Литература / (тоже супер) физосновы для экз
.pdf
350 |
Р А З Д Е Л 3 |
женность поля в диэлектрике и удельный заряд электронов в канале. Поэтому сечение канала вблизи точки x = L сужается (рис. 3.84б).
При некотором критическом напряжении на стоке, которое называют напряжением насыщения, разность потенциалов между затвором и поверхностью в точке x = L делается равной нулю. Одновременно в этой точке делаются равными нулю напряженность поля в диэлектрике и удельный заряд носителей в канале (рис. 3.85а). Образуется так называемая «горловина» канала.
Напряжение насыщения имеет вид
Uсн = Uзи – U0. |
(3.35) |
При напряжениях Uси > Uсн слой объемного заряда, который до сих пор отделялся от поверхности каналом,
а |
б |
Рис. 3.84
Распределение поля и зарядов в МДП-транзисторе при нулевом (а) и наибольшем положительном (б) напряжениях на стоке
Рис. 3.85
Распределение поля и зарядов в МДП-транзисторе:
а — на границе насыщения (Uси = Uсн); б — в области насыщения (Uси > Uсн).
Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В |
351 |
«выходит на поверхность» на участке L, а «горловина» канала соответственно сдвигается в точку L′ (рис. 3.85б). Процессы образования «горловины» канала и ее сдвига просматриваются гораздо яснее в полевых транзисторах, где канал несравненно толще. Вследствие этого происходит укорочение канала на величину L; потенциал «горловины» в точке L′ сохраняет значение Uсн, которое было в начале насыщения.
Величина L (приповерхностная ширина объемного заряда) зависит от разности напряжений на этом участке Uси – Uсн. Зависимость эта такая же, как зависимость ширины p-n-перехода от обратного напряжения:
L Uси − Uсн .
После образования «горловины» канала ток в рабочей цепи практически перестает зависеть от напряжения на стоке — наступает насыщение тока (рис. 3.86а), откуда и название напряжения Uсн.
а |
б |
Рис. 3.86
Статические характеристики МДП-транзистора:
а — выходные; б — передаточные.
Анализ, выполненных с учетом описанных процессов, приводит к выражению для ВАХ, которое не удобно для инженерных расчетов (из-за наличия членов в степени 3/2). Поэтому на практике пользуются аппроксимациями
352 Р А З Д Е Л 3
ВАХ, из которых наиболее простой и распространенной является следующая:
|
2 |
(3.36) |
Iс = b (Uзи − U0 )Uси − 1 2Uси . |
||
Здесь b — удельная крутизна МДП-транзистора (один из его основных параметров):
b = μC0 |
Z |
= |
ε0εμ Z |
, |
(3.37) |
|
L |
|
d L |
|
|
где μ — приповерхностная подвижность носителей (она обычно в 2–3 раза меньше объемной); Z — ширина канала. При значениях μ = 550 см2/(В с), Z/L = 10 и C0 = 2 10 –8 Ф/ см2 получаем типичное значение b ≈ 0,1 мА/В2.
Выражение (3.36) действительно только при условии Uси < Uсн, т. е., как говорят, на начальных — крутых участках ВАХ (см. рис. 3.86а). Если же Uси > Uсн, то ток не меняется и остается равным тому значению, которое он имеет при Uси = Uсн. Поэтому, подставляя (3.35) в (3.36), получаем выражение для области насыщения, т. е. для пологих участков ВАХ:
Iс = 1/2b(Uзи – U0)2. |
(3.38) |
Этому выражению соответствует на рисунке 3.86б кривая с параметром Uсн.
Обычно номинальным током МДП-транзистора счи-
тается ток при напряжении Uзи = 2U0, т. е. |
|
|
I |
= 1/2bU2. |
(3.39) |
с ном |
0 |
|
Как видим, чем меньше пороговое напряжение, тем меньше рабочий ток. Номинальному режиму, т. е. значению Uзи = 2U0 согласно (3.35) соответствует напряжение насыщения Uсн = U0. Следовательно, малые значения U0
обеспечивают и малые токи, и малые рабочие напряжения транзистора.
