ФГБОУ ВПО “Воронежский государственный

технический университет”

ХИМИЯ, НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Выпуск 6

Межвузовский сборник

научных трудов

Воронеж 2014

УДК 621.38.002.3

Химия, новые материалы, химические технологии: межвуз. сб. науч. тр. [Электронный ресурс] – Электрон. текстовые и граф. данные (15,5 Мб). – Воронеж: ФГБОУ ВПО “Воронежский государственный технический университет”, 2014. – Вып. 6. – 1 электрон. опт. диск (CD-ROM) : цв. – Систем. требования: ПК 500 и выше; 256 Мб ОЗУ; Windows XP; SVGA с разрешением 1024x768; MS Word 2007 или более поздняя версия; CD-ROM дисковод; мышь. – Загл. с экрана. – Диск и сопровод. материал помещены в контейнер 12х14 см.

ISBN 978-5-7731-0378-3

В сборнике научных трудов представлены статьи, в которых отражены результаты теоретических и экспериментальных исследований в области физики и химии твердого тела, материаловедения, машиностроения, полученные преподавателями, аспирантами и студентами различных специальностей ВГТУ и на других предприятиях г. Воронежа.

Материалы сборника соответствуют научному направлению “Наукоемкие технологии в машиностроении, авиастроении и ракетно-космической технике” и перечню критических технологий Российской Федерации, утвержденному Президентом Российской Федерации. Публикуемые статьи предназначены студентам, аспирантам, инженерно-техническим работникам, специализирующимся в области материаловедения и машиностроения.

Редакционная коллегия:

В.А. Небольсин	- д-р техн. наук, проф. – ответственный редактор, Воронежский государственный технический университет;
Б.А. Спиридонов	- канд. техн. наук, доц., Воронежский государственный технический университет;
А.Н. Корнеева	- канд. техн. наук, доц., Воронежский государственный технический университет;
Д.Б. Суятин	- канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр., НИИЯФ Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова;
И.М. Винокурова	- канд. техн. наук, доц. - ответственный секретарь, Воронежский государственный технический университет
Рецензенты:	кафедра физики и химии ВГАСУ (зав. кафедрой д-р хим. наук, проф. О.Б. Рудаков);
	канд. физ.-мат. наук, доц. А.Ф. Татаренков

Издается по решению редакционно-издательского совета Воронежского государственного технического университета

ISBN 978-5-7731-0378-3	 Коллектив авторов, 2014
	 Оформление. ФГБОУ ВПО “Воронежский государственный технический университет”, 2014

Введение

Сборник научных трудов (выпуск 6) подготовлен на кафедре химии Воронежского государственного технического университета. В нем представлены статьи, отражающие последние результаты как инициативных, так и плановых научно-исследовательских работ преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов университета и их коллег из некоторых других организаций.

В материалах сборника рассмотрены вопросы теоретических и экспериментальных исследований в области физики и химии твердого тела, электрохимии, материаловедения, химических и машиностроительных технологий, защиты окружающей среды и экологического мониторинга.

Представлены экспериментальные данные по изучению каталитических свойств нитевидных кристаллов кремния в их взаимосвязи с электронным строением металлов-катализаторов роста, описаны новые подходы к очистке сточных вод, представлена информация о перспективах использованиия наноматериалов в виде углеродных нанотрубок и графенов, даны новые результаты, характеризующие сорбционную способность аммиака, изложены результаты изучения толстослойных гальванических покрытий, химического меднения диэлектриков, газоочистки при электролизе алюминия и др.

В ряде статей рассматриваются различные аспекты экологической безопасности существующих технологий и производств, системы аварийного мониторинга, включая разработку моделей оценки и прогноза последствий аварий и сверхнор­мативного поступления загрязняющих ве­ществ в окружающую среду. В частности, проанализировано влияние различных факторов на безопасную эксплуатацию холодильных установок с использованием аммиака в качестве хладагента.

В целом материалы сборника могут быть полезны специалистам различного уровня знаний, занимающихся разработкой химических технологий, технологий в области материаловедения, машиностроения, микроэлектроники и др.

