Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Литература / (тоже супер) физосновы для экз

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
05.06.2026
Размер:
11.11 Mб
Скачать

350

Р А З Д Е Л 3

женность поля в диэлектрике и удельный заряд электронов в канале. Поэтому сечение канала вблизи точки x = L сужается (рис. 3.84б).

При некотором критическом напряжении на стоке, которое называют напряжением насыщения, разность потенциалов между затвором и поверхностью в точке x = L делается равной нулю. Одновременно в этой точке делаются равными нулю напряженность поля в диэлектрике и удельный заряд носителей в канале (рис. 3.85а). Образуется так называемая «горловина» канала.

Напряжение насыщения имеет вид

Uсн = Uзи U0.

(3.35)

При напряжениях Uси > Uсн слой объемного заряда, который до сих пор отделялся от поверхности каналом,

а

б

Рис. 3.84

Распределение поля и зарядов в МДП-транзисторе при нулевом (а) и наибольшем положительном (б) напряжениях на стоке

Рис. 3.85

Распределение поля и зарядов в МДП-транзисторе:

а — на границе насыщения (Uси = Uсн); б — в области насыщения (Uси > Uсн).

Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В

351

«выходит на поверхность» на участке L, а «горловина» канала соответственно сдвигается в точку L′ (рис. 3.85б). Процессы образования «горловины» канала и ее сдвига просматриваются гораздо яснее в полевых транзисторах, где канал несравненно толще. Вследствие этого происходит укорочение канала на величину L; потенциал «горловины» в точке L′ сохраняет значение Uсн, которое было в начале насыщения.

Величина L (приповерхностная ширина объемного заряда) зависит от разности напряжений на этом участке Uси Uсн. Зависимость эта такая же, как зависимость ширины p-n-перехода от обратного напряжения:

L Uси Uсн .

После образования «горловины» канала ток в рабочей цепи практически перестает зависеть от напряжения на стоке — наступает насыщение тока (рис. 3.86а), откуда и название напряжения Uсн.

а

б

Рис. 3.86

Статические характеристики МДП-транзистора:

а — выходные; б — передаточные.

Анализ, выполненных с учетом описанных процессов, приводит к выражению для ВАХ, которое не удобно для инженерных расчетов (из-за наличия членов в степени 3/2). Поэтому на практике пользуются аппроксимациями

352 Р А З Д Е Л 3

ВАХ, из которых наиболее простой и распространенной является следующая:

 

2

(3.36)

Iс = b (Uзи U0 )Uси − 1 2Uси .

Здесь b удельная крутизна МДП-транзистора (один из его основных параметров):

b = μC0

Z

=

ε0εμ Z

,

(3.37)

 

L

 

d L

 

 

где μ — приповерхностная подвижность носителей (она обычно в 2–3 раза меньше объемной); Z — ширина канала. При значениях μ = 550 см2/(В с), Z/L = 10 и C0 = 2 10 –8 Ф/ см2 получаем типичное значение b ≈ 0,1 мА/В2.

Выражение (3.36) действительно только при условии Uси < Uсн, т. е., как говорят, на начальных — крутых участках ВАХ (см. рис. 3.86а). Если же Uси > Uсн, то ток не меняется и остается равным тому значению, которое он имеет при Uси = Uсн. Поэтому, подставляя (3.35) в (3.36), получаем выражение для области насыщения, т. е. для пологих участков ВАХ:

Iс = 1/2b(Uзи U0)2.

(3.38)

Этому выражению соответствует на рисунке 3.86б кривая с параметром Uсн.

Обычно номинальным током МДП-транзистора счи-

тается ток при напряжении Uзи = 2U0, т. е.

 

I

= 1/2bU2.

(3.39)

с ном

0

 

Как видим, чем меньше пороговое напряжение, тем меньше рабочий ток. Номинальному режиму, т. е. значению Uзи = 2U0 согласно (3.35) соответствует напряжение насыщения Uсн = U0. Следовательно, малые значения U0

обеспечивают и малые токи, и малые рабочие напряжения транзистора.

