Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Справочник по производственному контролю в машиностроении

..pdf
Скачиваний:
18
Добавлен:
19.11.2023
Размер:
93.43 Mб
Скачать

Оптические методы измерения толщины пленок

811

цилиндрические детали на поверхности которых нанесены пленки опре­ деленных толщин в виде ступенек (рис. 13.5).

Толщина пленки образцовой меры аттестуется с помощью прямых методов измерения с погрешностью не более 1—2%.

4. ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК

Эти методы в последнее время получили широкое применение при нанесении тонких покрытий. Их можно применять при условии, что пленка обладает хорошими оптическими свойствами и нанесена на хорошо подготовленную поверхность подложки. При измерении тол­ щины прозрачной пленки необходимо определить показатель прелом­ ления.

 

 

 

ТАБЛИ ЦА 13.5

Толщина воздушного зазора

в зависимости от цвета пленки (окраски

 

интерференционной

картины)

d Q в мм

 

Цвет пленки

 

 

 

не более

в отраженном

свете

в проходящ ем свете

 

100 '

124

140

164

235

257

300

352

409

465

520

570

600

650

720

780

852

912

996

1264

1450

Черный Синевато-белый

Бледно-соломенно-желтый Коричневато-желтый Оранжевый Пурпурный Небесно-синий

Н ебесно-синий насыщеный

Ж елто-зеленый Светло-оранжевый Пурпурный Синий

Морская зелень Зел i*ii ый

Бледно-желты й Пурпурпый Серо-спн и й

Серо-зеленый Серо-красный

М ясисто-красный Сине-зеленый

Белый Красно-коричневый Темно-синий Сине-зеленый

Светло-синий насыщеный Бледно-зеленый Золотисто-желтый Оранжевый Фиолетовый Светл о-сипий Зеленый Желтый

Мясисто-красный Пурпурный Серо-синий Ж елто-зеленый

Матово-желтый Серо-красный Соро-зеленый Морская зелень М ясисто-красный

812

Измерение толщины покрытий

Оптические методы — это в основном лабораторные методы. Для измерений толщины пленок применяют следующие методы: поляриза­ ционный, метод определения толщины по цвету окраски пленки, ин­ терференционный, светового сечения (см. гл. 12), теневого сече­ ния.

П о л я р и з а ц и о н н ы й м е т о д заключается в том, что линейно поляризованный свет, падающий под косым углом на поверх­ ность детали, покрытой пленкой, после отражения становится эллипти­ чески поляризованным. По степени и роду поляризации можно судить о толщине измеряемого слоя. При измерении показателя преломления воздуха с погрешностью 1,5—2% погрешность определения толщины

составляет

4—5%.

т о л щ и н ы п л е н к и

по

М е т о д

о п р е д е л е н и я

ц в е т у е е

о к р а с к и состоит в том, что при направлении когерент­

ных лучей на прозрачную пленку в ней будут наблюдаться полосы сме­ шанной окраски, которая изменяется с изменением толщины пленки, показателя преломления и угла падения лучей. Толщина пленки опре­

деляется

по формуле

 

 

 

 

 

 

h =

dp

9

 

 

 

 

п

 

где h — толщина пленки

в мкм;

d0 — толщина

воздушного зазора

в мкм;

п — показатель

преломления

пленки (по справочным дан­

ным).

 

 

 

 

13.5 в зависимости

Толщина воздушного зазора d0 берется по табл.

от цвета и окраски интерференционной картины. Этот метод субъективен

и позволяет определять толщину с погрешностью более

10%.

С помощью микроинтерферометров для определения

шероховато­

сти поверхностей можно определить толщину прозрачной пленки от 0,03 до 2 мкм. Интерферометр с компенсатором А. И. Карташова позво­ ляет расширить пределы измерения до 40 мкм. Погрешность определения толщины пленки составляет 10—30%.

5. ФИЗИЧЕСКИЕ РАЗРУШАЮЩИЕ МЕТОДЫ

ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПЛЕНОК

(ПОКРЫТИЙ)

К указанным методам относятся металлографический (микроскопи­

ческий) метод и метод хорды.

