Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Антоненко Методические указания и лабораторные работы 2011

.pdf
Скачиваний:
7
Добавлен:
12.11.2022
Размер:
14.24 Mб
Скачать

Сергей Васильевич Антоненко

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ И ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ ПО КУРСАМ

«ТЕХНОЛОГИЯ НАНОСТРУКТУР» И «ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК»

Редактор Г. А. Петрухина Оригинал-макет подготовлен С. В. Антоненко

Подписано в печать 15.11.2011. Формат 60×84 1/16

Печ.л. 4,75. Уч.-изд.л. 4,75. Тираж 150 экз.

Изд. № 3/2. Заказ 64.

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». 115409, Москва, Каширское шоссе, 31

ООО «Полиграфический комплекс «Курчатовский». 144000, Московская область, г. Электросталь, ул. Красная, д. 42