- •Вывод обыкновенного уравнения диффузии:
- •Запись диффузионной модели в виде ящика
- •1.4 Анализ диффузионной модели:
- •1.5 Учет влияния электрического поля на процесс диффузии примеси:
- •1.6 Графики распределения концентрации примеси для трех временных значений - случай, когда доза постоянна и не связана с диф. Длинной
1.5 Учет влияния электрического поля на процесс диффузии примеси:
а) Гидродинамическая аналогия. Диффузионный и конвективный механизмы распространения вещества. Уравнение переноса. Качественный вид решения.
Рассмотрим реку, которая движется со скоростью v=const. С0-источник загрязнения.
Граничные условия
x=0 t=0 x→∞
C(0,t)=C0 C(x,0)=0 C(∞,t)=0
Постоянный Источник загрязнений |
Загрязнение в начальный момент времени |
Река без примесей |
|
|
|
(1)
Диффузионный член |
Конвективный член |
Конвекция обусловлена движением реки
-
V- скорость реки, С(x;t) – концентрация вещества, VCx – конвекционный поток
-
Поток обусловленный диффузией D* Cxx
Из этих двух условий напишем уравнение переноса:
x;t)=1/2 D*Cxx – V*Cx
Уравнение (1) имеет решение
б) Запись диффузионной модели в приближении эффективного коэффициента диффузии с полным математическим обоснованием двумя способами;
Если
, где
Нужно найти . Предположим, что концентрация электронов и дырок связаны статистикой Больцмана
-
перемножим p*n
p*n= ni2
-
Предположим , что поле E=const
Cд– концентрация донорной примеси
p+c=n – условие электрической нейтральности
-2ni* sh(=-C
sh( (нужно для того чтобы найти напряженность поля)
в) Построение графика зависимости собственной концентрации от температуры в диапазоне от 800С до 1200С в форме Аррениуса. Построение графика зависимости коэффициента ускорения диффузии от переменной С/ni. Выводы
Изграфика видно, что,
если C<ni (т.е. концентрация мала), то добавка мала и ей можно пренебречь.
если С>ni , то добавка увеличивается в 2 раза.
1.6 Графики распределения концентрации примеси для трех временных значений - случай, когда доза постоянна и не связана с диф. Длинной
Для дискретного источника примеси (, распределение по Гауссу):
На графиках (9.1) и (9.2) показано распределение концентрации легирующей примеси при различных временных значениях: , и .
График 9.1 Распределение легирующей примеси.
График 9.2 Распределение легирующей примеси с логарифмической шкалой.
Из графиков видно, что с увеличением времени легирующая примесь как бы расплывается в веществе, стараясь принять более равномерное распределение и соответственно чем дальше примесь уходит в глубь вещества, тем меньше становится поверхностная концентрация на границе вещества.
Распределение при бесконечном источнике примеси ( распределение по erfc):
Аналогично графикам распределения примеси по Гауссу, на графиках (9.3) и (9.4) показано распределение по erfc для тех же временных значений:
График 9.3 Распределение легирующей примеси при бесконечном источнике.
График 9.4 Распределение легирующей примеси при бесконечном источнике с логарифмической шкалой.
Как видно с увеличением времени увеличивается глубина внедрения примеси, а также её доза (площадь под кривой). Так как в данном случае источник примеси бесконечный примесь внедряется с максимальной скоростью а поверхностная концентрация является постоянной.
1.7 РЕШЕНИЕ ЗАДАЧ:
а) Вычислить время процесса для диффузии бора с постоянной дозой в n-кремниевой подложке при следующих условиях:
Дано:Т=1100С; Cs=4*1017 см-3; Xj=3мкм; Св=10-15см-3
Решение:
Доза постоянна. Решение в процессе разгонки имеет вид:
- функция Гаусса (Гауссиан)
Величина поверхностной концентрации есть функция от времени:
Параметры коэффициента диффузии, для случая малых концентраций легирующей примеси бора в кремнии (справочные данные):
Коэффициент диффузии при температуре 1100 :
Время диффузии из функции Гаусса:
б) Вычислить время процесса для диффузии бора с постоянной поверхностной концентрацией в n-кремниевой подложке при следующих условиях:
Т=950С; Cs=2,5*1020 см-3; внедренная доза – из предыдущей задачи;
Дано:, Сs=const, ,
Решение:
внедренная доза:
- функция Гаусса (Гауссиан)
Величина поверхностной концентрации есть функция от времени:
Время:
с) Решение задачи о загонке мышьяка
Мышьяк загоняется в кремниевую пластину с концентрацией бора Св=1015 атом/см3 из газовой фазы при Т=1200С. При этом общая доза введенной примеси на единицу площади равна 1014 атомов/см2. Определите время загонки мышьяка, если глубина p-n перехода составила 1 мкм. В данной задаче принять, что параметры коэффициента диффузии для мышьяка равны – D0=24 см2/с, а ЕА=4,08 эВ.