- •Глава 7 полевые транзисторы
- •7.1. Общие сведения
- •7.2. Полевой транзистор с управляющим р-n-переходом
- •7.2.1. Устройство и принцип действия
- •7.2.2. Статические характеристики
- •7.3. Полевой транзистор с управляющим переходом типа металл - полупроводник
- •7.4. Идеализированная структура металл-диэлектрик - полупроводник
- •7.4.1. Общие сведения о мдп-структуре
- •7.4.2. Физические процессы в идеализированной мдп-структуре.
- •7.4.3. Особенности реальной мдп-структуры
- •7.5. Полевой транзистор с изолированным затвором
- •7.5.1. Уравнение тока стока и статические характеристики мдп-транзистора с индуцированным каналом
- •7.5.2. Мдп-транзистор со встроенным каналом
- •7.5.3. Параметры мдп-транзисторов
- •Крутизна стокозатворной характеристики
- •7.5.4. Особенности мдп-транзисторов с коротким каналом
- •7.6. Электрические модели полевых транзисторов
- •7.6.1. Статическая модель полевого транзистора с управляющим р-n-переходом
- •7.6.2. Нелинейная динамическая модель полевого транзистора с управляющим переходом
- •7.6.3. Малосигнальная модель полевого транзистора с управляющим р-n-переходом
- •7.6.4. Нелинейная динамическая модель мдп-транзистора
- •7.6.5. Малосигнальная модель мдп-транзистора
- •7.7. Шумы полевых транзисторов
- •7.7.1. Шумы полевых транзисторов с управляющим р-n-переходом
- •7.7.2. Шумы мдп-транзисторов
7.2.2. Статические характеристики
Выходные характеристики. Идеализированные выходные характеристики Iс = f(Ucu) при Uзи = const, рассчитанные по формуле (7.22), изображены на рис. 7.3.
При
отсутствии напряжения на электродах
(Uси
= Uзи
= 0)
ПТ находится в термодинамическом
равновесии, а токи электродов равны
нулю. При фиксированном нулевом напряжении
на затворе (Uзи
= 0)
ток канала сначала линейно увеличивается
с ростом напряжения Uси,
затем скорость роста уменьшается и
при некотором напряжении Uси
рост прекращается. Это происходит при
значении Uси
нас0 ,
соответствующем смыканию канала около
стока (см. рис. 7.2,г). Напряжение
насыщения определяется по формуле
(7.11).
Легко показать с помощью выражений (7.19), (7.20) или (7.22), что при любом фиксированном напряжении затвора (Uзи = const) ток стока проходит через максимальное значение, соответствующее условию dIc/d Uси = 0. Это условие выполняется, когда наступает перекрытие канала около стока, т.е. при Uси = Uси нас0о.
Подставив Uси нас из (7.11) в (7.22), получим значение тока (тока насыщения):
(7.23)
Формально из (7.22) при Uси > Uси нас после максимума должно начаться уменьшение тока. Однако вывод этот не правомочен. Дело в том, что уравнение (7.22) справедливо, пока не наступило перекрытие канала. При перекрытии канала у стока использованное при выводе уравнения для тока приближение плавного канала становится неприменимым. Кроме того, становится неправдоподобным и предположение о существовании резкой границы обедненной области, использованное для расчета ширины обедненной области (3.21), так как, когда сливаются два перехода, теряет смысл понятие перехода. В связи с неприменимостью формулы (7.22) после наступления перекрытия канала у стока вопрос о величине тока при напряжениях Uси > Uси нас требует дополнительного рассмотрения.
Штриховая линия на рис. 7.3 ограничивает область применимости выражения (7.19). Пересечение этой линии с расчетными характеристиками определяет для каждого заданного напряжения (параметра) Uзи напряжение Uси нас, при котором происходит перекрытие канала у стока, и соответствующие им токи насыщения Iс нас. В идеализированной модели ток при Uси>Uси нас принимают равным току насыщения (7.23), т.е. считают верхние участки характеристик горизонтальными, а область этих участков – областью (режимом) насыщения. Очевидно, что при Uси > Uси нас точка перекрытия канала смещается от стока в направлении к истоку и имеет, например, координату х = L' < L (см. рис. 7.2, д). Интервал ∆L = L – L' определяет область перекрытия. Рассмотренная особенность называется эффектом модуляции длины канала.
Таким образом, штриховая линия на рис. 7.3 соответствует началу насыщения тока при различных значениях параметра Uзи. Как же объяснить существование тока в перекрытой области ∆L бывшего канала, но теперь области, обедненной носителями?
Дело
в том, что на области перекрытия ∆L
существует падение напряжения, равное
разности приложенного напряжения к
стоку Uси
и
напряжения насыщения Uси
нас,
действующего между точкой перекрытия
(х
=
L')
и истоком:
∆U
= Uси
–
Uси
нас.
