Библиографический список

1. Технология СБИС: пер. с англ./под ред. С. Зи. - М.: Мир, 1986.

2. Готра З. Ю. Технология микроэлектронных устройств: справочник./ З. Ю Готра. - М.: Радио и связь, 1991.

3. Черняев В. Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов /В.Н. Черняев. - М.: Высш. шк., 1987.

4. Сысоев О.И. Физико-химичекие основы технологии материалов и структур твёрдотельной электроники /О.И. Сысоев, Л.Н. Коротков, И.В. Бабкина. Воронеж, ФГБОУ ВПО ВГТУ 2010.

5. Броудай И. Физические основы микротехнологии: пер. с англ./И. Броудай, Дж. Мерей. - М.: Мир, 1985.

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению лабораторных работ №1-2

по дисциплине «Физико-химические основы технологии

материалов и структур твёрдотельной электроники»

для студентов направления 223200.62

«Техническая физика» (профиль «Физическая электроника»)

очной формы обучения

Составители:

Сысоев Олег Иванович

Коротков Леонид Николаевич

Бабкина Ирина Владиславовна

Каширин Максим Александрович

В авторской редакции

Подписано к изданию 22.10.2012.

Уч.-изд.л. 2,7.

ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный

технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14

3