
- •Физические основы электроники Электрофизические методы исследования полупроводников и полупроводниковых приборов
- •Введение в настоящем пособии излагаются основные темы дисциплин, связанных с основами работы полупроводниковых приборов.
- •Требования к подготовке, выполнению и защите работ
- •Тема 1. Приборы, используемые для проведения исследований полупроводниковых приборов
- •1.1. Автоматические мосты переменного тока
- •1.2. Осциллографы
- •1.3. Генераторы
- •Тема 2. Проводимость полупроводников и металлов лабораторная работа № 2.1
- •2.1. Терморезисторы: термисторы и позисторы
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •Отчетные материалы
- •Лабораторная работа № 2.2
- •2.2. Общие сведения
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •1. Подготовка к работе
- •2. Исследование вольтамперной характеристики варистора
- •7. Исследование зависимости сопротивления от температуры
- •Отчетные материалы
- •Лабораторная работа № 2.3
- •2.3. Определение типа носителей в полупроводниках
- •2.3.1. Метод термозонда
- •2.3.2. Метод Холла
- •2.3.3. Определение концентрации и подвижности носителей
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •1. Определение типа носителей с помощью метода термозонда
- •1.1. Подготовка к работе
- •1.2. Определение типа носителей разных кристаллов
- •2. Исследования по методу Холла
- •2.1. Определение типа основных носителей в датчике Холла
- •2.3. Исследование вольтамперной характеристики датчика
- •2.4. Определение микропараметров кристалла датчика Холла
- •2.6. Определение зависимости эдс Холла от величины тока
- •2.9. Определение зависимости эдс Холла величины индукции в
- •Отчетные материалы
- •Тема 3. Полупродниковые диоды Лабораторная работа №3.1 ″Исследование полупроводниковых диодов″
- •3.1. Характеристики полупроводниковых диодов
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •1. Начальные установки
- •2. Исследование вольтамперной характеристики диода при t0
- •2.1. Исследование прямой ветви вах диода д2
- •2.2. Исследование обратной ветви вах диода д2
- •3*. Исследование вах диодов различных типов
- •4. Исследование зависимости обратного тока диода от температуры
- •Отчетные материалы
- •Лабораторная работа № 3.2
- •3.2. Полупроводниковые стабилитроны и стабисторы
- •3.3. Описание стенда
- •Измерения и обработка результатов
- •2. Исследование вольтамперной характеристики стабилитрона при комнатной температуре
- •5. Исследование влияния температуры на напряжение Uст
- •Отчетные материалы
- •Лабораторная работа №3.3
- •3.4. Характеристики светодиодов
- •3.4.1. Управляемые источника света. Светодиоды
- •3.4.2. Строение светодиодов
- •3.4.3. Общие сведения об обозначении светодиодов
- •3.4.4. Особенности лабораторной установки
- •Отчетные материалы
- •Лабораторная работа № 3.4
- •3.5. Общие сведения о фотоприемниках
- •3.5.2. Параметры и характеристики фоторезистора
- •3.5.3. Особенности работы фотодиодов
- •3.5.4. Описание установки
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •3. Исследование параметров электрического сигнала от генератора
- •6. Определение параметров импульса эдс от облучаемого фотодиода
- •10. Определение параметров импульса в цепи фоторезистора
- •11. Оценка параметров сигнала от резистора Rизм
- •16*. Исследование величины светового потока от светодиода
- •Отчетные материалы
- •Тема 4. Биполярные транзисторы Лабораторная работа №4.1
- •4.1. Характеристики биполярных транзисторов
- •4.1.1. Схемы включения биполярных транзисторов
- •4.1.2. Схема с общей базой
- •4.1.3. Схема с общим эмиттером
- •4.1.4. Описание установки
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •1. Исследование схемы с общей базой
- •1.2. Исследование входных характеристик транзистора в схеме об
- •1.6. Исследование выходных характеристик транзистора в схеме об
- •1.12*. Исследование характеристики обратной связи в схеме об
- •1.14. Исследование характеристик передачи тока в схеме об
- •2. Исследование схемы с общим эмиттером
- •2.2. Исследование входных характеристик транзистора в схеме оэ
- •2.6. Исследование выходных характеристик транзистора в схеме оэ
- •2.11*. Исследование характеристики обратной связи в схеме оэ
