Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Моделирование систем параксиальной электронной оптики. Учебное пособие

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
07.09.2026
Размер:
1 Мб
Скачать
☆
11
Можно заметить, что при   выражение (2.9) принимает вид:
󰇛 󰇜 Ф
󰇛󰇜
(2.10)
где Ф
󰇛󰇜
– осевое распределение потенциала, т.е. распределение
потенциала вдоль оси симметрии поля.
Нам необходимо найти вид функций Ф
Ф  Выразим 󰇛 
󰇜
через Ф
󰇛󰇜
, т.е. выразим Ф
Ф  через Ф
󰇛󰇜
Для этого подставим
разложение (2.9) в уравнение Лапласа (2.7), предварительно найдя:
󰇛 
󰇜

 Ф
󰇛󰇜
 
Ф
󰇛󰇜
   

Ф

󰇛󰇜
 
(2.11)
 
󰇛 
󰇜

Ф
󰇛󰇜
 
Ф
󰇛󰇜
   
󰇛
󰇜
Ф

󰇛󰇜
 
(2.12)
󰇛 
󰇜

 Ф
󰇛󰇜
 
Ф
󰇛󰇜
  
󰇛 󰇜
󰇛󰇜
Ф

󰇛󰇜
 
(2.13)
󰇛 
󰇜

Ф

󰇛󰇜
 
Ф

󰇛󰇜
 
Ф

󰇛󰇜
 


Ф


󰇛󰇜

(2.14)
Полученные выражения (2.12), (2.13), (2.14) необходимо подставить в уравнение Лапласа. Перепишем уравнение Лапласа (2.7) в следующем виде:
󰇛 
󰇜

 
󰇛 
󰇜

 
󰇛 
󰇜

(2.15)
Теперь приравняем коэффициенты при одинаковых степенях
справа и слева от равенства. Для этого составим таблицу.
12
Система равенств, связывающих функции Ф
Ф  Ф

№
п/п
k

󰇛 
󰇜

󰇛 
󰇜

󰇛 
󰇜

а
 
Ф
󰇛󰇜
Ф
󰇛󰇜
Ф

󰇛󰇜
б
 
Ф
󰇛󰇜
Ф
󰇛󰇜
Ф

󰇛󰇜
в
 
Ф
󰇛󰇜
Ф
󰇛󰇜
Ф

󰇛󰇜
… … … … … … …
…
г


󰇛  󰇜Ф

󰇛󰇜
Ф

󰇛󰇜
Ф


󰇛󰇜
Легко увидеть, что из таблицы можно получить систему выражений, определяющих функции Ф
Ф Ф  через Ф
Из (а):
Ф
󰇛󰇜
 Ф

󰇛󰇜
(2.16)
Ф
󰇛󰇜
 
 
Ф

󰇛󰇜
(2.17)
Из (б):
Ф
󰇛󰇜
 Ф

󰇛󰇜
(2.18)
Ф
󰇛󰇜


Ф

󰇛󰇜
(2.19)
Ф
󰇛󰇜
 

 
 
Ф

󰇛󰇜
(2.20)
13
Из (в):
Ф
󰇛󰇜
 Ф

󰇛󰇜
(2.21)
Ф
󰇛󰇜


Ф

󰇛󰇜
(2.22)
Ф
󰇛󰇜
 

 

  
 
Ф

󰇛󰇜
(2.23)
Анализируя выражения (2.17), (2.20), (2.23), можно заметить определенную закономерность:
Ф
󰇛󰇜
 
 
Ф

󰇛󰇜
 
󰇛󰇜
 
Ф

󰇛󰇜
(2.24)
Ф
󰇛󰇜
 

 
 
Ф

󰇛󰇜
󰇛󰇜
 
Ф

󰇛󰇜
(2.25)
Ф
󰇛󰇜
 

 

  
 
Ф

󰇛󰇜
 
󰇛󰇜
 
Ф

󰇛󰇜
(2.26)
Для общего случая (г):
󰇛
   
󰇜
Ф

󰇛󰇜
 Ф


󰇛󰇜
(2.27)

Ф

󰇛󰇜
 Ф


󰇛󰇜
(2.28)
Ф

󰇛󰇜
 

Ф


󰇛󰇜
(2.29)
Ф

󰇛󰇜󰇛󰇜
󰇛󰇜
 

Ф
󰇛󰇜
󰇛󰇜
(2.30)
Теперь имеем все необходимое для окончательного вывода зависимости потенциала аксиально-симметричного электростатичес-
кого поля от расстояния по оси (ось симметрии) и расстояния от оси .
14
Подставим выражения (2.24), (2.25), (2.26) и (2.30) в формулу степенного ряда (2.9):
󰇛 󰇜Ф
󰇛󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢
Ф

