книги из ГПНТБ / Слободенюк, Г. И. Квадрупольные масс-спектрометры
.pdfдо yl
S .
Слободенюк
Рис. 42.  | 
	Фотография записи спектра масс  | 
	остаточных газов  | 
	в установке УВН-2У в диапазоне масс  | 
14— 140  | 
	а. е. At. при максимальном разрешении  | 
	470 на массе 140  | 
	а. е. м.  | 
Рис. 43. Фотография записи  | 
	спектра масс остаточных газов в установке УВН-2У в диапазоне масс от 14  | 
до 260 а.  | 
	е. м. при максимальном разрешении 440 на массе 219 а. е.м.  | 
рией КМ зависимость  | 
	абсолютной разрешающей  | 
	спо  | 
|||
собности от номера массы [см.  | 
	формулу (2.9)], а  | 
	так  | 
|||
же факт  | 
	усугубления  | 
	дискриминационных  | 
	явлений в  | 
||
спектре  | 
	с ростом разрешающей  | 
	способности  | 
	прибора  | 
||
[см. выражение (4.67)]. Некоторые дополнительные эф фекты, в особенности на начальном участке спектра масс, вносит ограниченность полосы пропускания реги стрирующей части прибора, приводящая к уширению узких импульсов и к одновременному уменьшению их амплитуды. Борьба с этим явлением возможна и прово дится путем автоматического регулирования в процес се развертки спектра масс отношения К. Такая регули ровка осуществлена в приборах КМ-2 и КМ-4. Из со поставления одних и тех же участков спектра на этих рисунках вытекает вывод о возможности улучшения одного из параметров КМ за счет некоторого ухудше ния другого. Например, чувствительность масс-спектро
метра  | 
	при записи спектра, соответствующей рис. 42,  | 
||||
приблизительно в три раза меньше, чем  | 
	при  | 
	записи  | 
|||
спектра, отображенной на рис.  | 
	43, где она  | 
	составляет  | 
|||
2 • 10-12 мм рт.  | 
	ст. по аргону  | 
	в азотном  | 
	эквиваленте.  | 
||
На  | 
	рис. 44  | 
	и 45 приведены полученные с помощью  | 
|||
прибора КМ-2  | 
	записи спектра фторуглеродного  | 
	соеди  | 
|||
нения  | 
	C10Fi8 при работе соответственно в  | 
	диапазонах  | 
|||
масс I  | 
	и II, предусмотренных  | 
	в приборе.  | 
	По  | 
	макси  | 
|
мальным массам, а также по максимальным значениям V, фиксируемым по прибору на передней панели блока
ГВЧ,  | 
	можно определить  | 
	диапазоны анализируемых при  | 
|
бором  | 
	КМ-2 масс: диапазон  | 
	I — от 1 до 340 а. е. м.  | 
|
и диапазон II — от 4 до  | 
	700 а.  | 
	е. м.  | 
|
На рис. 46 представлен спектр изотопов ксенона, по лученный при работе на газоанализаторе КМ-4. По ри сунку можно судить о максимальной устойчиво воспро изводимой относительной разрешающей способности масс-спектрометрической части газоанализатора (при бор КМ-2), составляющей на массе 132 а. е. м. по уров ню 5% 330, а по уровню 50% ~600. При такой разре шающей способности, значительно превышающей пас портные данные прибора КМ-2 (по паспорту разрешаю щая способность на массе 132 а. е. м. по уровню 50% равна 300), чувствительность прибора КМ-4 в этих измерениях по аргону в азотном эквиваленте при ско рости регистрации 0,15 а. е. м./сек оказалась равной 1 • 10-11 мм рт. ст. При таком разрешении дискримина-
196
69
от 1 до 340 а. е. м.
J U l
<36 m m
Рис. 46. Спектр масс изотопов ксе
нона  | 
	(128— 136 а. е.  | 
	м.). Избыточ  | 
||||
ное  | 
	давление ксенона  | 
	в камере  | 
||||
КМ-4 равно  | 
	3-10-6  | 
	мм рт. ст.  | 
||||
  | 
	Изотопный состав:  | 
	
