
- •Введение. Поверхность.
- •Лекция 1. Введение.
- •Поверхность.
- •1.1. Генерация электронных потоков.
- •1.2 Процессы при взаимодействии электронов с поверхностью твердого тела.
- •1.2.8.3. Истинно вторичные электроны.
- •2.1. Источники потоков атомов, молекул и радикалов (нч).
- •2.2. Процессы при взаимодействии атомов, молекул и радикалов с поверхностью.
- •2.3. Применение процессов взаимодействия нч с поверхностью
- •3.1. Источники ионных потоков.
- •3.2. Процессы при взаимодействии ионов с поверхность твердого тела.
- •4.1. Алгоритмы управления
- •4.2. Системы управления
- •Раздел 5. Взаимодейсвие плазмы с поверхностью.
- •5.1. Общие представления и терминология физики плазмы.
- •5.2. Элементарные процессы в низкотемпературной плазме.
- •5.4. Генераторы плазмы.
- •6.1.Углеродные нанотрубки.
- •6.2. Способы получения унм
- •5.3. Синтез наноструктур с использованием аппаратуры стм и смас
- •5.4. Нанокристаллические металлические материалы:
- •5.5 Синтез, свойства и перспективы нанокристаллических полупроводников
Раздел 5. Взаимодейсвие плазмы с поверхностью.
5.1. Общие представления и терминология физики плазмы.
Понятие о плазменном состоянии вещества.
В
любом газе при
существует
некоторое количество заряженных частиц.
Однако на свойства газа заряженные
частицы начинают влиять только при их
достаточно большой концентрации.
(Вещество (газ) переходит в плазменное
состояние).
Плазменное состояние (плазма) характеризуется следующими основными параметрами:
-
– температура, как мера энергии теплового
движения. Температуры разных частиц
могут быть различны
.
-
– плотность (концентрация) частиц
,где
.
-
–
давление частиц в плазме.
.
-
– степень ионизации. Ионы, атомы, молекулы
– тяжелые частицы. В предельном случае
.
-
функция
распределения частиц по скоростям или
по
кинетической энергии.
-
функция
распределения тяжелых частиц по
энергетическим состояниям.
Определение плазмы.
Плазма – это совокупность движущихся нейтральных и заряженных частиц, для которых выполняются условия:
1.
где
- линейный размер системы заряженных
частиц(плазмы),
, где
- индекс заряженных частиц (электроны,
ионы) Физический смысл
это радиус шара, в пределах которого
происходит полная компенсация зарядов
всех частиц.
3.
Для любых объёмов
плазма
квазинейтральна
4.
Для любых промежутков времени
плазма
квазинейтральна.
,
-
тепловая скорость частиц сорта
.
Эти два условия означают квазинейтральность, т.е. нейтральность для достаточно больших объёмов плазмы и за достаточно большой промежуток времени.
5.2. Элементарные процессы в низкотемпературной плазме.
Упругие и неупругие удары (столкновения) частиц.
При упругом соударении частиц происходит обмен импульсом и кинетической энергией. При неупругом ударе меняется внутренняя энергия одной (или двух) частиц.
Упругие и неупругие взаимодействия в плазме.
а) рассеяние электронов на нейтралах (аналогично движению электронов внутри твёрдого тела).
Максимальное
сечение (вероятность элементарного
процесса)
лежит в интервале
при
,
где
энергия электрона.
В результате рассеяния на нейтралах электрон теряет очень маленькую долю своей энергии.
б) ион-атомные упругие столкновения.
Сечение
этого процесса ()
и резко возрастает при столкновении
иона и атома одного химического элемента.
Это объясняется эффектом перезарядки
в) Кулоновские столкновения (столкновения заряженных частиц).
При
степенях
ионизации эти столкновения становятся
определяющими.
В равновесной плазме:
-
длины свободного пробега частиц равны.
Частоты столкновений
т.е. чаще всего происходят электрон-электронные
столкновения, и меньше всего происходят
ион-ионные.
г) неупругие столкновения с участием электрона.
-
возбуждение (тушение) уровней. Медленные
электроны эффективно теряют энергию
на возбуждение колебательных (зазор
между уровнями
эВ) и вращательных уровней (зазор между
уровнями
).
-диссоциация
(ассоциация) молекул на атомы и радикалы.
,
-
возбуждённая молекула,
-
составные части молекулы.
Вероятность диссоциации из основного состояния намного меньше чем из возбуждённого. Причина – кратковременность воздействия, в течение которого атомы (радикалы) не успевают получить необходимого для разлёта количества движения.
Диссоциация
идёт двухступенчатым путём, через
возбуждение электронных или
электронно-колебательных состояний.
.
Обратный процесс диссоциации –
ассоциация.
Ионизация
атомов и молекул – это главный процесс
генерации зарядов. При ионизации атом
(молекулу) покидает наименее связанный,
то есть обладающий минимальной
потенциальной энергией электрон.
.
Обратный процесс ионизации – тройная
рекомбинация. В твёрдом теле основной
процесс – двойная рекомбинация, так
как третяя частица – это связанный ион.
В плазме необходима третья частица.
Третьей частицей процесса рекомбинации может быть электрон, атом, молекула:
,
,
В
условиях электрических разрядов (
эВ) вероятность трёхчастичной рекомбинации
значительно меньше вероятности тройной
рекомбинации, так как
.
