Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Kniga_16_Fizicheskie_osnovy_nanoinzhenerii-1

.pdf
Скачиваний:
209
Добавлен:
15.02.2016
Размер:
3.58 Mб
Скачать

Конспект лекций

 

 

 

 

 

 

 

 

83

Считают, что концентрация равновесных основных носителей

заряда в полупроводнике вне рn-перехода равна концентрации

примесей, т. е. примеси полностью ионизованы. Тогда равновесная

концентрация электронов nno

в нейтральной части n-полупровод-

ника равна ND ,

а равновесная концентрация дырок ppo в ней-

тральной части р-области равна NA :

 

 

 

 

nno = ND ; pno = NA.

Для равновесных концентраций всегда справедлив закон дейст-

вующих масс,

поэтому

произведение

концентраций основных

и неосновных носителей заряда в обеих частях рn-перехода всю-

ду одинаково и равно n2:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

i

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

p

no

= p

po

n

po

= n2.

 

no

 

 

 

 

i

На рис. 1.33 изображены зависимости концентраций основных

и неосновных носителей заряда по обе стороны от резкого рn-

перехода и в самом резком рn-переходе.

 

ppo

no

po

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

nno

 

 

 

 

 

 

 

 

 

pno

npo

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

d p

dn

 

 

 

 

 

 

 

NA > ND

 

 

 

 

 

x

Рис. 1.33. Зависимости концентраций основных

и неосновных носителей от расстояния в рn-переходе

84

Физические основы наноинженерии

1.6.2. РАВНОВЕСНОЕ СОСТОЯНИЕ рn-ПЕРЕХОДА

Концентрация дырок в р-области на несколько порядков превосходит концентрацию их в n-области, а концентрация электронов в n-области намного превосходит концентрацию электронов в р-области. Такое различие в концентрации однотипных носителей в контактирующих областях полупроводника приводит к возникновению диффузионных потоков электронов из n-области в р-область и диффузионного потока дырок из р-области в n-область. При этом область n, из которой диффундировали электроны, за-

ряжается положительно, а область p, из которой диффундировали

дырки, – отрицательно. Область же рn-перехода обеднена основными носителями заряда. Неосновные носители заряда рекомбинируют с основными. Поскольку область рn-перехода обеднена основными носителями заряда, то она будет обладать большим сопротивлением, чем электронейтральные рn-слои. В целом же переход электронейтрален, так как положительный и отрицательный заряды в смежных слоях одинаковы. Поэтому наличие различий в концентрации примесей в смежных слоях приводит к различию в ширине областей, занимаемых пространственными зарядами. В слое с меньшей концентрацией примеси ширина области пространственного заряда больше.

Нескомпенсированные заряды ионов примесей вызывают появление электрического поля, направленного от положительного заряда к отрицательному, т. е. из слоя n в слой p. Это поле будет

препятствовать дальнейшей диффузии. В равновесном состоянии диффузионные токи уравновешиваются дрейфовыми токами. Полный ток при этом через рn-переход равен нулю. Возникновение электрического поля в рn-переходе приводит к появлению разности потенциалов между смежными слоями, которая называется контактной разностью потенциалов.

Рассмотрим зонную схему для равновесного состояния рn- перехода. Как было показано ранее, уровень Ферми является общим при контакте тел, находящихся в термодинамическим равновесии. Поэтому уровни Ферми в n- и р-областях должны находиться на одинаковом уровне, что вызывает искривление энергетических зон.

Конспект лекций

85

На рис. 1.34 показаны зонные схемы р- и n-полупроводников до соприкосновения. Зонная схема рn-перехода в равновесном состоянии показана на рис. 1.35.

p n

Ecp

E

 

C

 

EF

Ei

Ei

EF

 

EV

EV

Рис. 1.34. Зонные диаграммы полупроводников р- и n-типа

Ecp

 

ϕ0

 

Eip

Ecn

 

 

EF

Evp

Ecn

 

+

 

d p

Evn

dn

Рис. 1.35. Зонная диаграмма рn-перехода

86

Физические основы наноинженерии

Образующаяся в рn-переходе контактная разность потенциалов UK создает в рn-переходе потенциальный барьер qUK = ϕ0,

препятствующий переходу электронов из n-области в р-область, а дырок – из р-области в n-область:

qUK = Ecp Ecn = Eip Ein = EVp EVn;

qUK = Eip Ein = (Eip EF ) +(EF Ein ).

(1.38)

Ход электростатического потенциала противоположен ходу зон

(рис. 1.36):

ϕ= dεdx.

ϕ

x

Рис. 1.36. Зависимость потенциала от расстояния в рn-переходе

Из закона действующих масс следует:

n

= n exp

 

EF Ein

 

;

(1.39)

 

 

 

no

i

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ppo

= ni exp

EF Eip

.

(1.40)

 

 

 

 

kT

 

 

 

Из (1.39) и (1.40) можно получить:

E

F

E = kT ln

nno

;

(1.41)

 

 

in

ni

 

 

 

 

 

Конспект лекций

87

 

 

E

E

F

= kT ln

ppo

.