м е т о д

основан на определе­

М е т а л л о г р а ф и ч е с к и й

нии толщины покрытия на поперечном шлифе с помощью микроскопа с увеличением 20—1000 крат. Этот метод применяется для определения толщины однослойных и многослойных электролитических и анодиро­ ванных покрытий. Этот метод применяется в основном в случаях арби­ тража.

Для измерения толщин пленок до 20 мкм рекомендуется пользо­ ваться микроскопом с увеличением 500—1000 крат, а для толщин более 20 мкм с увеличением 200 крат. Для измерения толщины пленки изго­ товляют шлиф с поперечным разрезом в соответствии с ГОСТ 16875—71

Химические методы

813

(приложение 1). Полученный шлиф обезжиривают и в случае необ­ ходимости травят специальными растворами (ГОСТ 16875—71, при­ ложение 2). Затем с помощью металлографического микроскопа опреде­ ляют толщину пленки, производя не менее трех измерений по всей длине шлифа. Среднее арифметическое зна­ чение из трех измерении составит тол­ щину пленки.

Сущность м с т о д а х о р д и состоит в том, что измеряемую деталь (рис. 13.($глнадреяают шлифовальным кругом до появления подложки. Затем с помощью лупы или измерительного микроскопа измеряется ширина с среза.

Толщина

покрытия h определяется

по формулам:

поверхности (рис.

для

плоской

13.6, а)

 

 

 

h =

SR

для цилиндрическом поверхности (рис. 13.6, б)

 

в V

/?1

R2

 

 

 

 

я гя

 

)>

Рис.

13.6

 

 

R1R 2

 

где R i

— радиус

кривизны контролируемого

участка

детали; R 2

радиус

шлифовального

круга.

 

 

Для выполнения среза рекомендуется применять шлифовальные круги G зернистостью не менее 60—80, диаметром 150—200 мм, шири­ ной 4—12,5 мм.

Метод хорды следует применять в основном для контроля толщин пленок многослойных покрытий. Это — метод лабораторный.

6.ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ

Кхимическим ' методам определения толщин пленок (ГОСТ 16875—71) относятся метод струи, капли или снятия слоя. Это — лабо­ раторные методы. Сущность метода струи состоит в растворении пленки (покрытия) раствором, вытекающим на поверхность детали в виде струи

сопределенной скоростью. Толщина пленки рассчитывается по времени, затраченному на растворе'ние покрытия (струйно-периодический метод) или по объему раствора, израсходованному на растворение покрытия (струйко-объемный метод). Окончание растворения пленки устанавли­ вают визуально с помощью прибора, регистрирующего изменение по­ тенциала или тока в момент полного растворения покрытия (электроструйный метод).

Сущность м е т о д а к а п л и состоит в том, что на поверхность пленки наносят капли раствора и выдерживают в течение определен­ ного промежутка времени. Толщину пленки рассчитывают по числу капель, затраченных на растворение пленки.

814

Измерение толщины покрытий

М е т о д

с н я т и я с л о я основан на растворении пленки

в растворе, который действует на основной металл детали. Расчет тол­ щины пленки производят по массе растворенного металла, которую определяют химическим анализом раствора или взвешиванием детали д© и после растворения пленки.

М е т о д ы с т р у и и к а п л и применяют для измерения мест­ ной толщины однослойных и многослойных металлических пленок (цин­ ковых, кадмиевых, медных, никелевых, хромовых, серебряных) на поверхностях, площадь которых не менее 0,3 см2.

Метод капли не рекомендуется применять для пленок толщиной более 20 мкм. Метод снятия слоя применяют для измерения средней

толщины однослойных и многослойных

пленок малогабаритных дета­

лей в основном в случаях арбитража.

 

 

Погрешность измерения толщины пленок от 2 мкм и выше:

 

Метод измерения

 

Погрешность в %

Струйно-периодический

. * . .

± 1 0

Струйно-объемный. . . . . . .

v

± 1 5

Метод

капли ...........................................

