Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Антоненко Методические указания и лабораторные работы 2011
.pdfСергей Васильевич Антоненко
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ И ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ ПО КУРСАМ
«ТЕХНОЛОГИЯ НАНОСТРУКТУР» И «ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК»
Редактор Г. А. Петрухина Оригинал-макет подготовлен С. В. Антоненко
Подписано в печать 15.11.2011. Формат 60×84 1/16
Печ.л. 4,75. Уч.-изд.л. 4,75. Тираж 150 экз.
Изд. № 3/2. Заказ 64.
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». 115409, Москва, Каширское шоссе, 31
ООО «Полиграфический комплекс «Курчатовский». 144000, Московская область, г. Электросталь, ул. Красная, д. 42
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]