Лекции по гетеропереходам / курс лекций физика и технология полупроводниковых наноструктур / 01_инжекционный лазер
.pdfОбщие представления об инжекционных лазерах
Инжекционный лазер предназначен для преобразования электрической мощности, подводимой к прямосмещенному полупроводниковому диоду, в когерентное оптическое излучение.
Идеализированная ватт-амперная характеристика основывается на предположении, что выше порогового тока Ith постоянная доля приращения тока рекомбинации носителей заряда, преобразуется в фотоны, выходящие из лазера (покидающие пределы резонатора):
∆N ph =ηD∆Ne−h
ηD – внешняя дифференциальная квантовая эффективность (%)
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 1
Учитывая что
Pout =ε∆N ph |
I = q∆Ne−h |
|
где |
ε - энергия фотона |
|
|
q – заряд электрона. |
Pout = (εq)ηD (I − Ith )≡η(I − Ith )
Ток, при котором возникает лазерная генерация называется пороговым током, Ith.
η – внешняя дифференциальная эффективность (Вт/А)
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 2
|
7 |
|
|
|
ηC |
|
|
2,0 |
|
60 |
|
, Вт |
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
50 |
|
||
out |
|
|
|
|
|
|
1,5 |
|
|
|
|
мощностьВыходнаяP |
5 |
|
|
|
|
|
|
VНапряжение, В |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
40 |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
КПДη |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
4 |
|
|
|
Pout |
|
|
|
|
|
% |
|
|
|
|
|
|
1,0 |
|
30 |
, |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
3 |
|
|
|
|
|
|
C |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
20 |
|
|
|
|
|
|
|
|
0,5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
00 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
70,0 |
|
0 |
|
|
|
|
|
Ток I, A |
|
|
|
|
|
|
Пример ВАХ и ВтАХ для лазера на квантовой яме InGaAs (λ=980 нм)
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 3
В идеальном случае выходная мощность могла бы расти бесконечно при увеличении тока с постоянным наклоном, описываемым дифференциальной эффективностью η, однако в реальном приборе различные механизмы, такие как оптическое разрушение зеркал и тепловой разогрев активной области, устанавливают предел максимальной выходной мощности.
Вольт-амперная характеристика включает начальный экспоненциальный участок, описывающий открытие лазерного диода, и последующий линейный участок, характеризующийся последовательным сопротивлением RS. Она обычно аппроксимируется выражением:
V =V0 + RS I
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 4
V0 – напряжение открывания диода, близкое по величине к (ε/q)
(Однако, различные встроенные потенциальные барьеры, например на гетерограницах, которые могут существовать в лазерной структуре, приводят к дополнительному увеличению напряжения открывания)
Удельное последовательное сопротивление (Ом х см2)
ρS = ∑ diµ + ρcont
eni i
Вклад каждого из слоев плюс дополнительное влияние контактов
ni – концентрация µi – подвижность носителей заряда в i-м слое, di.- толщина.
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 5
Электрические характеристики слоев, образующих лазерный диод на основе GaAs
Слой |
d, |
Al0.8Ga0.2As эмиттеры |
|
|
Al0.3Ga0.7As эмиттеры |
|
||||
|
мкм |
N, |
µ, |
ρ, 10-6 |
|
N, |
|
µ, |
ρ, 10-6 |
|
|
|
-3 |
2 |
|
2 |
см |
-3 |
2 |
|
2 |
|
|
см |
см /Вс |
× |
|
см /Вс |
× |
|||
|
|
|
|
Ом см |
|
|
|
Ом см |
||
n-контакт |
- |
- |
- |
2 |
|
- |
|
- |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n-GaAs подложка |
100 |
2×1018 |
2000 |
16 |
|
2×1018 |
2000 |
16 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n-AlGaAs эмиттер |
1.5 |
5×1017 |
100 |
19 |
|
1×1018 |
800 |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p-AlGaAs эмиттер |
1.5 |
5×1017 |
50 |
38 |
|
1×1018 |
100 |
9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p-GaAs контактный |
0.2 |
1×1019 |
100 |
0.1 |
|
1×1019 |
100 |
0.1 |
|
|
слой |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p-контакт |
- |
- |
- |
25 |
|
- |
|
- |
25 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Полное |
|
|
|
100 |
|
|
|
|
53 |
|
сопротивление |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 6
Основной вклад в последовательное сопротивление обусловлен:
1)подложкой вследствие большой толщины. Поэтому исходную подложку толщиной около 400 мкм утоньшают до 100 мкм (предел прочности свободной пластины GaAs)
2)Al-содержащими слоями, особенно при высоком содержании Al. Поэтому, хотя 80%-AlGaAs позволяет достичь более хорошего оптического ограничения в GaAs-волноводе (по сравнению с 30%), используется весьма редко.
3)вклад слоев p-типа выше, поэтому используют подложки n-типа.
4)p-контакт, поэтому требуется сильное легирование p-GaAs (>1019 см-3) для уменьшения контактного сопротивления
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 7
Эффективность преобразования мощности, (т.е. коэффициент полезного действия, КПД) определяется как отношение выходной оптической мощности к подводимой электрической мощности.
η |
C |
= Pout |
≈ |
η(I − Ith ) |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
IV |
|
I (V0 + IRS ) |
||
|
|
|
|
КПД обобщает в себе электрическую характеристику диода (вольтамперную характеристику) и оптическую характеристику лазера (эффективность преобразования потока инжектированных носителей в когерентный свет, ватт-амперная характеристика).
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 8
1.КПД конкретного диода не является постоянной величиной, а зависит от тока накачки.
2.Ниже порога КПД равно 0
3.При больших токах электрическая мощность растет пропорционально квадрату тока, тогда как оптическая пропорциональна току. Таким образом КПД падает с ростом тока (выходной мощности).
4.Возрастание мощности, рассеиваемой в виде джоулева тепла, приводит к разогреву активной области. Проблема отвода тепла и температурной стабильности лазерных характеристик.
5.Существует оптимальный ток и соответствующая выходная мощность, которые максимизируют КПД для данного прибора (набора электрических и оптических характеристик).
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 9
Оптимальный ток, при котором КПД достигает максимума, может быть найден из условия:
∂ηC ∂I = 0
Учитывая выражение для КПД можно показать, что оптимальный ток
I0 = Ith (1 + 1 + x),
оптимальная выходная мощность:
P0 =ηIth 1 + x
обобщающий безразмерный параметр:
x =V0 (Ith RS )=V0 (jthρS )
Здесь jth – пороговая плотность тока, ρS – удельное сопротивление
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 1, стр. 10