Выражения (3.36) и (3.38) имеют широкое распространение благодаря своей простоте и наглядности. Однако они дают значительную погрешность при расчетах, если концентрация примеси в подложке превышает 1015 см–3, что обычно имеет место. Поэтому в тех случаях, когда это

Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В

353

необходимо, вместо (3.36) пользуются более точной аппроксимацией:

 

2

,

Iс = b (Uзи U0 )Uси − 1/2(1

+ η)Uси

где η — поправочный коэффициент имеет вид

η = 1 a / C0 .

3 ϕsm

(3.40)

(3.41)

Например, если a/C0 = 2,5 В1/2 (как было

выше)

и ϕsm = 0,6 В, то η ≈ 1,1.

 

Дифференцируя (3.40) по Uси и полагая dIс/dUси = 0,

находим напряжение насыщения:

 

1

 

 

Uсн =

 

(Uзи U0 ).

(3.42)

1+ η

Оно оказывается меньше, чем при расчете по (3.35). Подставляя (3.42) в (3.40), получаем уточненную ВАХ для пологой области — области насыщения

Iс =

1

1

(Uзи U0 )2.

(3.43)

2

 

1+ η

До сих пор считалось, что исток соединен с подложкой. Бывают случаи, когда подложка имеет отрицательный потенциал Uпи относительно истока (например, в интегральных схемах, у которых подложка общая для всех транзисторов). Положительное напряжение на подложке в случае n-канального транзистора недопустимо, так как при этом p-n-переход истока будет работать при прямом включении и будет иметь место инжекция электронов в подложку, т. е. нарушится принцип работы униполярных транзисторов. Тогда напряжение, падающее на слое объемного заряда, увеличивается и это приводит к поправке в выражении (3.33б) для напряжения изгиба зон:

U0B = ϕsm +

a

ϕsm +

 

Uпи

 

.

(3.44)

 

 

C

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

При этом напряжение Uпи, естественно, войдет в выражение (3.38). Соответственно ток Iс, вообще говоря, бу-

354

Р А З Д Е Л 3

дет функцией двух напряжений: Uзи и Uпи, т. е. возможно двойное управление током.

С учетом влияния подложки характеристику (3.43) можно заменить следующей:

Iс = 1

1

(Uзи U0

2

η

 

Uпи

 

)2 .

(3.45)

 

 

1+ η

2

 

3

 

 

 

 

 

 

Как видим, наличие напряжения между подложкой и истоком равносильно увеличению порогового напряжения.

В заключение рассмотрим начальные крутые участки ВАХ, которые широко используются в ключевых (импульсных) схемах. Полагая

Uси Uзи U0,

можно пренебречь квадратичным членом в выражении (3.36) и получить линейную зависимость

Iс = b(Uзи U0)Uси.

(3.46)

Соответствующее семейство ВАХ показано на рисунке 3.87. Коэффициент при Uси в правой части (3.46) называется проводимостью канала, а обратная величина — сопротивлением канала:

1

 

R0 = b(Uзи U0 ).

(3.47)

Рис. 3.87

Начальные квазилинейные участки выходных характеристик МДП-транзистора

Как видим, сопротивление канала можно регулировать в широких пределах, меняя напряжение на затворе. Такая возможность используется на практике. Если положить Uзи U0 = 4 В и b = 0,1 мА/В2, то R0 = 2,5 КОм.

Малосигнальные параметры. В усилительной технике используются пологие участки ВАХ область насы-

Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В

355

щения. Этой области свойственны наименьшие нелинейные искажения сигналов и оптимальные значения малосигнальных параметров, существенных для усиления.

Малосигнальными параметрами МДП-транзистора

являются:

 

 

 

 

 

 

 

крутизна S =

dIс

 

 

;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dU

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зи

 

U

=const

 

 

 

 

 

 

 

 

 

си

 

 

 

 

 

 

 

внутреннее сопротивление rс =

dUси

 

 

;

 

 

dI

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с

 

U

=const

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зи

 

коэффициент усиления k =

dUси

 

.

 

 

 

dU

 

 

 

 

 

 

 

 

зи

 

I =const

 

 

 

 

 

 

 

 

 

c

 

Эти три параметра связаны соотношением

 

 

 

 

 

k = Srс.

