Оформление таблиц
Таблица 1.2 - Параметры спектров ЭПР
Образец |
g-фактор |
∆Нрр, Э |
Ahpf, 10-4см-1 |
nCu, см-3 (по спинам) |
П Cu-Cu60 |
1,99 |
420 |
131 |
1017 |
П Cu-Cu60 |
1,99 |
420 |
131 |
1018 |
Cu-УДА |
2,08 |
300 |
93 |
1019 |
Cu-α-C:H |
g║=2,36, g┴=l,99 g║=2,71, g┴=l,99 |
300 |
93 |
1019 |
Оформление формул
∆Hpp≈gβS/r3≈gβSnCu, (1.1)
где g - значение g-фактора Сu;
β - магнетрон Бора;
S= 1/2 — спин иона Сu2+;
nCu - концентрация ионов Сu.
Образец
Таблица 3.9 - Статистическая обработка данных по толщинам в
результате травления Si3N4
Эксперимент №1 |
|||||||
нач. данные |
1 |
нач. данные |
2 |
нач. данные |
3 |
нач. данные |
4 |
125,56± 2,12 |
125,12± 2,06 |
125,12± 2,06 |
124,28± 1,44 |
124,28± 1,44 |
123,1± 1,74 |
123,1± 1,74 |
121,26± 2,03 |
Эксперимент №2 |
|||||||
124,7± 2,82 |
123,96± 2,89 |
123,96± 2,89 |
122,88± 2,94 |
122,88± 2,94 |
121,5± 1,05 |
121,48± 1,05 |
119,62± 2,81 |
Эксперимент №3 |
|||||||
120,5± 2,25 |
119,9± 2,93 |
119,9± 2,93 |
118,8± 3,03 |
118,8± 3,03 |
117,5± 2,3 |
117,48± 2,3 |
115,78± 2,59 |
Таблица 3.10 - Статистическая обработка данных по толщинам в результате травления ПКК
Эксперимент № 1 |
|||||||
нач. данные |
1 |
нач. данные |
2 |
нач. данные |
3 |
нач. данные |
4 |
475,56± 3,46 |
342,8± 4,35 |
342,8± 4,35 |
123,87± 3,00 |
484,93± 1,00 |
257,77± 5,44 |
470,13± 3,73 |
157,33± 4,18 |
Эксперимент №2 |
|||||||
483,83± 1,19 |
352,2± 1,55 |
484,0± 1,03 |
273,87± 3,58 |
484,77± 0,15 |
272,8± 1,52 |
482,83± 2,59 |
206,5± 1,55 |
Эксперимент №3 |
|||||||
480,27± 1,55 |
340,8± 2,21 |
477,63± 2,79 |
262,27± 2,09 |
481,27± 1,88 |
244,73± 3,33 |
481,5± 1,98 |
173,67± 2,64 |