 

 

 

(1.42)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ip

 

 

 

pi

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Подставим (1.41) и (1.42) в (1.38):

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

= kT ln

nno ppo

= kT ln

 

n

 

 

= kT ln

ppo

 

 

qU

K

 

 

 

 

no

 

 

 

.

(1.43)

 

n2

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

n

po

 

no

 

 

 

 

 

 

i

 

 

 

 

 

 

 

 

Следовательно, чем сильнее легированы области полупроводника, т. е. чем больше nno = ND и ppo = NA, тем больше контакт-

ная разность потенциалов.

Из (1.43) можно получить формулы, выражающие равновесные концентрации неосновных носителей заряда через равновесные концентрации основных носителей заряда в противоположных областях:

n

 

qUK

;

po

= n e

kT

 

no

 

 

qUK pno = ppoe kT .

1.6.3. ЗОННАЯ ДИАГРАММА рn-ПЕРЕХОДА ПРИ ПРИЛОЖЕНИИ ВНЕШНЕГО ПОЛЯ

Рассмотрим изменение зонной диаграммы при приложении к рn-переходу внешнего напряжения. При этом следует иметь в виду, что «плюс» внешнего источника опускает уровни энергии в зонной диаграмме, «минус» – поднимает. При приложении внешнего электрического поля нарушается термодинамическое равновесие, и уровни Ферми заменяются на квазиуровни Ферми, т. е. уровни Ферми при определенном поле. Полем в толще полупроводника пренебрегаем, т. е. считаем, что энергетические зоны идут без наклона (горизонтально).

Это означает, что практически все внешнее напряжение падает на переходе, а падение напряжения на электронейтральных частях полупроводника близко к нулю. На рис. 1.37 приведены зонные диаграммы рn-перехода в равновесном состоянии (а), при прямом (б) и при обратном (в) включении. При наложении внешнего поля

88

 

 

 

 

Физические основы наноинженерии

в

прямом

направлении

изгиб

зон в

рn-переходе

уменьшается

и становится равен

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q(UK U ),

 

 

 

 

 

 

где U – внешнее смещение в прямом направлении.

 

 

 

 

 

 

 

εi

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ecp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qUK

 

 

 

 

 

 

 

 

Eip

 

 

 

Ecn

а

 

p

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EFp

 

 

 

EFn

 

 

 

 

 

 

 

Evp

 

 

 

Ein

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Evn

 

 

 

 

 

 

 

Ecp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ecn

 

 

 

 

 

 

+

Eip

 

 

 

EFn

 

 

 

 

 

 

EFp

 

 

 

Ein

 

 

 

 

 

 

Evp

 

 

 

+

 

 

 

 

 

 

 

Evn

б

p

n

 

 

Ecp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Eip

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EFp

 

 

 

Ecn

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EFn

 

 

 

 

 

 

 

Evp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ein

 

 

 

 

 

 

 

q(UK +Uобр )

 

 

+

p

n

+

 

 

 

 

 

в

Evn

Рис. 1.37. Зонные диаграммы рn-перехода:

а– в равновесном состоянии; б – при прямом смещении;

в– при обратном смещении

(EFn )

Конспект лекций

89

Квазиуровни Ферми для основных носителей заряда в n-области и основных носителей в р-области (EFp ) сдвигаются отно-

сительно друг друга на qU , т. е.:

EFn EFp = qU.

Для тонкого рn-перехода допустимо считать квазиуровень EFn неизменным во всей n-области, а также во всем переходе.

Квазиуровень EFp можно считать одинаковым в р-области и во

всем рn-переходе. Пунктиром на рис. 1.37 условно нанесены квазиуровни Ферми для неосновных носителей заряда в каждой из областей. Вдали от рn-перехода они совпадают с квазиуровнями для основных носителей заряда, т. е. с уровнями Ферми для каждой из областей.

При наложении внешнего поля в обратном направлении (см. рис. 1.37) изгиб зон на рn-переходе увеличивается и оказывается равным

q(UK Uобр ),

где Uобр – часть внешнего напряжения, падающего на переходе.

1.6.4. ВАХТОНКОГО рn-ПЕРЕХОДА

Тонким рn-переходом называют электронно-дырочный переход, толщина которого столь мала, что можно пренебречь процессами рекомбинации и генерации носителей заряда в области объемного заряда рn-перехода.

То есть если известна плотность потока дырок jp или электронов jn в каком-либо сечении рn-перехода, то она такова же в лю-

бом другом сечении рn-перехода.

Из формул (1.39) и (1.40) можно записать концентрацию электронов np гр на границе запирающего слоя в р-области и концен-

трацию дырок pnгр на границе запирающего слоя в n-области:

EFn Eip

n

p гр

= n e

kT

;

(1.44)

 

i

 

 

90

Физические основы наноинженерии

 

EFp Ein

 

 

p

= n e

kT

;

(1.45)

nгр

i

 

 

 

при этом Eip и Ein принимают значения, соответствующие грани-

цам.