 

± 3 0

Метод

снятия слоя • *

. • • • •

 

± 1 0

7.ВЕСОВОЙ МЕТОД

Весовой метод определения толщины пленки следует отнести к не­ разрушающим методам. Для определения толщины пленки (покрытия) измеряемую деталь взвешивают до и после покрытия. По геометрическим размерам определяют площадь поверхности покрытия.

Толщину пленки /гср в мкм рассчитывают по формуле

h __ ( g 2 — g i) 1000

где gi — масса детали до нанесения пленки (покрытия) в г; g 2 — масса детали после нанесения пленки (покрытия) в г; S — площадь поверх­ ности (покрытия) в см2; у — плотность материала пленки в г/см?.

Для определения массы применяют весы, имеющие погрешность не более ±0,001 г. Это — метод лабораторный, позволяющий определить среднюю толщину пленки с погрешностью ±10% .

Список литературы

1. Валитов А. М., Шилов Г. И. Приборы и методы контроля тол­ щины покрытий. Справочное пособие. Л., «Машиностроение», 1970,

119с.

2. Информационный листок № 650—71. — Образцовые меры тол­

щины

пленок. Ленинградский

ЦНТИ.

3.

Карташов А. И. Шероховатость поверхности и методы ее измере­

ния. М., Стандартгиз, 1964, 163 с.

4.

Метфессель

С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение.

М.—Л., Госэнергоиздат, 1963,

272 с.

5.

Справочник

по производственному контролю в машиностроении.

Изд. 2-е. Под общей редакцией А. К. Кутая. М.—Л., 1964, 742 с.

ГЛАВА ЧЕТЫРНАДЦАТАЯ

КОНТРОЛЬ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ДЕФЕКТОВ МЕТАЛЛОВ И ПЛАСТМАСС

1. МЕХАНИЧЕСКИЕ ИСПЫТАНИЯ МЕТАЛЛОВ

 

Классификация

методов испытаний

 

Различают следующие

виды

испытании механических

свойств.

С т а т и ч е с к и е и

с п ы т а н и и характеризуются

плавным

и медленным приложением

нагрузки к испытуемому образцу,

не вызы­

вающим заметных величин ускорений, движущихся частей йены ти гель­ ной машины и, следовательно, незначительными силами инерции, возникающими в них. Такой характер нагружения дает возможность измерять с достаточной точностью величину нагрузки, приложенной к образцу, а также величину деформации в любой момент испытания.

Д и н а м и ч е с к и е и с п ы т а н и я характеризуются резким изменением величины усилий, действующих на образец, большой скоростью деформации образца и возникновением значительных сил инерции в частях образца и испытательной машины, передающих на­ грузку на образец.

Обычные динамические испытания служат для определения вяз­ кости или хрупкости материала и не дают представления о величине напряжений в образце.

И с п ы т а н и я н а у с т а л о с т ь и л и в ы н о с л и в о с т ь характеризуются многократными повторными или знакопеременными нагрузками, прилагаемыми к испытуемому образцу.

Разрушение металла под действием такого рода нагрузок проис­ ходит при напряжениях более низких, чем те, которые металл может выдержать без разрушения при статической нагрузке.

И с п ы т а н и я н а т в е р д о с т ь , как разновидность механи­ ческого испытания, получили широкое распространение. Они заклю­ чаются в том, что в поверхность испытуемого тела внедряется другое, более твердое тело.

И с п ы т а н и я н а и з н о с и и с т и р а н и е заключаются в определении изменений механических свойств материалов на их по­ верхности после длительного воздействие сил трения, а также в уста­ новлении у образцов потери в весе. В последнее время такие испытания проводятся с помощью радиоактивных изотопов.

Т е х н о л о г и ч е с к и е и с п ы т а н и я применяются в том случае, если желают установить пригодность материала для того или иного технологического процесса, а также судить о некоторых свой­ ствах материала, например пластичности.

Сравнимость полученных характеристик тем или иным методом испытания может быть достигнута лишь в том случае, если испытания проведены по единой методике, которая регламентируется ГОСТом»

816

Контроль механических свойств металлов и пластмасс

Статические испытания на растяжение

Испытания на растяжение производят на специальных испытатель­ ных машинах [12], на которых образец круглого или прямоугольного сечения подвергается растяжению (рис. 14.1).

