Электронная Оже-спектрометрия
Оже-эффект был открыт независимо друг от друга Лизой Мейтнер (1923) и Пьером Оже (1925) годах. Оже-процессы проявляются при бомбардировке поверхности твердого тела медленными электронами с энергией E от 10 до 10000 эВ.
Реакции на пучок электронов
Где 
, 
,
— соответственно энергия базового уровня, энергия первой внешней электронной оболочки, и второй внешней электронной оболочки
Детектирование Оже электронов
а – четырехсеточный анализатор с тормозящим полем; б – 127- градусный анализатор Юза – Рожанского; в, г – плоские, цилиндрические зеркала; д – сферический дефлектор. 1 – источник первичных частиц; 2 – образец; 3 – электроды анализатора – сетки (а), цилиндрические (б, г), плоские (в), сферические (д) поверхности; 4 – коллектор электронов – сферический электрод (а) или электронный умножитель (б,в,г,д).
Устройство Оже спектрометра
Электронный Оже- спектрометр PHI-680 фирмы “Physical Electronics”
Примеры Оже анализа
Изображение границы излома сплавов
Fe - С, полученное с помощью вторичной электронной эмиссии (а), и изображение этой же области, полученное с помощью оже-электронов и характеризующее распределение Fe (б), С (в) и Sb (г) по поверхности
образца.
Профили концентраций никеля(1), хрома(2)
и
кислорода(3) по глубине нихромов ого образца Ni76.3Cr23.7.
Распределение относительной интенсивности Оже сигналов по глубине пленки Co-Mg-O