Для неосновных носителей заряда вдали от рn-перехода можно записать:

 

 

 

EFp Eip

 

 

n

po

= n e

kT

;

(1.46)

 

i

 

 

 

 

 

 

EFn Ein

 

 

pno = nie

kT

.

(1.47)

 

 

В формулах (1.46) и (1.47) произошла замена квазиуровней по сравнению с формулами (1.44), (1.45), так как в электронейтральной части полупроводника вдали от рn-перехода в р-области EFp = EFn , а в n-области EFn = EFp.

Разделим левые и правые части выражений (1.44) и (1.46) друг на друга:

np гр

 

EFn EFp

 

= e

kT ,

npo

 

 

 

откуда

 

EFn EFp

qU

np гр = npoe

kT

= npoe kT .

Разделим левые и правые части выражений (1.45) и (1.47) друг на друга:

 

 

pn гр

 

 

EFn EFp

 

 

= e

kT

 

,

 

 

pno

 

 

 

 

 

 

 

откуда

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EFn EFp

 

qU

p

= p e

kT

 

= p e kT .

nгр

 

no

 

 

 

 

no

При EFn EFp > 0, т. е. при прямом включении рn-перехода,

np гр > nno , pnгр > pno.

Конспект лекций

 

 

 

 

 

 

 

 

91

Избыточная концентрация неосновных носителей заряда на

границах в этом случае равна:

 

 

 

 

 

 

(

n)o = np гр npo = npo (eqU kT 1);

(1.48)

(

p)o = pnгр pno = pno (eqU

kT 1).

(1.49)

Эта избыточная концентрация появляется вследствие инжекции

носителей заряда через рn-переход.

n и

p являются функция-

ми:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

np = f (xp );

 

 

 

 

 

 

 

 

pn = f (xn ).

 

 

 

 

 

На рис. 1.38 показано изменение избыточной концентрации не-

основных носителей от расстояния от области рn-перехода.

 

p

 

 

 

 

 

 

 

n

 

np

np гр

 

 

 

 

 

 

 

 

(

np )

o

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

npo

 

 

p

гр

pn

 

 

 

 

 

(

n

 

 

 

 

 

 

p

)

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

o

 

 

 

 

 

 

pno

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

d p + dn

 

 

 

 

 

 

xp

0

 

 

 

 

0

xn

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 1.38. Зависимости концентраций неосновных носителей

 

 

 

 

в рn-переходе

 

 

 

 

 

Электроны, инжектированные в р-область, притягивают к себе дырки из объема этой области, так что вне рn-перехода сохраняется электронейтральность. Недостаток носителей заряда в объеме

92

Физические основы наноинженерии

пополняется через контакт. Аналогично дырки, инжектированные в n-область, притягивают к себе электроны из объема этой области, где также сохраняется электронейтральность. Глубина проникновения инжектированных носителей определяется их рекомбинацией. Неосновные носители рекомбинируют с основными, поэтому концентрация неосновных носителей падает с расстоянием:

np = (

np )

o

eX p

Ln ;

(1.50)

 

 

 

 

 

 

 

p

n

= (

p )

o

eXn

Lp .

(1.51)

 

 

n

 

 

 

где Ln , Lp – расстояние от границы рn-перехода,

на котором

концентрации неосновных носителей уменьшаются в e раз, которое называется диффузионной длиной. Заметим, что при приложении прямого смещения запирающий слой сужается. При обратном смещении рn-перехода он расширяется и: EFn EFp = qU < 0.

Тогда для обратного включения np гр < npo. В этом случае на-

блюдается проникновение неосновных носителей заряда через рn- переход из областей прилегания к рn-переходу. Выражения (1.48), (1.49) сохраняются и в этом случае. Однако избыточная концентра-

ция здесь имеет отрицательный знак ( np )o < 0; ( pn )o < 0, т. е.

в этом случае мы имеем дело не с избыточной, а с недостаточной концентрацией неосновных носителей.

pn-переход можно считать тонким, если d < Ln и d < Lp , т. е. если толщина перехода меньше диффузионных длин носителей заряда.

Плотность диффузионного тока через границы при любой полярности внешнего напряжения равна:

( j

)

 

= qD

 

dnp

 

 

 

 

xp =0

 

n

 

n

 

 

 

 

 

 

dxp xp =0

d (

np )

 

 

 

 

 

 

;

(1.52)

 

 

= qDn dxp

 

 

 

xp =0

 

 

( jp )

 

 

dpn

 

 

d( pn )

 

 

 

 

= qDp

 

= qDp

 

.

(1.53)

 

 

 

 

xn =0

dxn x =0

 

dxn x =0

 

 

 

 

 

 

n

 

 

n

 

 

Подставим в (1.52) и (1.53) выражения (1.50) и (1.51) и получим с учетом (1.48) и (1.49):

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]