Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

TEM

.pdf
Скачиваний:
119
Добавлен:
27.03.2015
Размер:
12.35 Mб
Скачать

φg = (iπ/ξg) {∫0t1 exp(-2πisz)dz + exp(-iα1)∫t1t1+t2 exp(-2πisz)dz

+ exp[-i(α1+α2)∫t1+t2t exp(-2πisz)dz }. (10.19)

При этом контраст BF/DF не будет дополнительным.

В случае 3-х ДУ контраст исчезает

поскольку эффективное смещение R будет равно нулю, поскольку 3×(1/3)[11-1] будет

восстанавливать идеальную решетку. Пример

такого исчезающего контраста показан на рис.10.5 [30].

Рис.10.5. Исчезающий контраст при наложении 3-х ДУ в нержавеющей стали.

Рис. 10.7. ДУ в шпинеле. а) –BF, б) – Рис.10.6. Схема возникновения схема образования ДУ/АФГ. трансляционного π-дефекта

π- и δ- контуры

В изображениях упорядоченных интерметаллидов типа Ni3Al могут возникать т.н. π- контуры. Природа дефекта, вызывающего соответствующий контраст поясняется на рис. 10.6. Интерметаллид имеет структуру типа L12, подобную гцк-решетку, в которой атомы Al находятся в углах ячейки, образуя между собой простую кубическую решетку. Дефект возникает за счет когерентной трансляции кристалла на R= 1⁄2 [110]. Изображение дефекта получается в DF с (100) рефлексом, который запрещен в неупорядоченной решетке, а в упорядоченной является рефлексом сверхрешетки.

91

Рис. 10.9. АФГ (ИДГ) дефект в GaAs.

Трансляционные границы распространены в окислах. Как правило в них ячейка

большая, что повышает вероятность возникновения такого рода интерфейсов. На рис. 10.7 изображен дефект в шпинеле (MgAl2О4) [31,32]. Контраст изображения, как видно из рис. 10.7а зависит от того какой рефлекс используется для DF. На рис. 10.7б

изображена схема образования дефекта. соответствующая трансляции на R=1/4[101]. Крупные кружки изображают анионы кислорода на различных уровнях (1,3), мелкие кружки и треугольники – катионы на различных уровнях (1-4). Дефект имеет все признаки ДУ в гцк материалах, одновременно он относится и к АФГ,

поскольку трансляционный вектор R=1/4[101] – идеальный вектор

кислородной подрешетки. Если

Рис. 10.8.Контраст АФГ в TiO2.

использовать рефлекс 220 для изображения дефекта, то 2πgR = π (π-

дефект) и дефект хорошо виден, в то время как для DF с 440 2πgR = 2π и

дефект виден лишь за счет остаточного

несоответствия, ввиду того что R не точно равно 1/4[101].

Аналогичным образом, виден

контраст на рис. 10.8, обусловленный

накладывающимися АФГ в TiO2[32]. Вектор трансляции R=1/2[01-1].

На рис. 10.9а приведено изображение АФГ в GaAs. Этот плоский дефект известен еще под названием инверсионная доменная граница (ИДГ) (Inversion Domain Boundary - IDB). Наблюдаемые контуры являются также трансляционными, но R не

соотносится простым способом к структуре решетки [33]. Из схемы на рис. 10.9б

видно, что трансляция обусловлена некоторой релаксацией связей Ga-Ga и As-As на интерфейсе {110}. Значение R ≈0.019±0.003 нм. Ввиду малости R эти контуры

называют δ-контурами. Величину R определяют с использованием компьютерного моделирования дефектов.

92

Границы фаз

На практике встречаются несколько видов фазовых границ, которые классифицированы в Табл.10.2.

Табл. 10.2. Некоторые виды границ.