Выражения (3.36) и (3.38) имеют широкое распространение благодаря своей простоте и наглядности. Однако они дают значительную погрешность при расчетах, если концентрация примеси в подложке превышает 1015 см–3, что обычно имеет место. Поэтому в тех случаях, когда это
Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В |
353 |
необходимо, вместо (3.36) пользуются более точной аппроксимацией:
|
2 |
, |
Iс = b (Uзи − U0 )Uси − 1/2(1 |
+ η)Uси |
где η — поправочный коэффициент имеет вид
η = 1 a / C0 .
3 ϕsm
(3.40)
(3.41)
Например, если a/C0 = 2,5 В1/2 (как было |
выше) |
||
и ϕsm = 0,6 В, то η ≈ 1,1. |
|
||
Дифференцируя (3.40) по Uси и полагая dIс/dUси = 0, |
|||
находим напряжение насыщения: |
|
||
1 |
|
|
|
Uсн = |
|
(Uзи − U0 ). |
(3.42) |
1+ η |
|||
Оно оказывается меньше, чем при расчете по (3.35). Подставляя (3.42) в (3.40), получаем уточненную ВАХ для пологой области — области насыщения
Iс = |
1 |
1 |
(Uзи − U0 )2. |
(3.43) |
|
2 |
|
1+ η |
|||
До сих пор считалось, что исток соединен с подложкой. Бывают случаи, когда подложка имеет отрицательный потенциал Uпи относительно истока (например, в интегральных схемах, у которых подложка общая для всех транзисторов). Положительное напряжение на подложке в случае n-канального транзистора недопустимо, так как при этом p-n-переход истока будет работать при прямом включении и будет иметь место инжекция электронов в подложку, т. е. нарушится принцип работы униполярных транзисторов. Тогда напряжение, падающее на слое объемного заряда, увеличивается и это приводит к поправке в выражении (3.33б) для напряжения изгиба зон:
U0B = ϕsm + |
a |
ϕsm + |
|
Uпи |
|
. |
(3.44) |
|
|
|
|||||||
C |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
0 |
|
|
|
|
|
|
При этом напряжение Uпи, естественно, войдет в выражение (3.38). Соответственно ток Iс, вообще говоря, бу-
354 |
Р А З Д Е Л 3 |
дет функцией двух напряжений: Uзи и Uпи, т. е. возможно двойное управление током.
С учетом влияния подложки характеристику (3.43) можно заменить следующей:
Iс = 1 |
1 |
(Uзи − U0 |
− 2 |
η |
|
Uпи |
|
)2 . |
(3.45) |
|
|
|
|||||||||
1+ η |
||||||||||
2 |
|
3 |
|
|
|
|
|
|
Как видим, наличие напряжения между подложкой и истоком равносильно увеличению порогового напряжения.
В заключение рассмотрим начальные крутые участки ВАХ, которые широко используются в ключевых (импульсных) схемах. Полагая
Uси Uзи – U0,
можно пренебречь квадратичным членом в выражении (3.36) и получить линейную зависимость
Iс = b(Uзи – U0)Uси. |
(3.46) |
Соответствующее семейство ВАХ показано на рисунке 3.87. Коэффициент при Uси в правой части (3.46) называется проводимостью канала, а обратная величина — сопротивлением канала:
1 |
|
R0 = b(Uзи − U0 ). |
(3.47) |
Рис. 3.87
Начальные квазилинейные участки выходных характеристик МДП-транзистора
Как видим, сопротивление канала можно регулировать в широких пределах, меняя напряжение на затворе. Такая возможность используется на практике. Если положить Uзи – U0 = 4 В и b = 0,1 мА/В2, то R0 = 2,5 КОм.
Малосигнальные параметры. В усилительной технике используются пологие участки ВАХ область насы-
Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В |
355 |
щения. Этой области свойственны наименьшие нелинейные искажения сигналов и оптимальные значения малосигнальных параметров, существенных для усиления.