УДК 548.52:539.216 

В.А. Небольсин, В.П. Горшунова, А.Н. Корнеева, Б.А. Спиридонов, С.С. Шмакова

О СВЯЗИ КАТАЛИТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ МЕТАЛЛОВ - КАТАЛИЗАТОРОВ РОСТА НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

Проанализированы и обобщены сведения по выращиванию НК кремния с участием широкого класса металлов-катализаторов. Показано, что каталитические свойства металлов, обеспечивающие устойчивый, стабильный рост нитевидных кристаллов Si, зависят от положения металла в периодической системе элементов, определяются интенсивностью взаимодействия расплавов металлов с кремнием и связаны со степенью незаполненности s- и (n-1)d-электронных орбиталей их атомов. Наиболее стабильный и устойчивый рост НК кремния наблюдается с участием каталитических частиц Cu, Au, Ni, Ag, Pd и Pt

Благодаря уже достигнутой степени контроля над различными ростовыми параметрами, выращиваемые по схеме пар–капельная жидкость – кристалл (ПЖК) нитевидные микро- и нанокристаллы (НК) кремния рассматриваются как перспективные квазиодномерные структуры для реализации электронных схем нового поколения [1]. Однако важными в проблеме управляемого синтеза НК остаются вопросы правильного выбора необходимых металлов-катализаторов, отвечающих основным требованиям устойчивого, стабильного роста кристаллов кремния: металл должен быть стоек к окислению, не должен образовывать соединений с кристаллизуемым веществом и не должен взаимодействовать с газовой (в том числе и галоген-содержащей) средой. Накопленные в литературе сведения об использовании различных металлов в качестве катализаторов процесса ПЖК-роста свидетельствуют, что авторы экспериментируют с десятками различных металлов и сплавов при изучении роста НК различных полупроводниковых материалов [2, 3]. К сожалению, в настоящее время нет обобщенного анализа эффективности металлических материалов как катализаторов процесса ПЖК-роста НК и не выработаны рекомендации по их применению. Но такой анализ необходим, чтобы, с одной стороны, избежать в работах методов проб и ошибок, когда исследователи ценой большого труда и затрат времени находят технологии синтеза НК с теми или иными типами металлов-катализаторов, и только затем стремятся понять процессы, которые протекают в ростовых установках, а, с другой, - связать научные знания с практическими приемами управляемого выращивания НК.

Цель настоящей работы – попытка проанализировать и обобщить имеющиеся сведения по выращиванию НК кремния с участием широкого класса металлов-катализаторов, и, используя полученные результаты, представить общую картину различия каталитических свойств металлов в связи с их электронным строением.

МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА

Выращивание НК кремния проводились по методике, описанной в [4], в горизонтальном кварцевом реакторе с использованием хлоридно-водородной проточной системы. Для исследований применяли монокристаллический кремний электронной чистоты в виде полированных пластин с кристаллографической ориентацией {111}. НК выращивали на монокристаллических кремниевых пластинах при температуре от 1300 до 1400 К. Молярная концентрация SiCl₄ в H₂ составляла от 0.005 до 0.01. В качестве металлов-катализаторов были выбраны следующие металлические элементы: алюминий, медь, серебро, золото, галлий, олово, свинец, висмут, сурьма, железо, платина, кобальт, никель, палладий, цинк, таллий, индий, марганец, кадмий, вольфрам, титан. Катализатор в виде мелкодисперсных частиц чистотой 99,99 % (за исключением марганца и вольфрама (технической чистоты)) наносился на предварительно очищенные кремниевые пластины. Частицы исследуемого металла выдерживали в контакте с пластинами кремния при температуре опыта в защитной водородной атмосфере в течение 15-20 мин при температуре 1273–1423 К. Краевые углы смачивания металлами поверхности кремния измеряли по методу покоящейся капли с погрешностью 5 %. Сплавы металлов с кремнием приготовлялись длительным выдерживанием расплава в контакте с кремниевыми пластинами и быстрой его закалкой в жидком азоте.

Форма капель расплавов и морфология НК изучалась методами растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии.

РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ

Наблюдения за ростом НК кремния с участием различных типов металлов-катализаторов [5, 6] показывают, что наиболее стабильный, одномерный ориентированный рост кристаллов обеспечивают жидкие частицы таких металлов, как Cu, Au, Ni, Ag, Pd, Pt. Кристаллы, полученные с указанными примесями, ориентированны вертикально к подложке, в большинстве своем имеют цилиндрическую форму, постоянное по длине поперечное сечение, совершенную кристаллическую структуру (рисунок 1 а). Добавка к жидкому расплаву металла-катализатора Si-M третьего компонента (~20 атомн. % Аl или ~60 атомн. % Cu в расплав Ni, по ~20 атомн. % Sn в расплавы Au и Cu) приводит к резкому (в 1,5-2 раза) увеличению скорости роста НК кремния.

Рис. 1. Рост нитевидных кристаллов кремния с участием частиц: золота (500) (а), цинка (б) и (900) (г), алюминия (600) (в), олова (д) и сурьмы (1000) (е)

При участии каталитических частиц Аl, Zn, Ga, Сd осуществляется беспорядочно ориентированный по отношению к подложке, хаотичный рост НК Si различных диаметров (рисунок 1 б, в, г). Капли катализатора при этом могут дробиться на более мелкие капельки, инициируя ветвления и изгибы кристаллов, образование кустообразных скоплений НК. В присутствии каталитических частиц Sn, In, Bi и Tl рост НК Si хотя и подтверждается, но характеризуется крайней нестабильностью, особенно на начальных стадиях (рис. 1 д). Кристаллы вырастают в форме глобул, цилиндров с большими пьедесталами, игл, призм, лепестковых структур, двойниковых лент, скелетов и др. Жидкие частицы расплава Cr, Mn, Fe, Co также способствуют крайне неустойчивому, нестабильному росту НК кремния, но только при более высоких на 100-200 К температурах. С частицами Ti, W, Pb и Sb вырастить НК Si не удается (рис. 1 е).

Рис. 2. Временные зависимости краевого угла смачивания кремния каплями олова (1), меди (2), серебра (3), золота (4) (а) и сплавов Sn + 5% (атомн.) Si (1), Au + 50 % (атомн.) Si (2), Сu + 40 % (атомн.) Si (3) и Cu + 16 % (атомн.) Si (4) (б)

Эксперименты показывают, что такие металлы-катализаторы, как Cu, Au, Ni, Ag, Pd, Pt, которые обеспечивают стабильный, устойчивый рост НК Si, в отличие от частиц Аl, Sn, Ga, In, Bi и Tl, при контакте с кремнием обнаруживает значительную адгезионную активность (рис. 2 а, кривые 2-4). Краевые углы смачивания кремния данными переходными металлами имеют невысокие значения, существенно менее 90⁰ (рис. 3 а, б). В неравновесной системе, когда с кремнием контактирует чистый металл, и на границе протекает реакция растворения кремния, краевой угол смачивания золота, никеля, меди, платины, серебра, палладия мал (30-50^о). Для этих же металлов, но насыщенных кремнием, в условиях близких к равновесным, краевой угол резко возрастает до 120-140^о (рис. 2 б). Повышение температуры способствует значительному увеличению степени смачивания кремния указанными переходными металлами. С ростом температуры металлические жидкости растекаются по грани {111} кремния, увеличивая площадь контакта Si-M.

а)

б)

Рис. 3. Изображения нано- и микрометровых капель золота (а, б) на пластине кремния в сканирующем зондовом микроскопе

Опыты по смачиванию кремния расплавами непереходных металлов Аl, Sn, Ga, In, Bi и Tl показывают, что все исследованные металлы не смачивают поверхность Si. Для указанных металлов была обнаружена слабая зависимость краевого угла от времени (время выдержки для всех экспериментов составляло 15 мин) (рис. 2 а, кривая 1). Работа адгезии металлов Аl, Sn, Ga, In, Bi и Tl, которые не способствуют стабильному росту НК, к поверхности кремния мала, а краевые углы смачивания кремния данными непереходными металлами превышают 90⁰ (рис. 4).