 

 

 

 

(3.48)

Крутизна в области насыщения легко определяется из

выражения (3.38):

 

 

 

 

 

 

 

 

S = b(Uзи U0).

 

 

 

 

(3.49а)

Как видим, крутизна пропорциональна параметру b. Название последнего (удельная крутизна) обусловлено тем, что при Uзи U0 = 1 В величина b численно равна крутизне. С помощью выражений (3.49а) и (3.38) легко установить связь крутизны с рабочим током:

S = 2bIс .

(3.49б)

Например, при b = 0,1 мА/В2 и Iс = 1 мА получаем S = 0,45 мА/В.

Если использовать более точную формулу (3.43), то крутизна будет меньше, чем при расчете по формулам (3.49), поскольку величина b заменяется на b/(η + 1).

Внутреннее сопротивление на пологом участке ВАХ обусловлено зависимостью длины канала от стокового напряжения. Рост напряжения Uси сопровождается увеличением ширины стокового перехода L и соответственно уменьшением длины канала L′. При этом возрастает удельная крутизна b, а вместе с нею и ток стока Iс. В це-

356

Р А З Д Е Л 3

лом, такое явление аналогично эффекту Эрли. Поэтому внутреннее сопротивление МДП-транзистора имеет ту же структуру, что и коллекторное сопротивление rк:

 

2qN

Uс

 

 

rс = L

 

 

 

.

(3.50)

 

Iс

 

ε0εп

 

 

Примем те же значения концентрации, напряжения и тока, что и в примере к формуле rк: N = 1016 см –3; Uс = 4 В; Iс = 1мА. Тогда при L = 10 мкм получаем rс = 100 КОм — значение, на порядок меньше, чем rк. Заметим, что зависимость rс от тока Iс такая же, как зависимость rк от Iк у биполярных транзисторов.

Перемножив (3.50) и (3.49б), получим коэффициент усиления k. Он не зависит от длины канала; его типичные значения составляют 50–200 (в зависимости от ширины канала Z).

Полезно сравнить параметры биполярных и МДПтранзисторов. Поскольку номенклатура этих параметров разная, запишем сначала выражения для крутизны и коэффициента усиления биполярных транзисторов.

Крутизну легко определить из соотношения

S = dIк = dIк dIэ , dUэ dIэ dUэ

где первый множитель в правой части есть коэффициент усиления α, а второй — величина обратная сопротивлению эмиттерного перехода rэ. Таким образом, получаем

S = α/rэ = αIэT.

При токе Iэ = 1 мА крутизна составляет S ≈ 40 мА/В. Умножая крутизну на сопротивление коллекторного

перехода, получаем коэффициент усиления биполярного транзистора:

k = Srк = rк/rэ.

Этот коэффициент не зависит от тока; его типичные значения

k = 40 000–80 000.

Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В

357

Таким образом, в наших примерах МДП-транзисторы по всем трем параметрам существенно уступают биполярным. Следует, однако, иметь в виду, что крутизна МДП-транзисторов увеличивается с увеличением ширины канала и, кроме того, она значительно слабее зависит от тока. Поэтому в области малых токов и при большой площади параметры МДП-транзистора могут сравняться с параметрами биполярного.

Выше было отмечено, что МДП-транзистор может управляться не только напряжением затвора, но и напряжением подложки. Дифференцируя (3.45) по |Uпи|, получаем крутизну по подложке:

Sп = − 2

η

 

b(Uзи U0

2

 

Uпи

 

).

(3.51)

 

 

 

 

31+ η

 

3

 

 

 

 

 

Знак минус говорит о том, что ток Iс уменьшается с увеличением напряжения |Uпи|. Дифференцируя (3.45) по Uзи, получаем крутизну по затвору:

Sз =

 

η

(Uзи U0

2

η

 

Uпи

 

).

(3.52)

 

 

 

 

+ η

1

 

 

3

 

 

 

 

 

 

Как видим, наличие

напряжения

 

|Uпи|

приводит

к уменьшению крутизны Sз.

Отношение крутизн Sп и Sз находится в прямой зависимости от коэффициента η, т. е. в конечном счете определяется толщиной диэлектрика и концентрацией примеси

вподложке [см. (3.41)]. Обычно |Sп| < Sз.

