TEM

ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ

Лектор: Чеченин Николай Гаврилович

Конспект лекций на сайте: danp.sinp.msu.ru

Вопросы к зачету/экзамену

1.Основные процессы при взаимодействии электронов с веществом. Рассеяние электронов. Характеристическое рентгеновское излучение. Тормозное рентгеновское излучение. Генерация вторичных электронов. Медленные вторичные электроны. Быстрые вторичные электроны. Оже-электроны. Генерация электронно-дырочных пар и катодолюминесценция. Генерация плазмонов и фононов. Радиационные повреждения.

2.Характеристики электронного пучка. Яркость. Когерентность и энергетический разброс. Пространственная когерентность и размер источника. Стабильность. Источники электронов (электронные пушки). Источник с термоэлектронной эмиссией. Автоэмиссионные источники (АЭП).

3.Линзы. Апертура. Дефекты линз. Сферическая аберрация. Хроматическая аберрация. Астигматизм.

4.Разрешение. Глубина фокуса и глубина поля.

5.Регистрация электронов и изображения.

6.Вакуумная система. Держатели образцов.

7.Режимы ПЭМ в параллельном и сходящемся пучке. Дифракция в выбранной области (SAED). Светлопольное и темнопольное изображение. Сканирующая ПЭМ (STEM).

8.Дифракция в кинематическом приближении. З-н Брэгга. Обратная решетка. Индексы Миллера-Вейса. Сфера Эвальда. Вектор отклонения. Атомный и структурный фактор рассеяния. Разрешенные и запрещенные рефлексы. Размерные эффекты в дифракции.

9.Элементы динамической теории дифракции. Экстинкция. Колонковое приближение. Уравнения Хови-Уэлана. Интенсивность прямого и дифрагированного пучков. Эффективный вектор отклонения. Лауэ зоны. Двойная дифракция.

10.Кикучи-дифракция. Дифракция в сходящемся пучке.

11.Изображение и контраст в ПЭМ. Контраст плотности и толщины. Z-контраст. Дифракционный контраст, двух-пучковая геометрия. Эффекты толщины и изгиба пленки.

12.Изображение плоских дефектов. Трансляционный контраст. Дефекты упаковки в гцк материалах. Границы фаз.

13.Поля упругих напряжений. Контраст от одиночной дислокации. Дислокационные петли и диполи.

14.Матрица рассеяния.

15.Фазовый контраст. ПЭМ высокого разрешения (ВРПЭМ или HRTEM). Контраст кристаллической решетки.

16.Элементы теории изображения. Функция передачи.

17.Контраст муара. Трансляционный и ротационный муар.

18.Френелевский контраст. Контраст стенок доменов. Лоренцевская просвечивающая электронная микроскопия (ЛПЭМ).

19.Рентгеновская спектрометрия (XEDS). Спектрометры рентгеновского излучения. Полупроводниковые детекторы (ППД) рентгеновского излучения (РИ). Электроника ППД-спектрометра. Артефакты XEDS. Пространственное разрешение в XEDS.

20.Спектрометрия потерь энергии электронов (EELS). Пик нулевых потерь. Малые потери энергии. Область больших потерь.

21.Как приготовить образец?

141