Граница

Пример

Примечания

 

материала

 

Границы ферромагнитных доменов

NiO

 

Границы

BaTiO3

Небольшие

ферроэлектрик/пьезоэлектрик

 

тетрагональные

 

 

искажения

Композиционные границы раздела

GaAs/AlGaAs

ξg различно по обе

 

 

стороны от интерфейса

Структурные границы раздела

α-SiC/β-SiC

 

 

гпу-Со/гцк-Со

 

Композиционно-структурные

Nb/Al2O3

 

интерфейсы

Al/Cu

 

 

α-Fe/Fe3C

 

На рис. 10.10 изображен пример ФГ для NiO. Этот материал испытывает структурный

 

переход

из

кубической

в

 

 

ромбоэдрическую ферромагнитную фазу

 

в точке Кюри. Кубическую структуру

 

можно определить как частный случай

 

ромбоэдрической с углом α=60º в

 

ромбоэдре. Тогда ниже ТС этот угол

 

изменится только на 4.2' от α=60º. Т.о.,

 

большинство

g-векторов

лишь

 

незначительно

повернутся

и изменят

 

вектор отклонения s. Однако, как видно

 

из рис. 10.10, это незначительное

Рис.10.10. ФГ в NiO вблизи точки Кюри.

вращение

уверенно детектируется по

измененному

контрасту

и

слабым

 

контурам на границе фаз.

 

 

Поля упругих напряжений

В предыдущей лекции мы видели, что изгибы кристаллографических плоскостей изменяют условия дифракции и создают контраст в изображении. Изгибы также возникают вследствие упругих напряжений вблизи дефектов. Смещение атома в точке r на расстояние R(r) есть следствие деформации ε, вызванной напряжением σ.

Иллюстрацией к возникновению контраста упругих напряжений является схема на рис. 10.11. За счет изгибов плоскостей условии Брэгга могут выполняться даже в

случае, когда плоскость вдали от дислокации не дифрагирует, рис. 10.11а. Заметим, что контуры контраста смещены относительно проекции дислокации, как схематично

показано на рис. 10.11б. Изгибы плоскостей вокруг винтовой дислокации показаны на рис. 10.12.

93

(10.22б)

Воспользуемся опять уравнением Хови-Уэлана для оценки контраста от

напряжений. Согласно (10.3) для дефектного кристалла мы имели

 

dφg/dz = (πi/ξ0)φg + (πi/ξg)φ0 exp[-2πi(sz+gR)]

(10.20а)

dφ0/dz = (πi/ξ0)φ0 + (πi/ξg)φg exp[2πi(sz+gR)].

(10.20б)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис.10.11. Схема формирования

 

 

 

контраста упругих напряжений

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Однако на этот раз мы сделаем другую

 

 

подстановку, а именно:

 

φ0s = φ0exp(-πiz/ξ0)

(10.21а)

 

φgs = φgexp(2πisz -πiz/ξ0 + 2πi gR).

Рис. 10.12. Изгибы плоскостей

 

 

 

(10.21б)

Тогда ур-я Хови-Уэлана приобретают вид

вблизи винтовой дислокации.

dφ0s/dz = (πi/ξg)φgs(z)

(10.22а)

 

 

dφgs/dz = (πi/ξg)φ0(z) + [2πi(s + dR/dz)]φgs(z).

Опуская подиндекс s, последнее уравнение можно переписать как

dφg/dz = (πi/ξg)φ0(z) + 2πi sRφg.

(10.23)

Это уравнение выглядит так же как и (7.13а) за исключением того, что вместо s в

уравнении стоит sR, определяемая соотношением

sR = s + dR/dz (10.24)

Т.о., все основные результаты, полученные в предыдущей лекции, скажем зависимость от толщины, сохраняют силу, если заменить s на sR. Важно то, что примененный метод решения позволяет анализировать случаи непрерывно изменяющегося R. Т.е., контраст, обусловленный g·R, используется для дефектов с постоянным R, а для непрерывно меняющегося R используется sR, что определяется dR/dz.

Контраст от одиночной дислокации

Анализ делаем в колонковом приближении, рис. 10.13 [16]. Поле смещений вокруг одиночной дислокации описывается выражением [34]:

R = (1/2π){bφ+(1/4)[1/(1-ν)]·[be+b×u(2(1-2ν)ln r + cos 2φ)]}

(10.25)

Для удобства, R дано здесь в полярных координатах (r и φ), как показано на рис. 10.13), b – вектор Бюргерса, be – компонента вектора Бюргерса, ориентированная по краю дислокации, u – единичный вектор вдоль дислокационной линии, ν – отношение Пуассона.