Влюбом случае предпочтительно управление по затвору, потому что при этом входное сопротивление, определяемое диэлектриком, несравненно больше (при управлении по подложке входное сопротивление определяется обратным током истокового p-n-перехода).

Взаключение отметим, что рассматривавшееся во всех предыдущих разделах включение МДП-транзистора

собщим истоком (ОИ) (см. рис. 3.88а) — наиболее распространенное, но не единственно возможное. Иногда используется включение с общим затвором (ОЗ) (рис. 3.88б).

358

Р А З Д Е Л 3

а

б

Рис. 3.88

Включение МДП-транзистора с общим истоком (а) и с общим затвором (б)

Оно характерно весьма низким входным сопротивлением (близка к величине 1/S) и поэтому находит применение только в некоторых специальных схемах.

Стабильность параметров. При заданных напряжениях на затворе и стоке ток стока зависит от температуры. Эта зависимость проявляется через параметры b и U0. Функция b(T) обусловлена температурной зависимостью подвижности носителей, а функция U0(T) — температурной зависимостью уровня Ферми [см. (3.33б), где

ϕsm = F].

С ростом температуры и удельная крутизна, и пороговое напряжение уменьшаются, причем уменьшение этих параметров влияет на ток в противоположных направлениях, см. (3.38) и (3.43). Существует такое значение тока Iс, при котором влияние зависимостей b(T) и U0(T) уравновешиваются. Это стабильное значение называют критическим током. Наличие критического тока — важнейшая отличительная черта МДП-транзисторов; она обеспечивает возможность температурной стабилизации простейшим путем — выбором рабочего тока.

Из условия dIс/dT = 0 (с учетом производных ∂b/∂T и ∂U0/∂T) можно получить напряжение на затворе, соответствующее критическому току:

Uзи. кр U0 = (0,8–2,4) В

(3.53)

(минимальное значение соответствует концентрации примеси в подложке 1018 см–3, максимальное — концентрации 1015 см–3). Обычно критический ток в 5–10 раз меньше номинального, определяемого формулой (3.39).

Ф И З И Ч Е С К И Е О С Н О В Ы РА Б О Т Ы П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Х П Р И Б О Р О В

359

В диапазоне Iс > Iс кр (в частности, при номинальном токе) температурный коэффициент тока положительный, а в диапазоне Iс < Iс кр (микрорежим) — отрицательный. Температурную нестабильность тока принято характеризовать не приращением тока Iс, а эквивалентным приращением напряжения Uзи = Iс/S. Для токов, близких к критическому, характерны температурные чувствительности ±0,5 мВ/°С, для «сверхкритических» токов они составляют +(8–10) мВ/°С, а для «субкритических» — (4–6) мВ/°С.

Крутизна МДП-транзистора зависит от температуры через те же параметры b и U0, что и ток. Поэтому наряду с понятием критического тока существует понятие критической крутизны, для которой влияние зависимостей b(T) и U0(T) уравновешиваются. Критическая крутизна получается при токе, меньшем критического.

Тот факт, что главная рабочая часть МДПтранзистора — канал — граничит непосредственно с инородной средой — диэлектриком, оказывает влияние на стабильность параметров. Главное проявление нестабильности состоит в изменениях порогового напряжения. Эти изменения обусловлены в первую очередь изменениями равновесного поверхностного заряда Q0s [см. (3.33а)]. Поверхностный заряд меняется, например, при перемещении доноров, всегда имеющихся в диэлектрической пленке. Такое перемещение может быть результатом диффузии при высокой температуре или дрейфа в сильном поле затвора. Попадание в диэлектрическую пленку (или на ее поверхность) акцепторных примесей приводит к частичной компенсации заряда доноров, что также приводит к изменению поверхностного заряда и порогового напряжения.

При протекании тока неизбежно происходит обмен электронами между каналом и ловушками, имеющимися в диэлектрической пленке. Важным следствием такого обмена являются флуктуации тока — одна из главных составляющих собственных шумов транзистора. Эта составляющая относится к категории избыточных шумов, т. е. шумов не неизбежных, обусловленных не дискретной