8. Список литературы
«Микроэлектроника: Рабочая программа, задание на курсовую работу и методические указания к ее выполнению» – Ю.Г. Васильев, д-р техн. наук, проф., СПб. СЗТУ, 2004
«Основы микроэлектроники: Учебное пособие для вузов» – Аваев Н.А., Наумов Ю.Е., Фролкин В.Т. - М. Радио и связь, 1991.
« Микроэлектроника» – Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Москва, 1987 г.
« Технология и конструирование интегральных микросхем» – Березин А. С., 1983 г.
При выполнении данной работы использовано следующее программное обеспечение:
Microsoft
Office Пpoфeccиoнaльный плюc 2007
Microsoft
Office
Visio
Пpoфeccиoнaльный
2007
AutoCAD
Electrical 2006
Выполнил __________________ Д. Красовский
9. Приложение
Данные элементов ИМС1
Топологический чертеж ИМС (рис.5.1)2
Маска резистивного слоя (рис.7.1)
Подложка резистивного слоя (рис.7.2)
Маска слоя проводников и контактных площадок (рис.7.3)
Подложка слоя проводников и контактных площадок (рис.7.4)
Маска слоя нижних обкладок конденсатора (рис.7.5)
Подложка слоя нижних обкладок конденсатора (рис.7.6)
Маска слоя диэлектрика (рис.7.7)
Подложка слоя диэлектрика (рис.7.8)
Маска слоя верхних обкладок конденсатора (рис.7.9)
Подложка слоя верхних обкладок конденсатора (рис.7.10)
Маска защитного диэлектрического слоя (рис.7.11)
Защитного диэлектрического слоя (рис. 7.12)
1 Документ Microsoft Office Excel 2003 «Данные ИМС.xls»
2Здесь и далее документ Microsoft Office Visio 2007 «ИМС.vsd»