заряда р-п-перехода в п. 1.2.2, для уровня
рекомбинации, |
расположенного посередине запрещенной зоны |
{щ = Pt = nj) |
получаем |
Wi
«^рек — Я |
рп — щ |
dx = qWi (n nj), |
(1.59) |
|
Тр(п + щ) + тп(р + Pi) |
||||
|
Ti |
|
||
|
о |
|
|
') Определение амбиполярной длины диффузии см. на с. 36.