LQ

" N -

Места вырезки заготовок для испытуемых образцов, количество и их ориентировка по продольной оси регламентируются в соответ­ ствующих стандартах и Технических условиях.

При испытании листового или полосового металла применяются плоские образцы, поверхностный слой которых должен быть сохранен необработанным. При наличии полосового или листового металла толщиной 10 мм и более могут изготовляться цилиндрические образцы.

Механические испытания металлов

817

Вприложении к ГОСТ 1497—61 указаны рекомендуемые размеры

иформа образной (ем. рис. 14.1).

Характеристики, определяемые при испытании па растяжение К

В соответствии с ГОСТ 1497-- 01 скорость перемещения захвата машины независимо от длины образна устанавливается равной до появления

предела текучести нс более 0,1

мм/мин, за пределами текучести — не

более

0,4 мм/м и и.

 

 

 

Результаты испытания, iioKa.n.maioiinie зависимость между нагруз­

кой в кге) н деформацией (Л/ в мм),

Moiyr Г>ып. изображены на диа­

грамме растяжения (рис. II.2).

Мри

>п>м можно установить:

1) величину нагрузки, которой подвергается образец, пли напря­

жение, которое испытывает его

материал при

деформации*.

2) величину абсолютных (в мм) пли относительных (в %) упругих

или

пластических (остаточных)

деформаций,

которые претерпевает

образец при растяжении.

Из диаграммы па рис. 14.2 следует, что до некоторой точки а за­ висимость между нагрузками и деформацией выражается прямой ли­

нией

0ау т. е. деформации

пропорциональна

нагрузке.

Напряжение (т„цв точке а, в которой начинаются отступления от

этого

закона, называется

п р е д е л о м

п р о п о р ц и о н а л ь -

н о с т и (условным) и вычисляется по формуле

где Рпц — нагрузка при пределе пропорциональности; F0 — начальная площадь поперечного сечения в рабочей части образца.

Более точное определение предела пропорциональности произво­ дится тензометрированием.

Дальнейшее повышение нагрузки вызывает на кривой незначи­ тельное отклонение от прямой до точки b, соответствующей нагрузке Ру, до которой при полном ее снятии образец не обнаружит остаточной

деформации. Напряжение ау, вычисленное по формуле

 

 

называется

п р е д е л о м

у п р у г о с т и ,

определяемым с помощью

тензометров.

Определяется

также о0(05 — у с л о в н ы й

п р е д е л

у п р у г о с т и — напряжение,

при

котором абсолютное

остаточное

удлинение достигает 0,05%

от расчетной длины

образца.

 

свойствах

Величины о!Щ, оу и о0,0Г> позволяют судить об упругих

испытуемого

металла.

 

 

 

 

 

 

 

 

При дальнейшем повышении нагрузки отмечается еще большее

отклонение

от прямой

до

точки

d,

соответствующей той

предельной

1 В соответствии с

проектом

ГОСТа «Единицы

физических

величин»

в качестве единицы силы принят ньютон

(Н), е д и н и ц ы

давления

и механичес­

кого напряжения паскаль (Па).

 

 

 

(кге) в

ньютоны. (Н)

При переводе единицы

силы — килограмм-силы

необходимо пользоваться

соотношением

1 кге =

9,80665 Н или

приближенно

1 кге = 9,81

Н.

 

механического напряжения — килограмм-силы

При переводе единицы

на квадратный сантиметр (кгс/см2) или килограмм-силы на квадратный милли­ метр (кге/мм2) в паскали (Па) необходимо пользоваться соотношением 1 кгб/см2— = 9,80665* 103 Па и 1 кге/мм2 = 9,80665* 104 Па.

818 Контроль механических свойств металлов и пластмасс

нагрузке Рт, после которой дальнейшего увеличения нагрузки не происходит, удлинение же продолжается, т. е. металл деформируется без повышения нагрузки.

