4.3.2. Мпп прецизионные на фолыированном основании

Для изготовления прецизионных МПП на фолыированном основании применяют фольгированные диэлектрики с улучшенными техническими и эксплуатационными характеристиками (толщина фольги которых составляет 5, 9, 12, 18 мкм). Использование тех же методов изготовления слоев, что и для МПП общего применения на фольгированном диэлектрике (SMOBS-процесс, тентинг-метод, химический негативный), но с примене­нием тонкомерной фольги позволяет изготавливать МПП 5-го класса точ­ности и выше (рис. 4.36).

Другим вариантом изготовления внутренних слоев является метод фо­тоформирования (разновидность аддитивного метода), в котором отсутст­вует операция травления меди с пробельных мест, а элементы печатного рисунка селективно наносят на нефольгированный диэлектрик. При этом фоточувствительный слой (фотоактиватор, он же — фотопромотор) нано­сят вместо фоторезиста на подготовленную поверхность; рисунок схемы получают путем химического толстослойного наращивания меди по прояв­ленному изображению схемы.

4.3.4. Мпп прецизионные на нефольгированном основании

Внутренние слои прецизионных МПП на нефольгированном диэлек­трике изготавливают электрохимическим (полуаддитивным) методом или методом ПАФОС (полностью аддитивное формирование отдельных слоев). Для изготовления слоев электрохимическим методом применяют тонкий нефольгированный стеклотекстолит с протектором и нефольгированный полиимид. На рис. 4.38 представлены методы изготовления прецизионных МПП на нефольгированном диэлектрике.

На рис. 4.39 представлена структурная схема ТП изготовления преци­зионных МПП на нефольгированном основании.

Основные этапы изготовления внутренних слоев электрохимическим методом представлены в табл. 4.28, различные варианты исполнения кото­ рого были приведены в табл. 4.10, 4.11 и 4.22, поэтому более подробно рас­ смотрим метод ПАФОС.

4.3.5. Мпп изготовленные методом пафос

Метод ПАФОС применяют для получения МПП с проводниками и расстояниями между ними порядка 50...100 мкм при толщине 30...50 мкм. Основные характеристики МПП, изготовленные методом ПАФОС приве­дены в табл. 4.30.

При изготовлении МПП методом ПАФОС печатный рисунок слоя полностью формируют аддитивным методом селективно по рисунку на за­готовке из нержавеющей стали толщиной 0,5...0,8 мм. Затем проводящий рисунок впрессовывают в изоляционный слой на всю толщину проводни­ка, после чего спрессованный слой механическим способом отделяют от временного носителя. Геометрия проводников определяется только рисунком в пленочном фоторезисте (СПФ); изоляцию селективно формируют между проводниками в слое и между проводниками слоев (табл. 4.31).

Для формирования проводников на временном носителе применяют один из следующих способов:

• электрохимическое осаждение меди и никеля по рисунку в СПФ (см. табл. 4.31);

• химическое осаждение металлов;

• магнетронное напыление;

• ионно-плазменное осаждение.

Для формирования изоляции можно применить:

• прессование (см. табл. 4.31);

• полив (см. 2-й вариант метода ПАФОС);

• электронно-лучевой способ полимеризации (см. 2-й вариант метода ПАФОС).

В качестве изоляционного материала можно использовать:

• стеклоткань, пропитанную полимером (препрег), например, стекло­ ткань СТП-4-0,025 (см. табл. 4.31);

• жидкий полимер и др.

Форма, размеры и точность получения проводящего рисунка зависят от точности получения защитного рельефа, для получения которого применя­ют следующие способы:

• фотохимический способ с СПФ органопроявляемого или водощелоч- ного проявления (см. табл. 4.31);

• экспонирование или лазерное гравирование СПФ (см. 2-й вариант метода ПАФОС);

• механическое гравирование диэлектрика.