При
наличии в плазме молекулярных ионов,
может оказаться существенной диссоциативная
рекомбинация.
.
(Обратный процесс – ассоциативная
ионизация). Здесь третья частица
образуется в процессе рекомбинации.
Вероятность диссоциативной рекомбинации
больше вероятности тройной рекомбинации.
Процесс 4 является мощным источником
возбуждённых атомов и радикалов, что
определяет во многом эффективность
плазмохимических процессов.
д) Неупругие столкновения с участием только тяжёлых частиц.
Сечение этого процесса намного меньше чем сечение в процессе с участием электронов.
Возбуждение
(тушение)
.
Вероятность неупругого превращения
при атом-атомном (-ионном) столкновении
значительно только если их относительная
скорость приблизительно равна скорости
электрона в атоме (
см/с), что соответствует энергии частиц
десятки - сотни эВ (1 эВ
11000
).
ЛЕКЦИЯ 13. 5.3. МОДЕЛИ СОСТОЯНИЯ ПЛАЗМЫ.
Полное термодинамическое равновесие плазмы (ПТР) или равновесная плазма.
Плазма, ограниченная идеальной стенкой со всех сторон, находится в состоянии ПТР. Идеальная стенка – это такая стенка, что всё, что попадает на неё, возвращается в плазму (в том числе и фотоны). Пока идеальная стенка не создана. Пример ПТР плазмы – внутренняя часть звёзд и чёрные дыры.
В реальных условиях плазма не находится в состоянии ПТР. Однако, описывающие ПТР плазму математические соотношения используются для других моделей (реальных).
ПТР – состояния плазмы описываются Больцмановской статистикой:
а) Распределение каждого сорта частиц по скоростям (Максвеловское).
б) Распределение атомов, ионов и молекул по энергетическим состояниям описываются формулой Больцмана.
,
где g
– статистический вес уровня.
в) Закон действующих масс (уравнение Саха) для диссоциации.
,
где
–
частота колебательного движения
молекулы,
–
момент инерции молекулы.
г)
Уравнение Саха для однократной ионизации
().
,
где
–
статистическая сумма (сумма по уровням),
причём сумма, ограничиваемая уровнем
,
- снижение энергии ионизации, обусловленное
действием микрополей.
.
д) Условие квазинейтральности.
е) Закон парциальных давлений.
ж) Излучение плазмы описывается излучением абсолютно чёрного тела (АЧТ).
,
где
–
коэффициент испускания, K=1
–коэффициент поглощения,
–
спектральная плотность излучения АЧТ.
Уравнения
(1) – (7) записаны для плазмы простого
химического состава. В случае, когда
плазмообразующим веществом служит
химическое соединение, к этим уравнениям
добавляются законы действующих масс
для химических реакций. Например для
реакции
такой закон запишется следующим образом:
,
где
-
энергия активации.
Уравнения (1) – (8) позволяют получить полную информацию о равновесном состоянии плазмы, зная лишь два его параметра (T и p).
Отклонение от ПТР.
В
большинстве случаев плазма является
оптически тонкой (),
то есть излучение, генерируемое в любой
точке плазмы выходит за её пределы без
поглощения. Это приводит к нарушению
детального равновесия (нет компенсации
прямого и обратного процесса). Это может
привести к отклонению от Больцмановского
распределения по уровням и от ионизации
(диссоциации) по Саху.
Модель локального термодинамического равновесия (ЛТР).
Описывает состояние плазмы с неравновесным излучением, но с Больцмановскими функциями распределения и одной температурой этих распределений. Такое состояние плазмы реализуется тогда, когда частоты столкновительных процессов намного больше частот процессов с участием фотонов.
Критерий существования ЛТР:
а) Поскольку
максимальными частотами обладают
столкновительные процессы с участием
электронов, то для ЛТР
,
где
-
наибольшая энергетическая щель, обычно
совпадает с
.
Обычно
;
,
где
-
электронная плотность,
-
суммарное давление.
Модель частичного, локального термодинамического равновесия (ЧЛТР).
Если (9) не выполняется,
то нарушается распределение Больцмана
по возбуждённым состояниям, так как в
этом случае всегда перезаселён основной
уровень. Однако в широком диапазоне
существует детальное равновесие
столкновительных процессов, в которых
участвуют атомы (молекулы, ионы) в
возбуждённых состояниях.
Установлено, что
при
,
все уровни заселены по Больцману. Причём
в качестве температуры заселения уровней
служит
.
При
,
по Больцману заселены все уровни кроме
двух нижних. Такую последовательность
можно продолжить для более низких
.
Таким образом, состояние ЧЛТР – это состояние, когда отсутствует равновесность излучения, и один или более нижних уровней атомов (молекул, ионов) не подчиняются распределению Больцмана.
Двухтемпературная модель.
Такое состояние наиболее часто встречается для плазмы электрических разрядов, когда энергия внешнего источника (E- и H-поля) передаётся электронам, а тяжёлые частицы нагреваются путём столкновений с ними. Однако температура электронов остаётся всегда выше.
В
этой модели вводится 2 температуры:
и
.
Распределение
по скоростям Максвеловское с
и
для
электронов и тяжёлых частиц; распределение
по уровням Больцмановское с температурой
;
в закон действующих масс входит
температура
.
В
такой модели
,
где
,
-
длина свободного пробега электрона.