Напряжение ат, вычисленное по формуле

 

 

 

 

 

 

 

Рт

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

<*т — —Е

у

 

 

 

 

 

 

 

 

называется

 

 

 

Го

 

 

 

(физическим).

п р е д е л о м т е к у ч е с т и

 

 

У

многих металлов

площадки текучести на кривой растяжения

не обнаруживается

(рис.

14.3). В этом случае значение предела теку­

р

 

 

 

 

 

чести (условного)

вычисляется

по формуле

 

 

 

0,2% от10

 

 

 

 

а

 

_

Р0.2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 / 7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

°о л “

F .

*

 

 

 

 

 

 

; Л ]

 

где P0i2 — нагрузка

 

в точке

 

b

(рис. 14.3),

 

 

 

 

в которой остаточная деформация образца

 

 

 

! /

 

равна 0,2% его расчетной длины (отрезок От).

 

 

1

 

При дальнейшем

увеличении

нагрузки

 

 

 

кривая

растяжения (рис.

14.2) плавно повы­

 

 

//

;1

 

шается

до

В ,

что

соответствует

наиболь­

 

ад/

,/

 

 

шему усилию

Р в.

Напряжение

а Е, вычис­

 

 

 

 

 

 

ленное

по

формуле

 

 

 

 

 

 

 

//

//

 

^

 

 

 

 

 

«

 

-

Р»

у

 

 

 

 

/

/

 

 

 

 

 

 

 

Ов

— ~Е

 

 

 

 

/

/

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Го

 

 

 

 

 

/

/

 

 

 

называется

 

в р е м е н н ы м

с о п р о т и в ­

/ /

 

 

 

 

/

/

 

 

 

 

л е н и е м

при

растяжении.

 

 

 

/

/

 

 

 

 

Дальнейший

ход

кривой

растяжения

/

 

 

'г

Л1

показывает, что металл продолжает удли­

 

 

Рис.

14.3

 

няться

при

 

уменьшающейся

нагрузке, так

 

 

 

как на образце возникает местное сужение

 

 

 

 

 

 

площади поперечного сечения

 

в виде шейки

и в точке / (рис. 14.2) образец разрушается при нагрузке Рк меньшей, чем при временном сопротивлении.

Если нагрузку Рк отнести к площади поперечного сечения об­

разца FK в момент разрыва,

то вычисленное напряжение

 

S = - Р

к

>

 

р

К

 

*

 

называется и с т и н н ы м

с о п р о т и в л е н и е м р а з р ы в у ,

которое всегда больше временного

сопротивления.

Испытание на растяжение позволяет также выявить пластические свойства металла, т. е. его способность деформироваться. Остаточная деформация АI образца складывается из равномерного удлинения об­ разца по всей расчетной длине A/j и А/2, сосредоточенного в определен­ ном объеме образца удлинения, т. е. в шейке (рис. 14.2).

Относительное остаточное удлинение после разрыва 8 определяется по формуле

6= А - ./.» юо = А - юо%,

h to

где /0 — начальная расчетная длина образца; /к — длина образца после разрыва.

 

 

 

Механические испытания металлов

819

О т н о с и т е л ь н о е

о с т а т о ч н о е

с у ж е н и е п л о ­

щ а д и п о п е р е ч н о г о

с е ч е н и я

Ф

может быть вычислено

по формуле

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Г, 100%,

 

 

 

 

 

 

 

1 о

 

 

 

 

 

 

где

Fо — начальная

площадь

поперечного

 

 

сечения образца; /;к — минимальная площадь

 

 

поперечного

сечения

после

разрыва.

пло­

 

 

При

испытании

плоского

образца

Рис.

14.4

щадь поперечного сечения в месте разрыва

 

 

вычисляют

путем умножения

наибольшей

 

 

ширины

образца Ъ у места

разрыва на наименьшую его толщину а

(рис.

14.4);

первоначальная

ширина

Ь0

и

толщина а0.

 

 

 

 

Статические испытания на сжатие

 

Для

испытания

сталей

применяются

цилиндрические

образцы,

в которых /0 = d0 или /0 =

3d0. Для испытаний, при которых опреде­

ляется модуль упругости, предел упругости или предел пропорцио­

нальности, применяются образцы с

соотношением

/0 =

Sd0.