󰇛󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢
Ф

󰇛󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢
Ф

󰇛󰇜
  󰇛
󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢

Ф
󰇛󰇜
󰇛󰇜
 
(2.31)
󰇛 󰇜
󰇛󰇜
󰇛󰇜
∞

󰇡
󰇢 Ф
󰇛󰇜
󰇛󰇜
(2.32)
Ранее мы уже отмечали, что при   выражение (2.9)
принимает вид:
󰇛 󰇜 Ф
󰇛󰇜
где Ф
󰇛󰇜
– осевое распределение потенциала, т.е. распределение
потенциала вдоль оси симметрии поля.
Выполняем необходимую замену в выражении (2.32) и получаем распределение потенциала аксиально-симметричного электростатического поля:
󰇛 󰇜
󰇛󰇜
󰇛󰇜
∞

󰇡
 
󰇢 
󰇛󰇜
󰇛
 󰇜
(2.33)
Распределение потенциала любого аксиально-симметричного поля полностью определяется и может быть найдено, если задано распределение потенциала вдоль оси симметрии этого поля.
Также необходимо отметить, что для целей параксиальной оптики достаточно знать первые три члена разложения [12]:
󰇛 󰇜 󰇛 󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢

󰇛
 󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢

󰇛
 󰇜
(2.34)
15
ГЛАВА 3. ДВИЖЕНИЕ ПАРАКСИАЛЬНЫХ ПУЧКОВ
ЭЛЕКТРОНОВ В АКСИАЛЬНО-СИММЕТРИЧНОМ ПОЛЕ
Рассмотрим движение параксиальных пучков электронов в аксиально-симметричном поле, т.е. в поле, обладающем осевой симметрией.
Запишем для движущегося электрона второй закон Ньютона:
  
(3.1)
где – сила, действующая на электрон;
– масса электрона; – ускорение электрона.
Поскольку ускорение является производной скорости.

 
(3.2)
то выражение (3.1) примет следующий вид:
  


(3.3)
Из электродинамики известно, что на электроны в
электрическом поле с напряженностью действует сила [4]
 
(3.4)
Приравняем выражения (3.4) в (3.3) и выразим :
 



(3.5)




(3.6)
Необходимо отметить, что вследствие осевой симметрии поля
азимутальная составляющая его напряженности равна нулю 󰇛 󰇜. Электроны движутся в одной из плоскостей    цилиндрической
системы координат, в так называемой меридиональной плоскости.
16
Траектории движения таких электронов будут являться плоскими кривыми.
Запишем (3.6) для радиальной составляющей напряженности
и аксиальной составляющей напряженности
. Так как скорость
является производной перемещения, то:


 

(3.7)


 

(3.8)
Поскольку ранее найдено распределение потенциала аксиально­симметричного электростатического поля:
󰇛 󰇜
󰇛󰇜
󰇛󰇜
∞

󰇡
󰇢 
󰇛󰇜
󰇛
 󰇜
то имеем возможность выразить радиальную составляющую
напряженности  через
󰇛󰇜
󰇛
󰇜Ф
󰇛󰇜
󰇛
 
󰇜
:
󰇛
 󰇜 
󰇛 
󰇜

(3.9)
󰇛
 󰇜 

󰇭
󰇛󰇜
󰇛󰇜
∞

󰇡
 
󰇢 
󰇛󰇜
󰇛

󰇜
󰇮
(3.10)
󰇛
 󰇜

󰇛 󰇜
󰇛󰇜
󰇡
󰇢

󰇛
 󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢

󰇛
 󰇜  󰇛
󰇜
󰇛󰇜
󰇡
 
󰇢
󰇛󰇜
󰇛
 󰇜 
(3.11)
󰇛
 󰇜
 
′′
󰇛
 󰇜
 
󰇡
 
󰇢

󰇛
 󰇜 
(3.12)
17
Траектория движения параксиальных пучков электронов должна удовлетворять следующему условию: расстояния нахождения траекторий от оси симметрии поля очень малы. Поэтому на всей протяженности траектории движения электронов будем считать, что
величина намного больше, чем
, и в таком случае можем
пренебрегать всеми величинами , степень которых больше единицы.
Значит, выражение (3.12) может быть представлено в следующем виде:
󰇛
 󰇜
 