- •2.13. Исследование характеристики передачи тока в схеме оэ
- •Отчетные материалы
- •Тема 5. Полевые транзисторы Лабораторная работа № 5.1
- •5.1. Характеристики полевого транзистора
- •5.1.1. Полевой транзистор с управляющим p-n-переходом
- •5.1.2. Полевой транзистор с изолированным затвором
- •5.1.3. Особенности схемы измерения
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •2. Исследование стоковой (выходной) характеристики
- •Отчетные материалы
- •Тема 6. Элементы технологии производства имс Лабораторная работа № 6.1
- •6.1. Элементы технологии изготовления имс
- •6.1.1. Классификация имс
- •6.1.2. Понятие о технологическом цикле производства имс
- •6.1.3. Производство планарного биполярного транзистора
- •6.1.4. Производство планарного полевого транзистора
- •6.1.5. Структура транзисторов статических микросхем памяти
- •6.1.6. Общие сведения о топологии микросхем памяти
- •6.1.7. Описание установки и процедуры испытаний
- •Подготовка к работе
- •Измерения и обработка результатов
- •1. Исследование элементов технологии гибридных имс
- •1.4. Исследование сопротивления резисторов на бгис
- •2. Исследование элементов технологии твердотельных имс
- •2.4. Градуировка окуляров с помощью дифракционной решетки
- •3. Исследование твердотельных микросхем на установке "мим"
- •4. Анализ топологии и параметров микросхемы памяти
- •Отчетные материалы
- •Задачи по темам Аналоговая и Цифровая Электроника
- •П2. Диоды и тиристоры
- •П3. Источники вторичного напряжения
- •П4. Транзисторы
- •П5. Аналоговые устройства
- •П6. Операционные усилители и схемы на их основе
- •П7. Преобразовательные устройства и генераторы
- •П8. Стабилизаторы
- •П9. Логические микросхемы
- •П10. Логические схемы
- •П11. Схемы на лэ
- •П12. Триггеры
- •П13. Регистры и счетчики
- •П14. Преобразователи кодов
- •П15. Мультиплексоры, демультиплексоры, сумматоры
- •П16. Цифро-аналоговые преобразователи
- •П17. Микросхемы (технология и устройство)
- •Рекомендуемая литература Основная литература
- •Дополнительная
4. Анализ топологии и параметров микросхемы памяти
Задачей исследования является оценка величины информационной емкости Е микросхемы памяти посредством ее визуального анализа.
4.1. По указанию преподавателя выберите исследуемую микросхему памяти и установите ее на рабочий стол микроскопа.
Настройте микроскоп для визуального осмотра конкретной микросхемы так, чтобы были видны (окуляр 5х или 10х) микротранзисторы в матрице накопителя ИМС и элементы схемы управления, локализованные по краям матрицы.
Предварительно оцените геометрические размеры матрицы (площадки с размерами Х - длина; Y - ширина), на которой находятся две "страницы" накопителя микросхемы (рис. 6.11, а). Определите величину площади матрицы S = 2XY (табл. 6.4).
Таблица 6.4
Результат исследования микросхемы с планарными полевыми транзисторами
-
Топология
X, Y
s1
S
NX
NY
E
Рисунок планарной
структуры накопителя
?
?
?
?
?
?
4.2. Ознакомитесь с топологией данной микросхемы. Зарисуйте отдельные видимые структуры (в частности, отдельных МОП-транзисторов, проводников и т. п.), аналогично представленным на рис. 6.6, 6.7.
Отметим, что применяемая оптика позволяет рассмотреть только общую структуру матрицы накопителя, без деталей структуры МОП-транзистора.
4.3. Оцените примерные размеры отдельного МОП-транзистора и площадь s1, им занимаемую. Нарисуйте его топологию.
4.4. Оцените степень интеграции К данной микросхемы и ее информационную емкость Е. С этой целью необходимо, постоянно наблюдая в микроскоп за транзисторами микросхемы, передвигаться по периметру "страниц" накопителя. Подсчитайте полное количество транзисторов по горизонтали NХ и вертикали NY матрицы. Произведение NXNY характеризует степень интеграции данной микросхемы и ее информационную емкость E.
4.5. Выключите установку.
Отчетные материалы
В лабораторной тетради представляются:
– заполненные таблицы;
– рисунки, топология, расчеты степени интеграции схемы ситалловой подложке;
– рисунки, топология, расчеты степени интеграции твердотельной схемы на биполярных транзисторах;
– рисунки, топология, расчеты степени интеграции твердотельной схемы на полевых транзисторах;
– расчеты степени интеграции микросхемы памяти.