94

Мы рассмотрим два случая: винтовой и краевой дислокаций. Для винтовой дислокации

be =0, b параллелен u, так что b×u = 0. В этом случае (10.25) приобретает вид:

R = b φ/(2π) =

 

= b /(2π) arc tg [(z-zd)/x]

(10.26)

Здесь, z и zd поясняются на рис. 10.13 [16]. Из этого уравнения видно, что g·R пропорционально g·b. Поэтому при анализе изображений дислокаций говорят о g·b- контрасте.

Рис.10.13. Эффект удаленной дислокации в колонковом приближении

Для краевой дислокации be = b и

g·R содержит два члена g·b и g·b×u. Рис.10.14. Изгиб плоскостей скольжения. Происхождение последнего члена

обусловлено изгибом плоскостей скольжения [34], как изображено на рис. 10.14. Этот изгиб усложняет анализ для

некоторых случаев.

В зависимости от знака g·R или g·b изображение дислокации будет располагаться либо по одну, либо по другую сторону от проекции дислокационного кора. При g·b = 0 контраст отсутствует, поскольку в этом случае дифрагирующие

плоскости параллельны R. Контраст может присутствовать в этом случае только лишь за счет члена g·b×u.

Практическим руководством по наблюдению дислокаций в ПЭМ может быть справочник [35], где также приведена достаточно обширная коллекция иллюстраций для характерных типов дислокаций и дефектов. Здесь мы ограничимся лишь

некоторыми характерными иллюстрациями. Изображение дислокаций иллюстрируется на рис. 10.15 и 10.16 [2]. На рис. 10.15 а,б,в дано светлопольное изображение с сильным

возбуждением рефлексов {11-1}(а) и {220}(б,в). Дислокации располагаются близко к (111) поверхности сплава на основе Cu, имеющего низкую энергию для ДУ. В этом случае парциальные дислокации могут разделяться и образовывать лентообразные дефекты. Одиночная линия под стрелкой на (в) – дислокация с вектором Бюргерса параллельным g, так что g·b =2. Три параллельных контура на (в) – три парциальных

дислокаций Шокли, имеющих одинаковые b, и образованных диссоциацией вектора Бюргерса 1⁄2 <112>. Они отсутствуют на (б), поскольку в этом случае g·b =0.

Изображение с {11-1}(а) образовано наклоном образца ~20º от полюса 111 к полюсу 112 и показывает контраст от ДУ. Они не дали бы контраста с рефлексом 111, поскольку g·R в этом случае либо 0, либо целое.

95

Рис.10.15. а-в: BF с {11-1}(а) и {220}(б,в).

 

Рис. 10.16. а: Сложная дислокация,

Дислокации располагаются близко к (111)

пересекающая границу доменов.

поверхности сплава на основе Cu, имеющего

б,в: Дислокации на интерфейсе (001)

низкую энергию для ДУ.

 

между двумя III-V компаундами с

г,д: Дислокации в Ni3Al в фольге с (001)

небольшим несоответствием решеток.

ориентацией

с

двумя

ортогональными

 

рефлексами {220}.

 

 

 

Дислокационные петли и диполи

Вакансии и междоузельные атомы, образующиеся при облучении материалов, при коалесценции образуют дислокационные петли (ДП). Существует несколько типов дислокационных петель [34]. Если вектор Бюргерса лежит в плоскости петли, то ее называют скользящей; если же он не лежит в ней (в частности, перпендикулярен), то такую петлю именуют призматической. Формирование контраста обсуждается и иллюстрируется в [35]. Представление о формировании контраста ДП дает схема на рис. 10.17. Отметим следующие особенности.

-ДП имеют либо положительные, либо отрицательные b.

-Могут присутствовать также ДП, которые не дают g·b –контраста.

-ДП могут включать одиночные и кратные ДУ, и т.о. давать контраст как на рис. 10.18 [36].

-Особый случай – дислокационные диполи, демонстрирующие пример взаимодействия дислокаций, рис. 10.19 [37]. ПЭМ – наилучший способ демонстрации диполей, поскольку они не дают дальнодействующих напряжений и имеют результирующий вектор Бюргерса, равный нулю.