  | 
||||
масса  | 
	изотопов, а .е .м .  | 
	128  | 
	129  | 
	130  | 
||
табличны е  | 
	данные,  | 
	%  | 
	1,92  | 
	26,24  | 
	4,05  | 
|
результаты  | 
	и зм ер е   | 
	2,01  | 
	26,8  | 
	4,17  | 
||
ния,  | 
	% . . . .  | 
	
  | 
||||
масса  | 
	изотопов, а .е .м .  | 
	131  | 
	132  | 
|||
табличные  | 
	данные,  | 
	%  | 
	21,24  | 
	26,98  | 
||
результаты  | 
	и зм е р е   | 
	21,7  | 
	26,5  | 
|||
ния.  | 
	% ......................  | 
|||||
масса  | 
	изотопов, а .е .м .  | 
	134  | 
	136  | 
|||
табличны е  | 
	данные,  | 
	%  | 
	10,52  | 
	8,93  | 
||
результаты  | 
	и зм ер е   | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||
ния,  | 
	% ......................  | 
	10,4  | 
	8,5  | 
|||
130 128
  | 
	Т  | 
	=  | 
4  | 
	
  | 
|
  | 
	
  | 
f
Рис. 47. Спектр масс остаточной газовой среды в камере КМ-4 в диапазоне масс от 6 до 25 а. е. м. при отсутствии ослабления сиг
нала.
. . . . . 1  | 
	l  | 
1 Iш —1 -- - J ___ _L_  | 
	i l i  | 
_ oP  | 
2* 22 2016 16 И 1210 8 6
Рис. 48. Спектр масс остаточной газовой среды в камере КМ-4 в диапазоне масс от 6 до 45 а. е. м. при ослаблении сигнала в 33 раза.
1
,
cLi~и лт а [— tI—= К ~ б . 1  | 
	1  | 
	Ж  | 
h t i г . ir “ ы — т  | 
||
' t f 4 d 2 I P г ? 3 .P P I P 2 3 P j® J2 p p t# t% l 1 0 I S 1 1 1 2 1 0 (
Рис. 49. To же, что на рис. 48, при ослаблении сигнала р 256 раз.
Рис. 50. То же, что на рис. 48, при ослаблении сигнала в 1280 раз.
  | 
	J У-г>ч. ■  | 
	I -  | 
	,—У. I— к У | Ц  | 
	|  | 
	|,  | 
	;)|J  | 
	I  | 
	_  | 
Ц  | 
	W  | 
	,  | 
	3230 28  | 
	
  | 
	
  | 
	18  | 
	16 п  | 
	■  | 
Рис.  | 
	51. Спектр  | 
	газовой  | 
	среды  | 
	в камере  | 
	КМ-4  | 
|||
в диапазоне  | 
	масс от 6 до 45 а.  | 
	