К защите представляется РГЗ с задачами по темам: ″Биполярные транзисторы″, ″Полевые транзисторы″, ″Технология производства микросхем″.
Приложение
Задачи по темам Аналоговая и Цифровая Электроника
Теоретические сведения, необходимые для решения задач, в основном, приведены в пособиях [1] – [7], настоящем лабораторном практикуме и рекомендованной литературе.
П1. Элементы электронных схем
Задача 1.1. В чистый Si добавили пятивалентную примесь, в результате чего образовался полупроводник, называемый…А: собственный; Б: донорный; В: акцепторный; Г: грязный.
Задача 1.2. В чистый Ge добавили трехвалентную примесь, в результате чего образовался полупроводник, называемый…А: собственный; Б: донорный; В: акцепторный; Г: грязный.
Задача 1.3. При увеличении температуры сопротивление металлического проводника…А: растет; Б: падает; В: не изменяется; Г: зависит от типа металла.
Задача 1.4. Какая из указанных кривых (рис. П1.1) соответствует изменению удельного электрического сопротивления примесного полупроводника от температуры.
Рис. П1.1 Рис. П1.2
Задача 1.5. Термисторы (ТК < 0) могут быть изготовлены на основе…А: металлов; Б: только собственных полупроводников; В: любых полупроводников; Г: позисторов.
Задача 1.6. Какие носители заряда являются основными в кристалле Si с примесью As? А: электроны; Б: дырки; В: ионы доноров; Г: ионы акцепторов.
Задача 1.7. Какие носители заряда являются основными в кристалле Ge с примесью In? А: электроны; Б: дырки; В: ионы доноров; Г: ионы акцепторов.
Задача 1.8. При исследовании датчика Холла (рис. П1.2) стрелка вольтметра, измеряющего напряжение Холла, отклонилась влево. Направления тока Iп, индукции В показаны на рис. П1.2. Данный полупроводник: А: дырочный; Б: собственный; В: акцепторный; Г: донорный.
Задача 1.9. Кристаллы Ge и Si находятся при Т = 300 К. Кристаллы легированы донорной примесью с концентрацией доноров Nд =1022 м3. В каком кристалле больше основных носителей? Температура полной ионизации примесей Ти < 100 K. А: в Ge; Б: в Si; В: одинаковое количество; Г: зависит от степени легирования.
Задача 1.10. Кристаллы Ge и Si находятся при Т = 300 К. Кристаллы легированы донорной примесью с концентрацией доноров N = 1022 м3. В каком кристалле больше неосновных носителей? Температура полной ионизации примесей Ти < 100 K, закон действующих масс np = ni2. А: в Ge; Б: в Si; В: одинаковое количество; Г: зависит от степени легирования.
Задача 1.11. Кристаллы Ge и Si находятся при Т = 300 К. Кристаллы легированы донорной примесью с концентрацией доноров N = 1022 м3. В каком кристалле меньше неосновных носителей? А: в Ge; Б: в Si; В: одинаковое количество; Г: зависит от степени легирования.
Задача 1.12. Сопротивление какого элемента зависит от приложенного напряжения? А: термистор; Б: позистор; В: варикап; Г: варистор.
Задача 1.13. У какого элемента емкость зависит от приложенного напряжения? А: у термистора; Б: у позистора; В: у варикапа; Г: у варистора.
Задача 1.14. У какого элемента сопротивление увеличивается с ростом температуры? А: у термистора; Б: у позистора; В: у варикапа; Г: у варистора.
Задача 1.15. Чем больше концентрация основных носителей, тем…А: больше сопротивление полупроводника; Б: меньше проводимость полупроводника; В: больше концентрация неосновных носителей; Г: меньше концентрация неосновных носителей.
Задача 1.16. Что является свободными носителями заряда в полупроводнике р-типа? А: Электроны и дырки; Б: только дырки; В: только электроны; Г: доноры.
Задача 1.17. Что является свободными носителями заряда в собственном полупроводнике? А: электроны и дырки; Б: только дырки; В: только электроны; Г: доноры.
Задача 1.18. Как влияет на фотопроводимость полупроводника излучение, если его частота стала меньше, чем значение красной границыкр? А: растет; Б: падает; В: больше не изменяется; Г: исчезает.