Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Kniga_16_Fizicheskie_osnovy_nanoinzhenerii-1

.pdf
Скачиваний:
172
Добавлен:
15.02.2016
Размер:
3.58 Mб
Скачать

Конспект лекций

93

(j

)

 

 

 

 

qDn ( np )

0

 

exp

Ln

 

 

qD n

p0

eqU kT −1

 

 

 

=

 

 

 

=

 

n

;

 

 

 

L

 

L

 

 

n

 

xp =0

 

 

 

 

 

xp =0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

(jp )

 

=

qDp ( pn )0

exn Lp

=

qDpnn0

eqU kT −1 .

xn =0

 

 

 

 

 

 

 

Lp

 

 

 

xn =0

 

 

Lp

 

 

 

 

 

Поскольку мы предположили, что плотности электронов и дырок одинаковы в любом сечении рn-перехода и на его границах, а также поскольку движение электронов и дырок противоположно друг другу, ВАХ рn-перехода можно представить в виде:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qDp pno

 

 

 

 

 

 

j = j

+ j

 

 

=

qDnnpo

+

 

eqU kT −1 .

(1.54)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

p

 

 

L

 

 

 

 

 

 

L

 

 

(

 

 

)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

С учетом того, что:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ln =

 

Dnτn ;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lp =

Dpτp ;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

j

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

eqU kT

−1 .

 

 

 

= qLnnpo + qLp pno

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(

 

 

 

 

)

 

 

 

 

 

 

τ

n

 

 

 

 

 

τ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Проанализируем (1.54).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

При обратном смещении на рn-переходе (U <0)

eqU kT →0,

а скобка (eqU kT −1)→−1, следовательно,

обратный

ток рn-

перехода стремится к

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Lnnpo

 

 

 

 

Lp pno

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qDpnno

 

 

j = q

+

 

 

=

qDnnpo

 

+

.

(1.55)

 

 

 

 

 

н

 

τ

n

 

 

 

 

 

 

τ

p

 

 

 

L

 

L

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

Эту плотность тока называют плотностью тока насыщения. Она достигается уже при U ≈ −0,1 В. jн определяется концентрацией

неосновных носителей и у германиевых рn-переходов больше, чем у кремниевых.

При прямых смещениях плотность тока через рn-переход растет по экспоненте и уже при небольших напряжениях достигает большого значения.

94

Физические основы наноинженерии

Подставляя в (1.55) (1.54), получим:

j = jн (eqU kT 1).

На рис. 1.39 показана ВАХ рn-перехода. Как видно из рисунка, рn-переход обладает ярко выраженной односторонней (униполярной) проводимостью, т. е. проявляет высокие выпрямляющие свойства.

j

U

Рис. 1.39. ВАХ рn-перехода

Подчеркнем, что перенос заряда через рn-переход осуществляется с помощью неосновных носителей, так как область рn- перехода обеднена основными носителями.

1.6.5. БАРЬЕРНАЯ И ДИФФУЗИОННАЯ ЁМКОСТЬ рn-ПЕРЕХОДА

Величины объемных зарядов в рn-переходе изменяются в зависимости от прикладываемого обратного напряжения вследствие изменения толщины обедненного слоя. Следовательно, рn-пере- ход обладает электрической ёмкостью.

Барьерная ёмкость (зарядовая) рn-перехода равна:

Cбар = dQdUоб = εdo(εUnS) ,

где S – площадь рn-перехода.

Конспект лекций

95

Барьерная ёмкость совпадает с ёмкостью плоского конденсатора, расстояние между обкладками которого равно толщине обедненного слоя. С ростом обратного смещения уменьшается вслед-

ствие увеличения d (U ). У рn-переходов с большей концентрацией примеси барьерная ёмкость больше.

Вольт-фарадная характеристика Cбар = f (Uоб ) (рис. 1.40) имеет достаточно сложный вид, поэтому применяют аппроксимацию:

Cбар(o) = Cбар(o)(1UUK )m ,

где m =0,3 ÷0,5; UK – контактная разность потенциалов.

Cбар

Сбар(o)

U

Рис. 1.40. Зависимость барьерной ёмкости от напряжения

Барьерная ёмкость слабо увеличивается с ростом температуры за счет UK . Температурный коэффициент ёмкости уменьшается

с ростом обратного напряжения.

При прямом смещении происходит инжекция неосновных носителей в p- и n-области. При изменении прикладываемого напряжения изменяется и концентрация инжектированных носителей, а следовательно, и заряды областей, что можно рассматривать как действие ёмкости. Так как эта ёмкость появляется за счет диффу-

96 Физические основы наноинженерии

зионной составляющей тока, то ее называют диффузионной. Если

толщина базы W

Lp , то

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

q

 

 

 

 

 

CD =

2

 

 

 

 

 

Iτp .

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

При W Lp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q

 

 

 

 

CD =

 

 

 

I

τD ,

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

где τD = W 2 2Dp

– среднее время

диффузии носителей через

n-область.