Рис. 4. Капли химически инертного к кремнию жидкого олова, не смачивающие поверхность кремниевой подложки

Полученные результаты выращивания НК кремния с различными типами металлов-катализаторов в систематизированном представлены на рис. 5 в виде участка периодической системы элементов. Из рис. 5 ясно видно, что каталитические свойства металла обеспечивать устойчивый, стабильный рост НК Si зависят от положения металла в периодической системе элементов. Все металлы можно разделить на четыре группы в соответствии со сходным характером их каталитических свойств, проявляющихся в процессе роста НК кремния: металлы, с участием которых рост НК характеризуется высокой степенью устойчивости и стабильности (d-элементы I и VIII (последние элементы в триадах) групп периодической системы); металлы, отвечающие низкой стабильности и устойчивости роста при пониженных и обычных температурах (р-элементы III группы, Sn и Bi, а также d-элементы II группы кроме Hg); металлы, обеспечивающие низкую стабильность роста только при высоких температурах (d-элементы VI, VII и VIII (два первых элемента в триадах) групп 4 периода), и металлы, с участием которых рост НК не наблюдается (все другие элементы I-VIII групп периодической системы).

Рис. 5. Участок периодической системы элементов, в котором цветовыми оттенками выделены типы металлов-катализаторов, способствующих различной степени устойчивости и стабильности роста НК кремния из газовой фазы по схеме пар-жидкость-кристалл:  металлы, обеспечивающие высокую стабильность роста кристаллов;  металлы, обеспечивающие низкую стабильность роста НК;  металлы, обеспечивающие нестабильной рост НК только при повышенных температурах;  элементы, с участием которых рост НК кремния не подтвержден

Анализ показывает, что металлы-катализаторы, входящие в группу металлов, обеспечивающих устойчивый рост НК Si, растворяют в жидком состоянии значительные количества кремния. Металлы всех других групп являются более инертными к кремнию. Следовательно, величина предельной растворимости кремния в жидком металле, служащем катализатором роста НК, может служить показателем интенсивности взаимодействия кремния с металлом и стабильности процесса нитевидной кристаллизации. В системах, где образуются прочные силициды, в равновесии с металлическим расплавом будет находиться не кремний, а силицид металла. В этом случае концентрация кремния в металле не может служить характеристикой взаимодействия. Поэтому при рассмотрении растворимости кремния в жидких металлах мы ограничились лишь системами, в которых при условиях роста НК не образуются силициды металлов. Сведения, имеющиеся в литературе относительно растворимости кремния в жидких металлах-катализаторах, обеспечивающих стабильный, устойчивый рост НК, представлены в табл. 1.

Из рис. 1 и табл. 1 видно, что эффективными растворителями, обеспечивающими устойчивый рост НК Si, служат переходные металлы – d-элементы I и VIII (последние элементы в триадах) групп периодической системы. У этих элементов до завершения заполнения внешнего s-подуровня и предвнешнего (n-1)d-подуровня не хватает по 1-2 электрона.

Данные табл. 1 указывают также на зависимость предельной растворимости Si в жидком металле от положения последнего в периодической системе элементов. В пределах периода растворимость Si снижается с увеличением атомного номера элемента. Наибольшая растворимость наблюдается у металлов с наименее заполненными (n-1)d- и s-электронными оболочками. Снижение растворимости Si с заполнением (n-1)d- и s-подуровней в металле характерно для каждого периода периодической системы элементов. При этом в пределах подгруппы с увеличением порядкового номера периода растворимость кремния повышается.

Таблица 1

Равновесная растворимость кремния в жидких металлах-катализаторах, обеспечивающих стабильный, устойчивый рост НК кремния

Атомный номер элемента в периодической системе	Металл	Содержание кремния, % (атомн.)	Температура, К	Литература
IV период
28 29 30	Ni Cu Zn	60 42 17	1273 1273 1273	[7] [7] [7]
V период
46 47 48	Pd Ag Сd	60 18 10	1273 1273 1273	[8] [8] [8]
VI период
78 79	Pt Au	68 64	1273 1273	[8] [7]