  | 
	е. м.  | 
	при напуске  | 
||||
в камеру воздуха до давления 3,6 • 10—7 мм рт. ст. и ослаблении сигнала в 4000 раз.
ционные эффекты, как видно из таблицы изотопного состава Хе, становятся заметными уже в пределах отно сительно небольшого интервала масс, занимаемого изо топами ксенона.
Суждение о чувствительности и динамическом диа пазоне, достигнутых на приборе КМ-2 в составе газо анализатора КМ-4 при паспортном значении разре шающей способности, можно составить по серии спектро грамм, изображенных на рис. 47—51. На них зафикси рован один и тот же участок спектра масс остаточной газовой среды в вакуумной камере КМ-4 в диапазоне масс 6—25 (45) а. е. м. при различных коэффициентах ослабления сигнала. Давление остаточной среды в каме ре с датчиком до напуска в нее воздуха (см. рис. 47—50) составляло 1,8-10~7 мм рт. ст. и после напуска в каме ру воздуха (см. рис. 51) — 3,6- 10-7 мм рт. ст. Из рисун ков видно, что динамический диапазон прибора КМ-2 со ставляет величину 2,6- 105; чувствительность при скоро сти регистрации 0,15 а. е. м./сек равна 1 • 1СИ2 мм рт. ст., а максимально возможное отношение рядом стоящих и
удовлетворительно разрешаемых  | 
	импульсов,  | 
	например,  | 
с массами 18 и 19 а. е. м., близко  | 
	к 104.  | 
	в настоя  | 
Результаты экспериментов,  | 
	изложенные  | 
щем параграфе и имевшие целью наглядно подтвердить сведения об устойчиво воспроизводимых технических параметрах серийноспособных приборов типа КМ (см. табл. 1) свидетельствуют о достаточно высоких аналити ческих возможностях этих приборов, являющихся ди намическими инструментами, предназначенными в ос новном для непрерывно экспрессного панорамного ана лиза различных технологических парогазовых сред.
§35. Экспериментальное исследование спектральной характеристики КМ (т. е. амплитуды и формы линии спектра масс)
За исключением  | 
	некоторых  | 
	сообщений  | 
	[8,  | 
	22, 62]  | 
|
в отечественной и  | 
	зарубежной  | 
	литературе  | 
	отсутствуют  | 
||
сведения  | 
	о теоретических и экспериментальных  | 
	иссле  | 
|||
дованиях  | 
	спектральных свойств КМ, необходимость ко  | 
||||
торых объясняется не только важностью этой характе ристики, определяющей основные аналитические свой ства КМ, но и трудностями ее точного математиче ского описания [22, 23]. В настоящем параграфе при ведено описание методики и результатов эксперимен-
202
тальных исследований спектральной характеристики КМ,
выполненных  | 
	на  | 
	приборе  | 
	КМ-2, входящем  | 
	в состав  | 
газоанализатора КМ-4.  | 
	энергии инжектируемых в  | 
|||
Исследование  | 
	влияния  | 
|||
анализатор  | 
	КМ ионов UyCK и отношения напряжений  | 
|||
в анализаторе U/V=X на амплитуду и форму импульса  | 
||||
спектра масс.  | 
	Для выделения из спектра масс  | 
	отдельно  | 
||
стоящих импульсов, существенно различающихся по массе, велись наблюдения за сигналом 160 2+, возникав шем при напуске в откачанную рабочую камеру газоана лизатора атмосферного воздуха до давления в камере (2—3) • 10_6 мм рт. ст. После запланированной серии экспериментов с кислородом рабочая камера вновь от качивалась, затем ее наполняли ксеноном и вели наблю дения за импульсом массы 134 а. е. м. — изотоп ксенона 134Хе. Запись велась на бумажной ленте потенциометра ЭПП-09МЗ при максимально возможной скорости протяжки 4 мм/сек. Для того чтобы в максимально возможной степени избавиться от частотных искажений сигнала из-за ограниченности полосы пропускания реги стрирующей части прибора КМ-2, скорость регистрации спектров масс была выбрана минимальной из предусмот ренных в приборе КМ-2, равной 0,15 а. е. м./сек.
На рис. 52 и 53 представлены фотографии двух серий
импульсов 160 2+ соответственно  | 
	для  | 
	разных  | 
	значений  | 
|||||
ускоряющего ионы электрического  | 
	
  | 
	поля  | 
	UYCK  | 
	перед  | 
||||
влетом их в анализатор и для разных величин  | 
	отноше  | 
|||||||
ния постоянного напряжения U к амплитуде ВЧ-напря-  | 
||||||||
жения V, подаваемых на полеобразующие  | 
	цилиндриче  | 
|||||||
ские  | 
	электроды анализатора КМ  | 
	(k= U /V ).  | 
	На  | 
	поле  | 
||||
этих  | 
	рисунков  | 
	над импульсами  | 
	указаны  | 
	масштабные  | 
||||
коэффициенты,  | 
	позволяющие перевести амплитуды всех  | 
|||||||
импульсов каждой данной серии  | 
	в  | 
	масштаб  | 
	самого  | 
|||||
большого по своей амплитуде импульса. При определе нии этих коэффициентов учитывались все переключения в регистрирующей части прибора, приводившие к изме нению коэффициента усиления сигнала.
Анализируя эти рисунки, можно прийти к следующим заключениям: а) при уменьшении С/уск и увеличении К
амплитуда и длительность импульса падают,  | 
	причем па  | 
|
дение амплитуды вначале невелико, а затем  | 
	становится  | 
|
существенным. Для иллюстрации  | 
	этого явления на  | 
|
рис. 54, а, б построены зависимости  | 
	амплитуды сигнала  | 
|
от величины абсолютной разрешающей способности КМ
203