′′
󰇛
 󰇜
(3.13)
где 󰇛 󰇜 Ф
󰇛󰇜
– осевое распределение потенциала, т.е.
распределение потенциала вдоль оси симметрии поля.
󰇛
 󰇜
 
Ф
′′
󰇛󰇜
(3.14)
Тогда выражение (3.7) примет следующий вид:
 
 
 
 
Ф
′′
󰇛󰇜
(3.15)
Из уравнения (3.15) следует вывод, что в полях с вращательной симметрией сила, которая ускоряет электроны к оси, пропорциональна их удалению от нее. Это решающая предпосылка для существования угловой фокусировки.
Пусть электрон имеет нулевую начальную скорость и, находясь в ускоряющем поле, переместился из данной точки с потенциалом 0 в
конечную точку с потенциалом . Запишем закон сохранения энергии.
Работа, затраченная электрическим полем на ускорение
электронов, равна произведению . Вся эта работа идет на придание электрону кинетической энергии
[2].
Следовательно, можем написать закон сохранения энергии:

 
(3.16)
где – скорость ускоренного электрона в конечной точке;
 – потенциальная энергия ускоренного электрона.
Как уже говорилось ранее, в параксиальной оптике рассматриваются только движения в меридиональной плоскости.
Поэтому выразим кинетическую энергию  через и .
18
По теореме Пифагора находим, что:

 
(3.17)
 
 

(3.18)
 
 

(3.19)
 


 
 

(3.20)
Подставляем выражение (3.20) в формулу кинетической энергии:


(3.21)

󰇧


 


󰇨
(3.22)
Получившееся выражение подставляем в закон сохранения энергии (3.16):
󰇧


 
 
󰇨 
(3.23)
Выразим производную по времени  через
пространственные координаты из последнего дифференциального уравнения. Преобразуем уравнение, вынося
󰇛

󰇜
в выражении
(3.23) за скобки:
󰇧  


󰇨 
 
 
(3.24)
󰇧  
 
󰇨
 
 
(3.25)
19
В случае параксиальных пучков траектории являются пологими,
т.е.  . Угол наклона движения электронов на всей протяженности траектории к оси симметрии очень мал [7].
Следовательно, выражение (3.25) принимает следующий вид:
 
 
(3.26)
При малых
󰇛 󰇜 󰇛 󰇜 Φ
󰇛󰇜
(3.27)
Производим замену в выражении (3.26) согласно выражению (3.27) и получаем:


 Φ
󰇛󰇜
(3.28)
Выражаем  в выражении (3.28):
 

Φ
󰇛󰇜
(3.29)
Теперь выразим производную  через пространственные
координаты с помощью уравнения (3.29).
Для произвольной функции  󰇛󰇜, где  󰇛󰇜 и функции 󰇛󰇜 и 󰇛󰇜 дифференцируемы, можем записать производную сложной функции  󰇟󰇛
󰇜󰇠
:
󰇛󰇜

󰇛󰇜

(3.30)
Правую и левую части выражения (3.30) домножим на 󰇛󰇜:
󰇛󰇜

 
󰇛
󰇜


Φ
󰇛󰇜
(3.31)
Преобразуем левую часть выражения (3.31) согласно выражению (3.30).
20
󰇛󰇜

󰇛󰇜


Φ
󰇛󰇜
(3.32)
Пусть 󰇛󰇜󰇛󰇜, тогда из (3.32) получим:


 

Φ
󰇛󰇜
(3.33)
Теперь есть все необходимое, чтобы получить выражение для

:
 




(3.34)
Подставим выражение (3.33) в выражение (3.34):

 
 

󰇧
 

Φ
󰇛󰇜
󰇨
(3.35)
Снова воспользуемся математическим правилом дифференцирования сложных функций (3.30):

󰇧
 

Φ
󰇛󰇜
󰇨 

󰇧
 

Φ
󰇛󰇜
󰇨 
 
(3.36)
Заменяем  согласно выражению (3.29):

󰇧
 

Φ
󰇛󰇜
󰇨 

󰇧
 

Φ
󰇛󰇜
󰇨 
Φ
󰇛󰇜
(3.37)
Упрощаем выражение (3.37), для этого вынесем из-под
дифференциала выражение
:
 


 
 Φ
󰇛󰇜
 
 Φ
󰇛󰇜
(3.38)


 

 
 Φ
󰇛󰇜
  Φ
󰇛󰇜
(3.39)
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]