Полагая, что в металлических расплавах при температурах, далеких от температур вырождения электронного газа, зонная структура металла, и особенно структура (n-1)d-подуровней, не претерпевает резких качественных изменений при плавлении и остается подобной электронной структуре для твердого состояния [9], можно считать, что растворимость кремния в переходных металлах, приведенных в табл. 2, определяется наличием небольшого количества вакантных мест в незавершенных электронных уровнях атомов жидкого сплава. Увеличение растворимости кремния в указанных переходных металлах с увеличением числа вакансий или степени незаполненности (n-1)d- и s-подуровней может быть обусловлена тем, что при высокотемпературном контакте жидкого металла с кремнием, часть валентных электронов последнего переходит в (n-1)d- и s- полосу металла, что способствует более активному электростатическому взаимодействию полупроводника и металла и, следовательно, увеличению растворимости кремния. Кремний, растворенный в расплавах металлов, должен быть положительно ионизирован, т.е. иметь сильные химические связи с атомами металла. Высокая растворимость кремния в рассматриваемых переходных металлах позволяет создавать необходимые пересыщения для стабильного роста НК, а отсутствие в данных условиях тугоплавких промежуточных соединений этих металлов с кремнием не препятствует устойчивости процесса нитевидной кристаллизации.

Таблица 2

Равновесная растворимость кремния в жидких металлах-катализаторах, обеспечивающих нестабильный, неустойчивый рост НК кремния

Атомный номер элемента в перио-дической системе	Металл	Содержание кремния, % (атомн.)	Температура, К	Литература
III группа
13 31 49 81	Al Ga In Tl	45 17 5 2	1273 1273 1273 1273	[7] [7] [7] [7]
IV группа
50	Sn	5	1273	[8]
V группа
83	Вi	1-2	1273	[8]

Значительное увеличение скорости роста НК при добавлении третьего компонента к металлу-катализатору, по-видимому, может быть обусловлено резким снижением растворимости кремния. Введение в жидкий расплав добавок третьего компонента (алюминия в расплав Ni и Au, олова в Au и Сu, меди в Ni и Au) позволяет варьировать заполнение валентными электронами незаполненных (n-1)d- и s-подуровней в переходном металле. С учетом различия в валентностях компонентов двухкомпонентного сплава Si-М существование характерных концентраций добавок к металлу-катализатору (~20 атомн. % Аl или ~60 атомн. % Cu в расплаве Ni, по ~20 атомн. % Sn в расплавах Au и Cu и др.), при которых экспериментально наблюдается резкое увеличение скорости роста НК кремния, можно объяснить полным заполнением (n-1)d- и s-подуровней в переходном металле электронами непереходного металла-добавки. Полное заполнение подуровней металла-катализатора электронами приводит к существенному снижению растворимости в нем кремния, что, в свою очередь, создает условия для более высоких пересыщений в капле расплава и, как следствие, более высокой скорости роста НК.

Аналогично, Zn и Cd имеют полностью заполненные электронами (n-1)d- и s-электронные оболочки. Поэтому растворимость кремния в расплавах данных металлов существенно ниже, чем у Cu, Au, Ni, Ag, Pd, Pt. Относительно низкая растворимость кремния в расплавах Zn и Cd также хорошо коррелирует с неустойчивым и нестабильным ростом НК в присутствии частиц данных металлов. Нестабильность роста НК Si при малой растворимости кремния в жидком металле каталитической частицы объясняется возникновением чрезмерно больших пересыщений в капле расплава, способствующих нестабильности роста, гомогенному зарождению кристаллов Si в объеме жидкой фазы и захвату фронтом кристаллизации части материала капли в кристалл. Отсутствие в списке катализаторов роста НК Si Hg, являющейся как Zn и Cd d-металлом II- группы, обусловлено высоким давлением ее паров при температурах синтеза.

Рост НК Si c участием частиц Ti и W может быть затруднен как наличием высокотемпературной эвтектики Si-M, так и возможностью образования силицидных фаз на межфазной границе.

Металлические элементы (Al, Ga, In, Tl, Sn, Bi), имеющие внешние р-электроны в количестве 3-5, по-видимому, образуют преимущественно ковалентные связи с Si. С повышением главного квантового числа до значений n>4 (от Аl к Tl) и с увеличением числа внешних электронов от Аl (Ga) к Sn и Bi прочность ковалентной связи р-металлSi настолько резко снижается, что данные элементы становятся практически инертны к кремнию (табл. 2). Поэтому в такой же последовательности уменьшается растворимость Si в указанных металлах, и при использовании данных металлов в качестве катализаторов ПЖК-процесса снижается устойчивость роста НК (рис. 1 д, е).

