Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ФМК.ppt
Скачиваний:
12
Добавлен:
11.06.2020
Размер:
11.06 Mб
Скачать

Наноиндентер

Отпечаток

наноиндентера Берковича на тонкой пленке GaN, нанесенной на сапфировую подложку

Устройство и калибровка

62

График зависимости нагрузки от перемещения

63

Послойное определение механических характеристик методом циклического индентирования