Полезная модель 3. Устройство формирования квантовых точек (66 607)

Заявка: 2007115584/22, 26.04.2007

МПК H01L41/00

Дата начала отсчета срока действия патента: 26.04.2007

Опубликовано: 10.09.2007 Бюл. № 25

Адрес для переписки:

109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 1-3/12, стр.8, МИЭМ, к.508, ООИС, пат.пов.Т.В. Григорьевой, рег.№ 34

Автор(ы): Ивашов Евгений Николаевич (КУ), Козанов Тимур Тимурович (RU), Мазур Наталия Владимировна (RU), Пак Сергей Маркович (RU)

Патентообладатель(и): Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (RU)

Формула полезной модели

Устройство формирования квантовых точек на подложке, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электрически связанную с зондами, отличающееся тем, что каждый зонд пьезопривода выполнен в виде углеродной нанотрубки, при этом внутренний объем каждой углеродной нанотрубки заполнен жидкофазным галлием, а подложка выполнена из диэлектрического материала, обладающего эффектом смачивания

с жидкофазным галлием.

Рис. 3

Полезная модель 4. Устройство для формирования квантовых ям (104 773)

Заявка: 2010149693/07, 07.12.2010

МПК H01L 37/28

Дата начала отсчета срока действия патента: 07.12.2010

Приоритет(ы):

Дата подачи заявки: 07.12.2010

Опубликовано: 20.05.2011 Бюл. № 14

Адрес для переписки: 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3, МИЭМ, к.508, Т.В. Григорьевой

Автор(ы): Ивашов Евгений Николаевич (RU), Корпачев Максим Юрьевич (RU), Костомаров Павел Сергеевич (RU)

Патентообладатель(и): Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)" (RU)

Формула полезной модели

1. Устройство для формирования квантовых ям, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, связанную с пакетом зондов, источник рабочего газа для передачи последнего в технологическую область, отличающееся тем, что устройство снабжено источником рентгеновского излучения, жестко закрепленным на торце пьезопривода, на торце источника установлен пакет зондов, причем каждый зонд выполнен в виде многослойной углеродной нанотрубки со сферическим наконечником.

2. Устройство для формирования квантовых ям по п.1, отличающееся тем, что пакет включает не менее 10000 зондов.

Рис. 4

Заключение

Найденные в процессе поиска данные свидетельствуют о ведущихся разработках в области сканирующей зондовой микроскопии и, конкретно, разработках зондов с нанотрубками.

Отсутствие промышленных образцов говорит о том, что разрабатываемые технологии являются перспективными, но еще не дошли до стадии коммерциализации.

Даты подачи заявок на изобретения и полезные модели распределены равномерно по заданному временному интервалу поиска, всплесков активности исследований в заданной области не обнаружено.

Работы в данной области ведутся Российскими исследовательскими университетами – Московским Институтом Электроники и Математики (ГУ) [ CITATION Ива1 \l 1049 ][ CITATION Ива \l 1049 ][ CITATION МИЭ \l 1049 ][ CITATION МИЭ1 \l 1049 ][ CITATION Пет \l 1049 ], Научно-исследовательским физико-химическим Институтом им. Л.Я. Карпова [ CITATION Том \l 1049 ], фирмами-производителями исследовательского оборудования – «НТ-МДТ» [ CITATION СИЛ \l 1049 ], частными лицами[ CITATION Гив \l 1049 ] зарубежными институтами [ CITATION Чан \l 1049 ].

Области применения разработок:

1. Приборостроение – измерение линейных и угловых размеров в наномасштабах, анализ поверхности

2. Технологии формирования наноструктур

3. Химия и биохимия - устройства для работы с ферментами или микроорганизмами

Список литературы

CITATION Bin82 \l 1049 : , [1],

CITATION Гус07 \l 1049 : , [2],

CITATION Ива1 \l 1049 : , [3],

CITATION Ива \l 1049 : , [4],

CITATION МИЭ \l 1049 : , [5],

CITATION МИЭ1 \l 1049 : , [6],

CITATION Пет \l 1049 : , [7],

CITATION Том \l 1049 : , [8],

CITATION СИЛ \l 1049 : , [9],

CITATION Гив \l 1049 : , [10],

CITATION Чан \l 1049 : , [11],

[1]	R. H. Binnig G., «Scanning tunneling microscopy,» Helvetica Physica Acta, № 55, p. 726, 1982.
[2]	А. И. Гусев, Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и дополненное, Москва: Наука-Физматлит, 2007.
[3]	Е. Н. Ивашов и А. В. Чижов, «МНОГОЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР». Патент 47593.
[4]	Е. Н. Ивашов и А. В. Чижов, «УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУР НА ПОДЛОЖКЕ». Патент 41933.
[5]	МИЭМ, «УСТРОЙСТВО ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК». Патент 66607.
[6]	МИЭМ, «УСТРОЙСТВО ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ЯМ». Патент 104773.
[7]	В. С. Петров и Б. А. Логинов, «СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА НАНОЭЛЕКТРОННЫХ И НАНОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ». Патент 2007 137 024.
[8]	М. М. Томишко и О. М. Демичева, «ОСТРИЙНАЯ СТРУКТУРА С НАНОТРУБКОЙ». Патент 2006 133 011.
[9]	В. А. Быков, Б. К. Медведев, С. А. Саунин и Г. М. Михайлов, «СИЛОВОЙ ЗОНД НА ОСНОВЕ КВАРЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА». Патент 2003 116 595.
[10]	Е. И. Гиваргизов и М. Е. Гиваргизов, «ОСТРИЙНЫЕ СТРУКТУРЫ, ПРИБОРЫ НА ИХ ОСНОВЕ И МЕТОДЫ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ». Патент 2001 135 713.
[11]	Х. Чанг, Д. Гордон и С. Сенапати, «МИКРОФЛЮИДНЫЕ ПЛАТФОРМЫ ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ МНОЖЕСТВЕННЫХ МИШЕНЕЙ». Патент 2010 118 611.