Эта разность потенциалов создает
продольное электрическое поле, которое
складывается с полем обедненных областей
переходов. Каждое поле в отдельности и
результирующее поле являются ускоряющими
для подходящих к области перекрытия из
канала электронов. Ускоряющее поле
переводит подошедшие электроны через
область перекрытия к стоку, вызывая в
этой области и в цепи стока ток.
Более того, экспериментально установлено, что с ростом Uси в области насыщения происходит некоторый рост тока стока. Объяснить это можно тем, что с ростом Uси реальная длина канала L' уменьшается, а напряжение на канале (на длине L') остается неизменным, равным напряжению Uси нас. Напряженность продольного поля Ex в канале, а значит, и ток увеличиваются. Этот эффект особенно сильно выражен в транзисторах с короткими каналами. В транзисторах с большой длиной канала (более 3...4 мкм) рост тока невелик и может быть учтен заменой в расчетных формулах (например, (7.19), (7.21)) величины L на L' < L.
Обратим теперь внимание на возможность лавинного пробоя при дальнейшем увеличении Uси. Причиной пробоя являются большие значения напряженности электрического поля, появляющиеся в переходе сток-затвор. Поля максимальны вблизи края затвора около стока. В этом месте происходит ударная генерация пар носителей электрон-дырка.
Электроны переносятся к стоку, а дырки двигаются к затвору, имеющему отрицательный потенциал. В результате этого увеличивается обратный ток затвора (ток утечки), а также ток стока, как показано на рис. 7.3. Напряжение лавинного пробоя Uсз проб является константой для прибора. Так как напряжение на переходе около стока равно сумме напряжений Uзи и Uси, то очевидно, что с ростом Uзи уменьшается напряжение Uси, при котором произойдет пробой. Поэтому в области лавинного пробоя наблюдается «перехлест» характеристик.
Стокозатворные (передаточные) характеристики. Это зависимости тока стока от напряжения Uзи при фиксированных значениях напряжения Uси. Эти зависимости для Uси >Uси нас показаны на рис. 7.4. Они могут быть рассчитаны по формуле (7.23) в предположении, что токи при Uси > Uси нас мало отличаются от Iс нас, характерного для начала области насыщения.
Для упрощения можно пренебречь контактной разностью потенциалов φк. Тогда из (7.23)
(7.24)
При Uзи = 0
(7.25)
и вместо (7.24) можно записать
(7.26)
Результаты, относящиеся к ВАХ транзисторов, были получены для варианта исполнения, когда распределение концентрации примесей в объеме канала однородное. В реальных транзисторах с р-n-переходом распределение легирующих примесей в пределах канала по толщине (ось у) может быть разным и находится между двумя предельными случаями (рис. 7.5): однородным распределением 1, когда они равномерно распределены во всем объеме канала, и распределением 4, когда основная часть примесей сосредоточена в узкой области около оси канала (так называемое пиковое распределение). Кривые 2 и 3 относятся к линейному и экспоненциальному распределению соответственно.
К
роме
распределения примеси важную роль
играет распределение подвижного
заряда, создающее ток в канале, по
толщине канала. Контактная разность
потенциалов р-n-перехода
и внешние напряжения на электродах
транзистора приводят к тому, что из
канала будут удаляться именно свободные
носители, а не обеспечивающие их появление
атомы примеси. Свободные носители заряда
в большинстве конструкций приборов
сосредоточены около оси канала, а их
закон распределения будет отличаться
от закона распределения примесей. В
работе [29] указывается, что распределение
носителей канала по оси у,
перпендикулярной к оси канала, будет
иметь пик, т.е. носители будут сосредоточены
в узкой области около оси канала
независимо от характера распределения
примесей (от технологии изготовления
прибора). Здесь же приведено решение
для предельного случая такого
распределения. Ток стока в этом случае
описывается выражением
(7.27)
которое справедливо в ненасыщенном режиме (крутые участки выходных ВАХ). В точке насыщения, когда выполняется условие (7.11), ток насыщения
(7.28)
Сравним аналогичные выражения (7.26) и (7.28). Величина тока насыщения в (7.28) при Uзи= 0 Iс нас = I0. При выводе формулы (7.28) за I0 принята величина в 3 раза больше, чем Iс нас в формуле (7.25). Такое различие связано с разными принятыми законами распределения заряда в канале. Уравнение (7.28) параболическое. Если построить графики по уравнениям (7.26) и (7.28) в одной системе координат, то окажется, что пределы, в которых изменяются характеристики передачи в относительном масштабе Iс нас/Iс нас0, малы.
Ввиду простоты квадратичной (параболической) зависимости (7.28) по сравнению с (7.26) ее очень удобно применять для представления характеристик прямой передачи полевого транзистора при инженерных расчетах. Позже мы увидим, что квадратичный вид зависимости существует и в МДП-транзисторах, которые исследованы более подробно. Поэтому из теории последних приборов ряд результатов можно перенести на полевые транзисторы с управляющим р-n-переходом с пиковым распределением подвижного заряда в канале.
