
- •Национальный исследовательский ядерный университет «мифи» (нияу мифи)
- •Общая информация об объекте исследований
- •Классификация (мпк) найденных документов в иерархическом виде
- •Найденные документы Заявка 1. Острийные структуры, приборы на их основе и методы их изготовления (2001 135 713)
- •Заявка 2. Силовой зонд на основе кварцевого резонатора (2003 116 595)
- •Заявка 3. Острийная структура с нанотрубкой (2006 133 011)
- •Заявка 4. Способ производства наноэлектронных и наномеханических приборов (2007 137 024)
- •Заявка 5. Микрофлюидные платформы для детектирования множественных мишеней (2010 118 611)
- •Полезная модель 1. Устройство для получения наноструктур на подложке (41933)
- •Полезная модель 2. Многозондовое устройство для выполнения технологических операции формирования наноструктур (47593)
- •Полезная модель 3. Устройство формирования квантовых точек (66 607)
- •Полезная модель 4. Устройство для формирования квантовых ям (104 773)
- •Заключение
- •Приложение а1
- •Приложение б1
- •14 Февраля 2013 г.
ПРИЛОЖЕНИЕ А
Национальный исследовательский ядерный университет «мифи» (нияу мифи)
ОТЧЕТ
по заданию № 1
на проведение патентных исследований
Наименование работы: «Зонды с нанотрубками».
Ответственный исполнитель: Антонов Андрей Витальевич
Руководитель: Антоненко Сергей Васильевич
г. Москва
2013 г.
Общая информация об объекте исследований
Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ, англ. SPM — Scanning Probe Microscope) — класс микроскопов для получения изображения поверхности и её локальных характеристик. Процесс построения изображения основан на сканировании поверхности зондом. В общем случае позволяет получить трёхмерное изображение поверхности (топографию) с высоким разрешением. Сканирующий зондовый микроскоп в современном виде изобретен (принципы этого класса приборов были заложены ранее другими исследователями) Гердом Карлом Биннигом и Генрихом Рорером в 1981 году [ CITATION Bin82 \l 1049 ].
Работа сканирующего зондового микроскопа основана на взаимодействии поверхности образца с зондом. При малом расстоянии между поверхностью и зондом действие сил взаимодействия (отталкивания, притяжения, и других сил) и проявление различных эффектов (например, туннелирование электронов) можно зафиксировать с помощью современных средств регистрации. Для регистрации используют различные типы сенсоров, чувствительность которых позволяет зафиксировать малые по величине возмущения. Для получения полноценного растрового изображения используют устройства развертки по осям X и Y (например, пьезотрубки, плоскопараллельные сканеры).
Одной из самых важных конструкционных деталей сканирующего зондового микроскопа является зонд, именно он «собирает» первичную информацию об исследуемом объекте. К зондам предъявляются следующие требования:
Острие зонда должно иметь размеры, сопоставимые с размерами исследуемых объектов. При необходимости получения атомарного разрешения, размеры острия должны быть порядка 1 нм.
Зонд должен быть прочным, чтобы избежать его повреждения в процессе сканирования.
В случае сканирующей туннельной микроскопии зонд должен быть проводящим.
Углеродная нанотрубка - квазиодномерная трубчатая структура, впервые обнаруженная как новая топологическая форма углеродных наночастиц.
Углеродные нанотрубки диаметром от 1 до нескольких десятков нм и длиной до нескольких микрон образуются в результате свертывания базисных плоскостей (0001) гексагональной решетки графита и могут быть однослойными, многослойными, спиралевидными. Углеродные нанотрубки получают при электродуговом разряде между графитовыми электродами, методом химического осаждения из газовой фазы, магнетронным распылением и другими методами.
Углеродные нанотрубки обладают высокой механической прочностью и могут использоваться для создания высокопрочных композитов, различных механических наноустройств, наноинденторы при измерении микротвердости. Соединяя углеродные нанотрубки, можно получать наноструктуры с разными свойствами, предназначенные для интегральных микросхем и микроэлектромеханических устройств. Углеродные нанотрубки, в зависимости от типа геликоидального упорядочения атомов углерода в стенках, имеют полупроводниковую или металлическую проводимость. Благодаря этому их можно применять как проводящие элементы в электронных устройствах (диодах, полевых транзисторах, стабилизаторах тока). В атомно-силовых микроскопах углеродные нанотрубки используют вместо металлического зонда [ CITATION Гус07 \l 1049 ].
Рис. 1 РЭМ-изображение зонда с углеродной нанотрубкой