 

 

 

 

ных

При испытании

 

на

сжатие чугун­

 

 

образцов

 

(по

 

ГОСТ

2055—43)

 

 

цилиндрические

образцы

изготовля­

 

 

ются в зависимости от толщины стенки

 

 

отливки

 

0 10—25

мм

при

/0 =

d0.

 

 

Если же

испытание

 

чугуна

произво­

 

 

дится с определением общих свойств,

 

 

то соотношение длины к диаметру

 

 

принимается равным

 

10 =

3d0.

 

 

Центр шаровой

 

Размеры

образцов

 

измеряются

 

поверхности

с погрешностью

0,01

мм.

 

предъяв­

 

2

 

Главным

требованием,

 

ляемым

к

образцу при

испытании на

 

 

 

 

сжатие,

 

является

взаимная

парал­

 

^Опорная

лельность

опорных

торцовых

поверх­

 

ностей, перпендикулярных оси образца.

 

подушка

У/7//////.Y / / / / ' '///■

Скорость перемещения подвижной

го­

ловки машины при испытании не дол­

Головка машины

жна

превышать

2 мм/мин.

помещается

 

Рис. 14.5

Испытуемый

образец

 

между

нижней

и

верхней

опорами

 

 

испытательной

машины. Верхняя

опо­

ра 1 должна иметь шаровую поверхность, чтобы

 

во

время испы­

тания

направление действующей

нагрузки

было

строго

по

оси

образца

2 (рис. 14.5).

 

нагрузки

необходимо,

чтобы

ось

Во

избежание эксцентриситета

образца проходила через центр шаровой опоры, при этом отклонение оси от центра не должно превышать 0,25 мм.

820 Контроль механических свойств металлов и пластмасс

Предел прочности при сжатии осж вычисляется по формуле

где Ртах — наибольшая нагрузка; F0 — площадь поперечного сечения

образца

до испытания.

 

 

Относительное укорочение образца при сжатии е находят по фор*

муле

 

 

 

 

е =

-

100%,

где h0 — начальная высота;

 

п0

h — высота образца после сжатия.

Относительное утолщение сечения при сжатии ф находят по

формуле

 

 

 

 

Ч>-

F~ -F°- юо%,

 

 

 

Г О

где F0 — начальная площадь поперечного сечения; F — площадь попе­

речного

сечения образца после

сжатия.

,Статические испытания на изгиб

Испытанию на статический изгиб подвергаются образцы из чугуна, а также различные детали машин. Испытания на изгиб применяются для упрощенной проверки пластичности, однородности и способности металла к холодной обработке давлением.

Стандартные образцы чугуна для испытания на изгиб (по ГОСТ 2055—43) при расстоянии между опорами в 600 мм имеют 0 30 мм и длину 650 мм, при расстоянии между опорами в 300 мм соответственно 0 30 мм и длину 340 мм. Отклонение по диаметру необработанного образца в любом сечении не должно превышать ± 1 мм. Результаты испы­ таний должны рассчитываться с учетом отклонений.

Образец, помещенный на двух опорах, нагружается посередине сосредоточенной нагрузкой вплоть до разрушения. При этом опреде­ ляется требуемое для этого усилие и вычисляется предел прочности а, а также измеряется специальным индикатором стрела прогиба f с по­

грешностью не более 0,1 мм.

 

Предел прочности при изгибе определяется по формуле

__ М

__ Р1

° ~ W Z ~ 4 W Z ’

где М — изгибающий момент;

W2 — осевой момент сопротивления;

Р — сосредоточенная нагрузка в момент излома; I — расстояние между

опорами.

При испытании цилиндрических образцов предел прочности при изгибе равен

__ 8Р1

° ~~ nd3 9

где d — диаметр образца.

8/

Если — обозначить коэффициентом /С, то а = КР . Ряд значений коэффициента К указан в ГОСТ 2055—43 1.

1 ГОСТ 2055-^43. «Отливки из серого и ковкого чугуна. Методы механик

ческих испытаний».