Настройка микроинтерферометра

Включить лампу (трансформатор) и положить испытуемую деталь на столик прибора исследуемой поверхностью вниз (к объективу). Повернуть рукоятку 23 так, чтобы указатель (стрелка) на ней стояла вертикально, и с помощью микрометронного винта 28 сфокусировать микроинтерферометр на испытуемую поверхность. Затем поворотом рукоятки 23 включить объек­тивную головку 34 (стрелка на рукоятке должна быть горизонтальной); при этом в поле зрения должны быть видны интерференционные полосы. С помощью микрометренного винта 28 следует добиться наиболее резкого изображения полос и такого положения, при котором в поле зрения будут видны одновременно изображения контролируемой поверхности и интерфе­ренционной картины. Если при резкой фокусировке на объект наиболее резкие и контрастные интерференционные полосы получились не в центре поля зрения, то следует отвернуть контргайку 27, и вращая винт 26, привести полосы в центр поля зрения. Затем провернуть фокусировку по испытуемой поверхности и закрепить винт 26 контргайкой 27. Винтом 26 и контргайкой 27 разрешается пользоваться только лаборанту или препо­давателю. Для получения большей контрастности полос рекомендуется по­воротом кольца 25 несколько уменьшить отверстие ампертурной диафрагмы.

Если на исследуемой поверхности имеется борозда глубиной /2, то, так как свет проходит борозду дважды, возникает добавочная разность хода, равная λ и интерференционная полоса искривится и дос­тигнет полосы соответствующей минимуму следующего порядка.

Аналогично искривляются полосы, перпендикулярные борозде. В этом случае наблюдаемая величина искривления будет равна расстоянию между полосами (рис. 3).

Е сли величина искривления равна Na, то глубина борозды:

(1)

Величина Na может быть найдена как отношение величины искривления полос к расстоянию между полосами.

Выражение (1) справедливо и для дробных значений. Измерение про­водится на интерференционном микроскопе МИИ - 3, предназначенном для визуального измерения неровностей от 1 до 03 мкм. Образец устанавлива­ется исследуемой поверхностью вниз на предметный столик 20 (рис. 2) и включают осветитель. Поворачивают рукоятку 23 так, чтобы указатель стоял вертикально и вращением микроскопического винта 28 фокусируют прибор на исследуемую поверхность. Далее, поворачивая рукоятку 23 так, чтобы указатель стоял горизонтально, включают объективную головку. В этом случае при наблюдении в окуляр видны интерференционные полосы. Вращением винта 26 устанавливают микроскоп на наиболее резкое изобра­жение полос. Тогда в поле зрения видны одновременно интерференционная картина и исследуемая поверхность.

Вращая предметный столик, добиваются того, чтобы следы обра­ботки (борозды) были перпендикулярны интерференционным полосам.

Винтовой окулярный микрометр следует утопить на тубусе микроскопа до упора и развернуть его так, чтобы одна из нитей перек­рестия была направлена вдоль интерференционных полос. При работе в бе­лом свете (интерференционная картина окрашена) все измерения произво­дят по двум соседним черным полосам. При этом λ принимают равным 0,55 мкм. Измерение состоит из двух операций:

1. Измерение расстояний между полосами

где N₁ и N₂ - отсчет по окулярному микрометру при совмещении нити пе­рекрестия с двумя соседними полосами.

2. Измерение величины искривления полос.

где N₃ - отсчет по окулярному микрометру при совмещении нити окулярно­го микрометра с одной из полос,

N₄ - отсчет при совмещении нити с той же полосой в месте изгиба.

Глубины борозд в мкм вычисляются по формуле (1), переписанной в виде:

(2)

где коэффициент 0,27 = λ/2;

Данные заносятся в таблицу 1.

Таблица 1

N опыта	N	N	N	N

Определяют d_ср. Для определения d_ср. необходимо с испытуемого участка поверхности несколько замеров. Для снятия замеров столик прибора снабжен микрометренными винтами 21, имеющими диапазон перемещения, равный 10мм. Цена одного деления барабанчика микрометренного винта (21) - 0,005мм. Определив d_ср, по таблице 2 находят класс точности обработанной поверхности.

Таблица 2

классы	10	11	12	13	14
dср в микрометрах	От 0,5 До 0,8	От 0,25 До 0,5	От 0,12 До 0,25	От 0,06 До 0,12	До 0,06

Окончательные результаты измерений записываются в виде:

d_ср = 0,26мкм, что соответствует 11 классу точности.