При больших прямых смещениях, когда ток инжекции значительно превышает ток рекомбинации, CD экспоненциально воз-

растает с ростом напряжения и значительно превышает Cбар

(рис. 1.41). При малых напряжениях диффузионная ёмкость меньше барьерной.

C

CD

Cбар

0,4 U , В

Рис. 1.41. Зависимости барьерной и диффузионной ёмкостей от напряжения

Конспект лекций

97

1.6.6. МЕХАНИЗМЫ ПРОБОЯ рn-ПЕРЕХОДОВ

При достаточно большом

обратном смещении рn-переход

«пробивается» и через него протекает очень большой ток. Различают три основных механизма пробоя: туннельный эффект, лавинное умножение, тепловая неустойчивость.

Туннельный пробой. В основе данного вида пробоя лежит туннельный эффект, т. е. проникновение электронов сквозь потенциальный барьер, когда его толщина достаточно мала (рис. 1.42). Когда электрическое поле в германиевых или кремниевых рn- переходах достигает ~106 B/см, начинают протекать токи, обусловленные туннельными переходами между зонами. Для получения таких полей концентрации примеси в р- и n-областях должны быть достаточно высокими. Туннельный пробой происходит в германиевых и кремниевых рn-переходах при напряжениях про-

боя, меньших 4Eg q. При напряжениях пробоя (4 6)Eg q про-

бой обусловлен как туннельным, так и лавинным механизмами. При напряжениях пробоя больших 6Eg q пробой связан с лавин-

ным механизмом. Так как ширина запрещенной зоны Ge, Si, GaAs уменьшается с увеличением температуры, то напряжение пробоя, связанное с туннельным эффектом, имеет отрицательный температурный коэффициент.

p

n

Eg

Eg

Рис. 1.42. Межзонное туннелирование

98

Физические основы наноинженерии

Лавинное умножение. Напряжение лавинного пробоя определяет верхний предел обратного напряжения диодов и коллекторного напряжения биполярного транзистора. Процесс лавинного пробоя полупроводника аналогичен ударной ионизации в газе. Электрон или дырка, ускоренные полем, могут ионизировать атом полупроводника, в результате чего получится новая пара элек- трон–дырка, а ток через рn-переход возрастает. При достаточно большой напряженности электрического поля ионизация может приобрести лавинный характер. При лавинном пробое пробивное напряжение с ростом температуры увеличивается.

Для резкого несимметричного рn-перехода напряжение пробоя равно:

Uпр = εпрW = εnεoε2m ,

2 2qNБ

где NБ – концентрация примеси в слаболегированной области; εm – максимальное электрическое поле.

I

U

1

2

3

Рис. 1.43. ВАХ кремниевых рn-переходов:

1 – лавинный пробой; 2 – туннельный пробой; 3 – тепловой пробой

Конспект лекций

99

Тепловой пробой. Тепловой механизм пробоя обусловлен выделением тепла в рn-переходе при протекании обратного тока. Рассеиваемая в переходе мощность равна: P =UIоб. Под действи-

ем этой мощности увеличивается температура перехода, а следовательно, растет и обратный ток. Вследствие теплового нагрева на обратной ветви ВАХ появляется участок с отрицательным дифференциальным сопротивлением, ток резко возрастает, и диод выходит из строя. На рис. 1.43 показаны ВАХ кремниевых рn-пере- ходов с лавинным, туннельным и тепловым пробоями.

1.6.7. ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ

Гетеропереходом называется переход, образующийся на границе двух полупроводников с различной шириной запрещенной зоны. На границе гетероперехода происходят изменения свойств полупроводника – меняются структура энергетических зон, ширина запрещенной зоны, подвижности и эффективные массы.

На возможность использования специфических свойств такого контакта для повышения эффективности инжекции эмиттеров биполярных транзисторов указывалось еще в патенте Шокли в 1948 г. В настоящее время гетеропереходы находят столь широкое применение при создании высокочастотных транзисторов и оптоэлектронных приборов, что работы нашего соотечественника Ж. И. Алферова и Г. Кремера (США) в области исследования гетеропереходов были отмечены присуждением им совместно с изобретателем интегральной схемы Дж. Килби Нобелевской премии по физике в 2000 г.

Различают анизотропные и изотропные гетеропереходы. Анизотропные переходы создаются в результате контакта полупроводников с дырочной и электронными типами проводимости. Изотропные гетеропереходы возникают при контакте полупроводников одного типа проводимости.

В гетеропереходах наблюдаются скачки энергии в зонах проводимости и валентной зоне. Гетероструктуры представляют собой комбинации различных гетеропереходов.

Из-за разрывов зон высота потенциальных барьеров, которые при инжекции приходится преодолевать электронам и дыркам, становится различной, что приводит к изменению соотношения

100

Физические основы наноинженерии

токов инжектируемых электронов и дырок. Отношение тока инжекции электронов к току инжекции дырок существенно возрастает. Наличие разрывов в положении краев энергетических зон приводит к тому, что в гетеропереходах имеет место практически односторонняя инжекция из широкозонного в узкозонный полупроводник.