Вследствие отсутствия химической активности к кремнию приведенные в табл. 2 р-металлы практически не смачивают поверхность Si (=130-140^o). Аналогично, видимо, высокая химическая инертность Pb и Sb к кремнию не позволяет вырастить НК с участием частиц этих металлов.

Заключение

Показано, что каталитические свойства металлов, обеспечивающие устойчивый, стабильный рост НК Si, зависят от положения металла в периодической системе элементов, определяются интенсивностью взаимодействия расплавов металлов с кремнием и связаны со степенью незаполненности s- и (n-1)d-электронных орбиталей их атомов. Наиболее стабильный и устойчивый рост НК кремния наблюдается с участием каталитических частиц Cu, Au, Ni, Ag, Pd, Pt, у которых до полного заполнения s- и (n-1)d-электронных оболочек не хватает по 1-2 электрона. Кремний, растворенный в расплавах данных металлов, должен быть положительно ионизирован, т.е. иметь химические связи с атомами металла.

С повышением главного квантового числа внешних электронов металлов-катализаторов в последовательности Al, Ga, In, Tl, Sn, Bi, имеющих валентные р-электроны, вследствие повышения их химической инертности к кремнию понижается стабильность роста НК.

Литература

1. Thelander C. et. al. Nanowire-based one-dimensional electronics // Materials Today. 2006. - V.9 - №10. - P.28-35.

2. Schwarz K.W., Tersoff J. From droplets to Nanowires: Dynamics of Vapour –Liquid–Solid Growth // Phus. Rev. Lett. 2009. N.102. P. 206101.

3. Schmidt V., Senz S., Gosele U. The Shape of Epitaxially Grown Silicon Nanowires and the Influence of Line Tension // J. Appl. Phys. 2005. V.80. P. 445-450.

4. Гиваргизов Е.Н. Рост нитевидных и пластинчатых кристаллов из пара. - М.: Наука, 1977. 304 с.

5. Небольсин В.А., Щетинин А.А. Механизм квазиодномерного роста нитевидных кристаллов Si и GaP из газовой фазы // Неорган. матер. 2008, Т. 44. № 10. С. 1159-1167.

6. Небольсин В.А., Щетинин А.А. Рост нитевидных кристаллов. Воронеж: ВГУ, 2003. 620 с.

7. Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков. - М.: Металлургия, 1988. 574 с.

8. Глазов В. М., Земсков В.С. Физико-химические основы легирования полупроводников. - М.: Наука, 1967. 371 с.

9. Найдич Ю.В. Контактные явления в металлических расплавах. Киев: Наукова думка, 1972. 347 с.

Воронежский государственный технический университет

УДК 669.01(075)

О.В. Горожанкина, Ю.Р. Копылов

Исследование микроструктуры толстослойного покрытия, полученного методом гальвано-механического осаждения

Описан метод гальвано-механического отслаивания, приведены микроструктуры покрытий, полученных данным методом, представлена модель формирования структуры осадка

Перспективными для восстановления и упрочнения деталей машин и механизмов могут быть гальвано-механические покрытия на основе железа. В связи с этим представляет интерес изучение их структуры и свойств, обладающих приемлемыми для производства производительностью, стабильностью и другими технологическими показателями [1- 4].

Отличительной особенностью гальвано-механического осаждения является то, что в процессе электролиза покрываемая поверхность подвергается механическому активированию (выглаживанию) инструментом в виде бруска, который перемещается в межэлектродном пространстве (рис. 1).

Рис. 1. Схема процесса гальвано-механического осаждения:

1 – выглаживающий инструмент; 2 – деталь-катод;

3 – анод; t – период двойного хода

Электролитические покрытия металлами и сплавами, получаемые в условиях механической активации, отличаются комплексом ценных свойств – повышенной микротвердостью, устойчивостью к износу и коррозии; их нанесение протекает с повышенной, по сравнению с обычными гальванопокрытиями, скоростью и позволяет сократить число технологических операций, в том числе экологически небезопасных на стадиях подготовки поверхности и дополнительной отделки.

В настоящее время процесс гальвано-механического осталивания является малоизученным, в связи с чем возникает необходимость проведения теоретических и экспериментальных исследований в данной области.

Цель данной статьи - исследование микроструктуры осажденного толстослойного железа, полученного методом гальвано-механического осталивания