Малосигнальными параметрами МДП-транзистора
являются: |
|
|
|
|
|
|
|
||||
• крутизна S = |
dIс |
|
|
; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
dU |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
зи |
|
U |
=const |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
си |
|
|
|
|
|
|
|
• внутреннее сопротивление rс = |
dUси |
|
|
; |
|||||||
|
|||||||||||
|
dI |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
U |
=const |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
зи |
|
• коэффициент усиления k = |
dUси |
|
. |
|
|||||||
|
|
||||||||||
dU |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
зи |
|
I =const |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
c |
|
||
Эти три параметра связаны соотношением |
|||||||||||
|
|
|
|
|
k = Srс. |
|
|
|
|
(3.48) |
|
Крутизна в области насыщения легко определяется из |
|||||||||||
выражения (3.38): |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
S = b(Uзи – U0). |
|
|
|
|
(3.49а) |
|||||
Как видим, крутизна пропорциональна параметру b. Название последнего (удельная крутизна) обусловлено тем, что при Uзи – U0 = 1 В величина b численно равна крутизне. С помощью выражений (3.49а) и (3.38) легко установить связь крутизны с рабочим током:
S = 2bIс . |
(3.49б) |
Например, при b = 0,1 мА/В2 и Iс = 1 мА получаем S = 0,45 мА/В.
Если использовать более точную формулу (3.43), то крутизна будет меньше, чем при расчете по формулам (3.49), поскольку величина b заменяется на b/(η + 1).
Внутреннее сопротивление на пологом участке ВАХ обусловлено зависимостью длины канала от стокового напряжения. Рост напряжения Uси сопровождается увеличением ширины стокового перехода L и соответственно уменьшением длины канала L′. При этом возрастает удельная крутизна b, а вместе с нею и ток стока Iс. В це-
356 |
Р А З Д Е Л 3 |
лом, такое явление аналогично эффекту Эрли. Поэтому внутреннее сопротивление МДП-транзистора имеет ту же структуру, что и коллекторное сопротивление rк:
|
2qN |
Uс |
|
|
|
rс = L |
|
|
|
. |
(3.50) |
|
Iс |
||||
|
ε0εп |
|
|
||
Примем те же значения концентрации, напряжения и тока, что и в примере к формуле rк: N = 1016 см –3; Uс = 4 В; Iс = 1мА. Тогда при L = 10 мкм получаем rс = 100 КОм — значение, на порядок меньше, чем rк. Заметим, что зависимость rс от тока Iс такая же, как зависимость rк от Iк у биполярных транзисторов.
Перемножив (3.50) и (3.49б), получим коэффициент усиления k. Он не зависит от длины канала; его типичные значения составляют 50–200 (в зависимости от ширины канала Z).
Полезно сравнить параметры биполярных и МДПтранзисторов. Поскольку номенклатура этих параметров разная, запишем сначала выражения для крутизны и коэффициента усиления биполярных транзисторов.
Крутизну легко определить из соотношения
S = dIк = dIк dIэ , dUэ dIэ dUэ
где первый множитель в правой части есть коэффициент усиления α, а второй — величина обратная сопротивлению эмиттерного перехода rэ. Таким образом, получаем
S = α/rэ = αIэ/ϕT.
При токе Iэ = 1 мА крутизна составляет S ≈ 40 мА/В. Умножая крутизну на сопротивление коллекторного
перехода, получаем коэффициент усиления биполярного транзистора:
k = Srк = rк/rэ.
Этот коэффициент не зависит от тока; его типичные значения
k = 40 000–80 000.
Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В |
357 |
Таким образом, в наших примерах МДП-транзисторы по всем трем параметрам существенно уступают биполярным. Следует, однако, иметь в виду, что крутизна МДП-транзисторов увеличивается с увеличением ширины канала и, кроме того, она значительно слабее зависит от тока. Поэтому в области малых токов и при большой площади параметры МДП-транзистора могут сравняться с параметрами биполярного.
Выше было отмечено, что МДП-транзистор может управляться не только напряжением затвора, но и напряжением подложки. Дифференцируя (3.45) по |Uпи|, получаем крутизну по подложке:
Sп = − 2 |
η |
|
b(Uзи − U0 |
− 2 |
|
Uпи |
|
). |
(3.51) |
|
|
|
|
||||||||
|
||||||||||
31+ η |
|
3 |
|
|
|
|
|
|||
Знак минус говорит о том, что ток Iс уменьшается с увеличением напряжения |Uпи|. Дифференцируя (3.45) по Uзи, получаем крутизну по затвору:
Sз = |
|
η |
(Uзи − U0 |
− 2 |
η |
|
Uпи |
|
). |
(3.52) |
|
|
|
|
|||||||||
|
+ η |
||||||||||
1 |
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
||
Как видим, наличие |
напряжения |
|
|Uпи| |
приводит |
|||||||
к уменьшению крутизны Sз.