96

 

 

 

 

 

 

Рис. 10.18. ДП в облученном Ni

Рис

 

 

 

 

 

демонстрируют контраст ДУ.

 

 

 

 

 

 

.

10.17.

Схема

формирования

 

контраста ДП. (а,б) междоузельные, (в,г)

 

вакансионные ДП. Внутренний контраст

Рис. 10.19. Призматические ДП в Zn,

– вращение по часовой стрелке, внешний

параллельные поверхности (0001).

контраст – вращение против часовой

 

стрелки.

 

 

 

 

Изображение в моде слабый-пучок темное-поле (WBDF)

Термин «микроскопия в слабых пучках» подразумевает формирование изображения как в DF, так и в BF. Темнопольная микроскопия получила более широкое распространение частично из-за того, что этот метод более понятен теоретически. WBDF с успехом используется для изображения дислокаций в виде узких линий с шириной ~ 1.5 нм. Позиция этих линий по отношению к дислокационному кору достаточно хорошо определена. Она не очень чувствительна к толщине фольги и к глубине расположения дислокации. В частности, WBDF очень полезен при исследовании диссоциированных дислокаций, где пары парциальных дислокаций могут быть на расстоянии только ~4 нм и это разделение все же сильно влияет на свойства материалов.

Метод состоит в выборе определенного g и перемещении его на оптическую ось,

Рис.10.20. а) Сфера Эвальда пересекает ряд регулярных рефлексов на расстоянии ng, где n не обязательно целое. б) Схема положений Кикучилиний при возбуждении 4g.

как при формировании обычного CDF (Л9), рис. 10.20. Затем образец наклоняется и

97

устанавливается достаточно большое sg и наблюдают DF с использованием этого g. Если дефект присутствует, то дифрагирующие плоскости могут изгибаться так, что условие Брэгга по-прежнему выполняется и эти участки плоскостей будут давать светлый контраст.

Проблема состоит в том, что по мере увеличения sg средняя интенсивность падает как 1/s², пятно в ДК становится слабым. При этом, взаимодействие прямого и дифрагированного пучков мало – выполняются условия, близкие к кинематическим.

На рис. 10.21 схематично поясняется метод возбуждения выбранного рефлекса. Простое геометрическое рассмотрение приводит к соотношению

n = 2m –N,

(10.27)

где ng расстояние в обратном пространстве от начала координат до точки пересечения с первой зоной Лауэ, mg – локализация Кикучи линии и N –ближайший рефлекс к Кикучи-линии. Величина s может быть определена из соотношения

s = (1/2)(n-1)|gλ.

(10.28)

На рис. 10.21 и 10.22 приведены примеры использования WBDF [2].

Рис.10.21. WBDF контуры толщины в отожженном MgO (А), (В,С)

увеличенное изображение в выделенных участках

Рис.10.22. Сопоставление

дислокационных контуров в сплаве на основе Cu. (А) – WBDF, (В) – сильный пучок с sg>0.

Дифракция в кристаллах с дефектами двойникования

Двойникование может происходить, например, при пластической деформации, рекристаллизации и фазовых превращениях. Двойники могут возникать в результате деформации сдвига, при которой все атомные положения по одну сторону границы(плоскости) двойникования связаны зеркальным отражением с атомными положениями по ее другую сторону. Иначе говоря, двойникование можно описать как поворот на 1800 вокруг оси двойникования. Плоскостями двойникования для гцк и оцк кристаллов являются {111} и {112}, соответственно.

98

Лекция 11

ФАЗОВЫЙ КОНТРАСТ

ПЭМ высокого разрешения (ВРПЭМ или HRTEM). Контраст кристаллической решетки. ВРПЭМ в многопучковой геометрии (on-axis). Элементы теории

изображения. Функция передачи. Некоторые особенности ВРПЭМ в LEO-912AB. Контраст муара (moiré patterns). Трансляционный и ротационный муар. Примеры

использования контраста муара. Френелевский контраст. Контраст стенок доменов. Лоренцевская просвечивающая электронная микроскопия (ЛПЭМ). Френелевский контраст от пор, газовых пузырей.

Разделение контраста на дифракционный и фазовый, как это прокламировалось в Л9, достаточно условно.

