- •Министерство образования и науки украины
- •Методические указания
- •«Твердотельная электроника»
- •7.090801 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы;
- •7.090804 – Физическая и биомедицинская электроника
- •Варианты заданий
- •Содержание
- •1 Технологические основы изготовления диода
- •1.1 Изготовление подложки
- •1.2 Эпитаксия
- •1.3 Окисление
- •1.4 Фотолитогрифия
- •1.5 Травление
- •1.6 Диффузия
- •1.7 Металлизация
- •1.8 Скрайбирование
- •2 Расчёт параметров диода
- •2.1 Расчёт конструктивных параметров диода
- •2.2 Расчет физических параметров материала
- •2.3 Расчет обратных токов
- •2.4 Температурная зависимость обратного тока
- •2.5 Напряжение пробоя
- •2.5.1 Тепловой пробой
- •2.5.2 Лавинный пробой
- •2.6 Расчет прямого падения напряжения
- •2.7 Температурная зависимость прямого падения напряжения
- •2.8 Расчет вольт–фарадной характеристики
- •2.9 Зависимость добротности от частоты
- •2.10 Расчет импульсных характеристик
Министерство образования и науки украины
СЕВАСТОПОЛЬСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
Методические указания
ПО ВЫПОЛНЕНИЮ КУРСОВОГО ПРОЕКТА
ПО ДИСЦИПЛИНЕ
«Твердотельная электроника»
ДЛЯ СОМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ СТУДЕНТОВ ОЧНОЙ И ЗАОЧНОЙ ФОРМ ОБУЧЕНИЯ НАПРАВЛЕНИЯ 0908 – ЭЛЕКТРОНИКА
СПЕЦИАЛЬНОСТЕЙ:
7.090801 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы;
7.090804 – Физическая и биомедицинская электроника
СЕВАСТОПОЛЬ
2009
УДК 612.382
Методические указания к выполнению курсового проекта по дисциплине «Твердотельная электроника» для самостоятельной работы студентов очной и заочной форм обучения направления 0908 – «Электроника».
Специальности: 7.090801 – Микроэлектроника и полупроводниковые приборы; 7.090804 – Физическая и биомедицинская электроника
/Составил Гусев В.А. – Севастополь: Издательство СевНТУ, 2003 г. – 24 с.
Целью методических указаний является оказание помощи студентам в изучении теоретического материала и выполнение курсового проекта по дисциплине «Твердотельная электроника», предусмотренной учебным планом.
Рецензенты: к.т.н., доцент Богач Николай Владимирович
д.т.н., профессор Бржезинский Владислав Адамович
Методические рекомендации рассмотрены и утверждены на заседании кафедры «Электронной техники» факультета Радиоэлектроники СевНТУ (протокол №6 от 26 марта 2003 года).
Допущено учебно-методическим центром и научно-методическим советом СевНТУ в качестве методических указаний (протокол №_______ от «____»_______ 2003 г.)
ЗАДАНИЯ НА КУРСОВОЙ ПРОЕКТ ПО ДИСЦИПЛИНЕ
«ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА»
Обозначения величин:
Rse – удельное поверхностное сопротивление диффузионного слоя сильнолегированной базы;
ρ В – удельное сопротивление слаболегированной базы;
ρ + - удельное сопротивление низкоомной подложки;
τ S – время жизни по механизму рекомбинации через ловушки (Шокли);
τ А – время жизни по механизму Оже;
σ – скорость поверхностной генерации-рекомбинации;
NE, NB, N - концентрация примесей в эмиттере, базе и подложке;
R, S – радиус и площадь р-п перехода;
XJ – глубина залегания р-п перехода;
(U) – толщина ОПЗ р-п перехода;
WB, WЭПИ, d – толщина базы, эпислоя и подложки;
UB, UBTh – напряжение лавинного и теплового пробоя;
q, , D, L – заряд, подвижность, коэффициент диффузии и диффузионная длина;
C, Q, RB – ёмкость, добротность и сопротивление базы диода;
RT – тепловое сопротивление диода;
tВОССТ – время восстановления обратного сопротивления;
UO – контактный потенциал р-п перехода.
Варианты заданий
№/пара метры |
Rse, Ом/о |
ρВ, Ом∙см
|
τВ, мкс
|
ρ + п, Ом∙см |
σ, см/с |
Wэпи, мкм |
Xj, мкм |
d, мкм |
R, см |
RTO,К/мВт |
Pmax, мВт |
1,2 |
10 |
1 |
1 |
310-3 |
10 |
10 |
3 |
200 |
0,05 |
2 |
100 |
3,4 |
8 |
2 |
2 |
510-3 |
15 |
12 |
4 |
300 |
0,04 |
2 |
200 |
5,6 |
15 |
3 |
5 |
510-3 |
20 |
15 |
3 |
300 |
0,03 |
1 |
200 |
7,8 |
20 |
5 |
3 |
310-3 |
10 |
10 |
2 |
200 |
0,02 |
2 |
200 |
9,10 |
10 |
2 |
1 |
510-3 |
20 |
12 |
4 |
300 |
0,01 |
2 |
100 |
11,12 |
8 |
5 |
1 |
510-3 |
20 |
8 |
2 |
200 |
0,06 |
0,5 |
300 |
13,14 |
10 |
1 |
2 |
310-3 |
10 |
10 |
3 |
300 |
0,07 |
1 |
200 |
15,16 |
12 |
2 |
3 |
510-3 |
20 |
12 |
4 |
200 |
0,08 |
2 |
100 |
17,18 |
15 |
3 |
4 |
310-3 |
10 |
10 |
3 |
300 |
0,02 |
1 |
200 |
19,20 |
20 |
4 |
5 |
510-3 |
20 |
8 |
2 |
200 |
0,03 |
0,5 |
300 |
21,22 |
25 |
5 |
6 |
10-2 |
10 |
10 |
3 |
300 |
0,04 |
1 |
100 |
23,24 |
30 |
1 |
7 |
310-3 |
20 |
8 |
4 |
200 |
0,05 |
2 |
200 |
25,26 |
40 |
2 |
8 |
510-3 |
10 |
10 |
3 |
300 |
0,06 |
1 |
200 |
τ SE = 10-7 с; ρSK = 10-3 Ом∙см2; SКР = 10-2 см2 |
Р+ - П-П+ - четный вариант
П+ - Р-Р+ - нечетный вариант