2.2Двухслойное отражающее покрытие
n2h2 = n3h3= λ0/4 = 600/4 = 150 нм
n2= nв
n3= nн
Находим показатель преломления n3:
Из таблицы плёнкообразующих материалов выбираем материал с минималь-ным показателем преломления для заданного диапазона λ1-λ2=400 – 800 нм:
|
Пленкообразующий материал |
Показатель преломления слоя ,n |
Методы нанесения |
Температура плавления, Тпл, ° С |
Область спектра, 1-2, мкм |
|
Фтористый Магний (MgF2) |
1,4 |
И ИЭ |
1263 1130 |
0,11-10. |
n3 = 1,79
Рассчитаем минимальный коэффициент отражения по формуле:
nв=2.4
nн=1.4
Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:
;
;
.
где
R1,3 = |r1,3|2
Т1,3 = 1- R1,3
Для построения спектральной характеристики R1,4= f(β) и R1,4 = f(λ) составим таблицы 2.3 и 2.4:
таблица 2.3
|
n2·h2 |
0 |
λ0/4 |
λ0/2 |
3λ0/4 |
λ0 |
|
β |
0 |
π/2 |
π |
3π/2 |
2π |
|
cos2β |
1 |
-1 |
1 |
-1 |
1 |
|
r2,4 |
0,139 |
0,379 |
0,139 |
0,379 |
0,139 |
|
r1,4 |
-0,289 |
-0,684 |
-0,289 |
-0,684 |
-0,289 |
|
R1,4 |
0,084 |
0,468 |
0,084 |
0,468 |
0,084 |
|
T1,4 |
0,916 |
0,532 |
0,916 |
0,532 |
0,916 |
таблица 2.4
|
λ, нм |
450 |
500 |
550 |
600 |
650 |
700 |
750 |
|
β |
0,6667 |
0,6000 |
0,5455 |
0,5000 |
0,4615 |
0,4286 |
0,4000 |
|
cos2β |
-0,5000 |
-0,8090 |
-0,9595 |
-1,0000 |
-0,9709 |
-0,9010 |
-0,8090 |
|
r2,4 |
0,322 |
0,358 |
0,375 |
0,379 |
0,376 |
0,368 |
0,358 |
|
r1,4 |
-0,537 |
-0,626 |
-0,672 |
-0,684 |
-0,675 |
-0,654 |
-0,626 |
|
R1,4 |
0,289 |
0,392 |
0,451 |
0,468 |
0,456 |
0,428 |
0,392 |
|
T1,4 |
0,711 |
0,608 |
0,549 |
0,532 |
0,544 |
0,572 |
0,608 |
-
Четырехслойное отражающее покрытие
n2h2
= n3h3=
n4h4=
n5h5=λ0/4
= 600/4 = 150 нм
n2= nв
n3= nн
n4= nв
n5= nн
Находим показатели преломления n4 и n5:
Из таблицы плёнкообразующих материалов выбираем материалы с максимальным nв= n4 и минимальным показателем преломления nн= n5 для заданного диапазона λ1-λ2=400 – 800 нм
|
Пленкообразующий материал |
Показатель преломления слоя ,n |
Методы нанесения |
Температура плавления, Тпл, ° С |
Область спектра, 1-2, мкм |
|
Двуокись титана TiO2 |
2.4 |
ИЭ |
1640 |
0,35-12. |
|
Фтористый Магний (MgF2) |
1,4 |
И, ИЭ |
1263 1130 |
0,11-10. |
n4 = 2,4
n5 = 1,4
Рассчитаем интегральный коэффициент отражения по формуле:
nв=2.4
nн=1.4
Рассчитаем амплитудные и энергетический коэффициенты отражения системы воздух – плёнки – подложка:
;
;
;
;
;
.
R1,6= |r1,62 |
Т1,6= 1- R1,6
Для построения спектральной характеристики R1,6= f(β) и R1,6 = f(λ) составим таблицы 2.5 и 2.6:
таблица 2.5
|
n4·h4 |
0 |
λ0/4 |
λ0/2 |
3λ0/4 |
λ0 |
|
β |
0 |
π/2 |
π |
3π/2 |
2π |
|
cos2β |
1 |
-1 |
1 |
-1 |
1 |
|
r4,6 |
0,139 |
0,379 |
0,139 |
0,379 |
0,139 |
|
r3,6 |
-0,12 |
-0,713 |
-0,12 |
-0,713 |
-0,12 |
|
r2,6 |
0,148 |
0,822 |
0,148 |
0,822 |
0,148 |
|
r1,6 |
-0,281 |
-0,922 |
-0,281 |
-0,922 |
-0,281 |
|
R1,6 |
0,079 |
0,85 |
0,079 |
0,85 |
0,079 |
|
T1,6 |
0,921 |
0,15 |
0,921 |
0,15 |
0,921 |
таблица 2.6
|
λ, нм |
450 |
500 |
550 |
600 |
650 |
700 |
750 |
|
β |
0,6667 |
0,6000 |
0,5455 |
0,5000 |
0,4615 |
0,4286 |
0,4000 |
|
cos2β |
-0,5000 |
-0,8090 |
-0,9595 |
-1,0000 |
-0,9709 |
-0,9010 |
-0,8090 |
|
r4,6 |
0,322 |
0,358 |
0,375 |
0,379 |
0,376 |
0,368 |
0,358 |
|
r3,6 |
-0,443 |
-0,598 |
-0,688 |
-0,713 |
-0,695 |
-0,652 |
-0,598 |
|
r2,6 |
0,458 |
0,663 |
0,786 |
0,822 |
0,796 |
0,736 |
0,663 |
|
r1,6 |
-0,586 |
-0,776 |
-0,89 |
-0,922 |
-0,899 |
-0,845 |
-0,776 |
|
R1,6 |
0,343 |
0,603 |
0,792 |
0,85 |
0,808 |
0,713 |
0,603 |
|
T1,6 |
0,657 |
0,397 |
0,208 |
0,15 |
0,192 |
0,287 |
0,397 |