 

 

 

 

Фактически

мы

видим

 

 

 

 

фазовый

контраст всякий

 

 

 

 

раз, когда в изображение

 

 

 

 

дает вклад не один , а

 

 

 

 

больше

пучков.

Фазовый

 

 

 

 

контраст

появляется

как

 

 

 

 

результат

 

присутствия

 

 

 

 

разницы в фазе выходящих

 

 

 

 

электронных волн. Т.к. эта

 

 

 

 

разница

 

 

 

очень

 

 

 

 

чувствительна

 

 

к

 

 

 

 

небольшим изменениям во

 

 

 

 

многих факторах, толщина,

 

 

 

 

структура, состав образца,

Рис. 11.1. Предостережение. Глазам своим – доверяй, но

 

фокус,

астигматизм и

т.д.

проверяй!

 

в

оптической

системе

 

микроскопа, то это создает

 

 

 

 

 

 

 

 

определенные трудности

в

 

 

 

 

 

 

 

интерпретации

и

может

 

 

 

приводить

 

к

ошибочным

 

 

 

выводам.

 

 

Комической

 

 

 

иллюстрацией этого является

 

 

 

изображение

«двухголового

 

 

 

носорога» на рис. 11.1, чего,

 

 

 

как мы знаем, не бывает. На

 

 

 

самом деле – это удачно

 

 

 

сделанная фотография рядом

 

 

 

стоящих носорогов [38].

 

 

 

 

ПЭМ

высокого

разрешения

 

Рис. 11.2. HRTEM изображение кластера Eu в

 

(ВРПЭМ

 

или

HRTEM).

 

 

Контраст кристаллической

 

матрице кристалла SiC.

 

решетки.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Двумерное изображение

99

с высоким разрешением (HRTEM или здесь ВРПЭМ) кристаллической решетки является классическим примером фазового контраста. Пример изображения с высоким

разрешением приведен на рис. 11.2 (ВРПЭМ изображение кластера Eu в матрице кристалла SiC).

Рассмотрим основные особенности формирования контраста, изображающего кристаллическую решетку. Используя приближение 2-х пучков с конечным вектором отклонения sg, запишем (7.8) как

 

ψ = ϕ0(z)exp(2πkIr) + ϕg(z)exp(2πkDr)

(11.1)

 

где kD = kI + g + sg = kI + g'.

(11.2)

 

Полагаем ϕ0(z) = А, а exp(2πkIr) выносим за скобки, выражение для ϕg

представляем в виде

 

 

ϕg = B exp(iδ)

(11.3)

где, согласно Л7,

В = (π/ ξg) sin[πtseff ] /( πtseff )

(11.4)

и

δ = π/2 - πtseff .

(11.5 )

Тогда,

 

 

 

 

ψ = exp(2πkIr)[A + Bexp(2πig'r + iδ)]

(11.6)

Интенсивность может быть выражена как

 

 

I = A2

+ B2

+ AB[exp(2πig'·r + iδ) + exp(-2πig'·r - iδ)]

(11.7)

 

I = A2

+ B2

+ 2ABcos(2πg'·r + δ)

(11.8)

Поскольку g' почти перпендикулярно пучку (и параллельно х), то с учетом (11.5)

 

I = A2

+ B2

- 2ABcos(2πg'x - πst)

(11.9)

Т.о., интенсивность осциллирует с периодичностью 1/g' в направлении, параллельном g', и зависит от s и t.

 

В частности, когда s=0 и задействованы

 

только два пучка 0 и g, тогда g' = g и мы

 

увидим интерференционные полосы как на

 

рис. 11.3А, с периодом 1/g = d [2]. Эта

 

периодичность будет оставаться той же

 

самой независимо от того, как 0 и g будут

Рис.11.3. Схематичное изображение

располагаться относительно оптической оси,

контуров дифрагирующих

т.е. даже если дифрагирующие плоскости не

плоскостей (а) в геометрии

параллельны оптической оси.

наклонного пучка (б) и в on-axis-

На рис. 11.3б показана идеальная геометрия

геометрии (в).

 

для получения изображений, таких как 11.3а.

Геометрия называется геометрией наклонного пучка (см. рис. 5.14в). При этой геометрии s=0, плоскости параллельны оптической оси, но не параллельны пучку.

100

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]