Отношение крутизн Sп и Sз находится в прямой зависимости от коэффициента η, т. е. в конечном счете определяется толщиной диэлектрика и концентрацией примеси
вподложке [см. (3.41)]. Обычно |Sп| < Sз.
Влюбом случае предпочтительно управление по затвору, потому что при этом входное сопротивление, определяемое диэлектриком, несравненно больше (при управлении по подложке входное сопротивление определяется обратным током истокового p-n-перехода).
Взаключение отметим, что рассматривавшееся во всех предыдущих разделах включение МДП-транзистора
собщим истоком (ОИ) (см. рис. 3.88а) — наиболее распространенное, но не единственно возможное. Иногда используется включение с общим затвором (ОЗ) (рис. 3.88б).
358 |
Р А З Д Е Л 3 |
а |
б |
Рис. 3.88
Включение МДП-транзистора с общим истоком (а) и с общим затвором (б)
Оно характерно весьма низким входным сопротивлением (близка к величине 1/S) и поэтому находит применение только в некоторых специальных схемах.
Стабильность параметров. При заданных напряжениях на затворе и стоке ток стока зависит от температуры. Эта зависимость проявляется через параметры b и U0. Функция b(T) обусловлена температурной зависимостью подвижности носителей, а функция U0(T) — температурной зависимостью уровня Ферми [см. (3.33б), где
ϕsm = 2ϕF].
С ростом температуры и удельная крутизна, и пороговое напряжение уменьшаются, причем уменьшение этих параметров влияет на ток в противоположных направлениях, см. (3.38) и (3.43). Существует такое значение тока Iс, при котором влияние зависимостей b(T) и U0(T) уравновешиваются. Это стабильное значение называют критическим током. Наличие критического тока — важнейшая отличительная черта МДП-транзисторов; она обеспечивает возможность температурной стабилизации простейшим путем — выбором рабочего тока.
Из условия dIс/dT = 0 (с учетом производных ∂b/∂T и ∂U0/∂T) можно получить напряжение на затворе, соответствующее критическому току:
Uзи. кр – U0 = (0,8–2,4) В |
(3.53) |
(минимальное значение соответствует концентрации примеси в подложке 1018 см–3, максимальное — концентрации 1015 см–3). Обычно критический ток в 5–10 раз меньше номинального, определяемого формулой (3.39).
Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В |
359 |
В диапазоне Iс > Iс кр (в частности, при номинальном токе) температурный коэффициент тока положительный, а в диапазоне Iс < Iс кр (микрорежим) — отрицательный. Температурную нестабильность тока принято характеризовать не приращением тока Iс, а эквивалентным приращением напряжения Uзи = Iс/S. Для токов, близких к критическому, характерны температурные чувствительности ±0,5 мВ/°С, для «сверхкритических» токов они составляют +(8–10) мВ/°С, а для «субкритических» — (4–6) мВ/°С.
Крутизна МДП-транзистора зависит от температуры через те же параметры b и U0, что и ток. Поэтому наряду с понятием критического тока существует понятие критической крутизны, для которой влияние зависимостей b(T) и U0(T) уравновешиваются. Критическая крутизна получается при токе, меньшем критического.
Тот факт, что главная рабочая часть МДПтранзистора — канал — граничит непосредственно с инородной средой — диэлектриком, оказывает влияние на стабильность параметров. Главное проявление нестабильности состоит в изменениях порогового напряжения. Эти изменения обусловлены в первую очередь изменениями равновесного поверхностного заряда Q0s [см. (3.33а)]. Поверхностный заряд меняется, например, при перемещении доноров, всегда имеющихся в диэлектрической пленке. Такое перемещение может быть результатом диффузии при высокой температуре или дрейфа в сильном поле затвора. Попадание в диэлектрическую пленку (или на ее поверхность) акцепторных примесей приводит к частичной компенсации заряда доноров, что также приводит к изменению поверхностного заряда и порогового напряжения.
При протекании тока неизбежно происходит обмен электронами между каналом и ловушками, имеющимися в диэлектрической пленке. Важным следствием такого обмена являются флуктуации тока — одна из главных составляющих собственных шумов транзистора. Эта составляющая относится к категории избыточных шумов, т. е. шумов не неизбежных, обусловленных не дискретной
