- •Министерство образования и науки украины
- •Методические указания
- •«Твердотельная электроника»
- •7.090801 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы;
- •7.090804 – Физическая и биомедицинская электроника
- •Варианты заданий
- •Содержание
- •1 Технологические основы изготовления диода
- •1.1 Изготовление подложки
- •1.2 Эпитаксия
- •1.3 Окисление
- •1.4 Фотолитогрифия
- •1.5 Травление
- •1.6 Диффузия
- •1.7 Металлизация
- •1.8 Скрайбирование
- •2 Расчёт параметров диода
- •2.1 Расчёт конструктивных параметров диода
- •2.2 Расчет физических параметров материала
- •2.3 Расчет обратных токов
- •2.4 Температурная зависимость обратного тока
- •2.5 Напряжение пробоя
- •2.5.1 Тепловой пробой
- •2.5.2 Лавинный пробой
- •2.6 Расчет прямого падения напряжения
- •2.7 Температурная зависимость прямого падения напряжения
- •2.8 Расчет вольт–фарадной характеристики
- •2.9 Зависимость добротности от частоты
- •2.10 Расчет импульсных характеристик
Содержание
Задание. Режимы измерения. Режимы переходных процессов. Температурный диапазон |
|
1.Технологические основы изготовления диода |
|
1.1 Изготовление подложки |
|
1.2 Эпитаксия |
|
1.3 Окисление |
|
1.4 Литография |
|
1.5 Травление |
|
1.6 Диффузия |
|
1.7 Металлизация |
|
1.8 Скрайбирование |
|
2.Расчет параметров диода |
|
2.1 Расчет конструктивных параметров диода |
|
2.2 Расчет концентрационного профиля и подвижности носителей заряда |
|
2.3 Расчет обратных токов |
|
2.4 Температурная зависимость обратного тока |
|
2.5 Напряжение пробоя |
|
2.5.1 Тепловой пробой |
|
2.5.2 Лавинный пробой |
|
2.6 Расчет прямого падения напряжения |
|
2.7 Температурная зависимость прямого падения напряжения |
|
2.8 Расчет вольт–фарадной характеристики |
|
2.9 Зависимость добротности от частоты |
|
2.10 Расчет импульсных характеристик |
|
3.Теоретический расчет |
|
3.1 Исходные данные |
|
3.2 Физические константы |
|
|
|
|
|
ЗАДАНИЕ
Расчет параметров диода.
Расчет температурной зависимости ,
Расчет температурной зависимости .
Расчет вольт - фарадной характеристики .
Расчет частотной зависимости добротности (при ).
Расчет температурной зависимости .
Расчет зависимости .
Расчет зависимости .
РЕЖИМЫ ИЗМЕРЕНИЯ
:
РЕЖИМЫ ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССОВ
при
при
I
t
R=10 Ом
Uобр
ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДИАПАЗОН
-
Материал Si (кремний)
Вариант структуры p+-n-n+
Вариант №10
-
Rse,Ом/
10
ρ В,Ом∙см
2
τ В,мкс
1
ρ + П, Ом∙см
5∙10-3
σ,см/с
20
Wэпи, мкм
12
Xj, мкм
4
d, мкм
300
R,см
0.01
RTO,К/мВт
2
Pmax, мВт
100
τ SE,мкс
10-7
ρ SK,Ом∙см2
10-4