Если из-за разрыва в положении края зоны инжектируемые носители при переходе в узкозонный полупроводник увеличивают свою кинетическую энергию, то при больших прямых смещениях концентрация носителей, инжектированных в узкозонный полупроводник, может даже превышать концентрацию свободных носителей в широкозонном слое. Данные свойства гетероперехода широко используется в полупроводниковых лазерах, некоторых транзисторах и других приборах, принцип работы которых требует однонаправленной инжекции носителей.

Различие параметров кристаллической решетки контактирующих материалов приводит к появлению на гетерогранице оборванных связей, дислокаций несоответствия и других дефектов, энергетические уровни которых выступают как центры рекомбинации. По этой причине задача выбора материалов для создания гетеропереходов оказывается весьма непростой. Требуется не только, чтобы различие параметров решетки двух контактирующих полупроводников при температуре выращивания было невелико, но и чтобы были близки их температурные коэффициенты расширения.

Рассмотрим зонную диаграмму между арсенидом галлия и арсенидом галлия алюминия GaAs–AlxGaxAs (рис. 1.44). Величина x характеризует содержание алюминия. С ростом x увеличивается ширина запрещенной зоны твердого раствора AlxGaxAs. Для x = 0,3 ширина запрещенной зоны твердого раствора Al0,3Ga0,7As

равна 1,8 эВ.

У границы раздела двух полупроводников образуется квантовый колодец, или зона двухмерного электронного газа (ДЭГ) (2D-газ). Двухмерный электронный газ представляет собой систему электронов, энергетические уровни которых дискретны. Они могут перемещаться только в плоскости ДЭГ, не покидая потенциальной ямы. Характерным свойством ДЭГ является то, что можно регулировать плотности электронов путем воздействия поперечного электрического поля. Электроны ДЭГ имеют повышенную эффективную концентрацию и подвижность.

Конспект лекций

 

101

EC1

 

ДЭГ

EC2

 

 

 

EF

-Обеднен ный

-Нелеги рованный

 

 

Легированный

 

 

 

 

 

EV 2

 

 

GaAs

 

 

Al0,3Ga0,7As

 

Рис. 1.44. Зонная диаграмма гетероперехода

При 300 К для гетеропереходной пары GaAs–Al0,3Ga0,7As:

EC 0,62 Eg 0,23 эВ; EV 0,38 Eg 0,14 эВ.

Вэтом случае отношения токов инжектируемых электронов

идырок будет составлять exp( Eg kT )2 106 раз. Столь значи-

тельный эффект дает основание говорить о действительно одностороннем характере инжекции в гетеропереходе.

1.7. ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ

Цельлекции: ознакомлениеспонятиемповерхностныхявлений.

1.7.1. ПОВЕРХНОСТНЫЕ СОСТОЯНИЯ

Рассмотрим процессы на поверхности полупроводника. В 1932 г. советским ученым Таммом было показано, что обрыв решетки приводит к возникновению разрешенных уровней в запрещенной зоне. Уровни Тамма возможны для идеальной поверхности полупроводника. Реальные поверхности покрыты слоем адсорбированных атомов и молекул. Эти примеси также создают поверхностные

102

Физические основы наноинженерии

уровни, которые могут быть как донорными, так и акцепторными. Роль примесей могут играть и различные дефекты решетки. Разрешенные уровни в запрещенной зоне полупроводника на его поверхности называются поверхностными уровнями, или поверхностными состояниями.

При высокой плотности поверхностных состояний они, взаимодействуя друг с другом, могут размыться в поверхностную зону. Электроны в этой зоне могут двигаться только вдоль поверхности.

Поверхностные состояния могут захватывать электроны или, наоборот, отдавать их, заряжаясь положительно или отрицательно. Заряжение поверхности полупроводника при заполнении поверхностных состояний сопровождается возникновением у поверхности слоя объемного заряда, нейтрализующего поверхностный заряд. Нейтрализация происходит путем притяжения к поверхности носителей со знаком заряда, противоположным знаку заряда поверхности, и отталкивания носителей одного знака. Вследствие этого поверхностный слой обедняется носителями того знака, которым заряжена поверхность, и обогащается носителями противоположного знака. При этом наблюдается изгиб зон и возникает поверхностный объемный заряд. Если поверхность полупроводника заряжена отрицательно, то в приповерхностном слое зоны изгибаются вверх, а если положительно, то вниз.

1.7.2. ЭФФЕКТ ПОЛЯ. МДП-СТРУКТУРЫ

Измерять объемный поверхностный заряд полупроводника можно с помощью поля, перпендикулярного поверхности. Для создания такого поля в полупроводнике, как правило, используют МДП-структуры (рис. 1.45).

U

Металл

Диэлектрик

Полупроводник

Рис. 1.45. Структура металл–диэлектрик–полупроводник

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]