Технология СБИС / sbis / metall / met_ho

Химическое осаждение металлов из парогазовой смесиХимическое осаждение металлов из парогазовой смеси Идея метода

Проводится химическое осаждение пленок из парогазовой смеси в реакторе пониженного давления. В технологии СБИС этим способом в основном наносят пленки тугоплавких металлов, таких как W, Mo, Ta, Ti.  Данные материалы используются как в качестве самостоятельных покрытий, так и как составную часть при формировании пленок силицидов, например, WSi2.

Реакции, лежащие в основе процесса металлизации, следующие:

2MoCl5+5H22Mo+10HCl (T= 800 °C)

2TaCl5+5H22Ta+10HCl (T= 600 °C)

TiCl4+2H2Ti+4HCl (T= 500 °C)

Нагрев происходит в реакторе с горячими или холодными стенками. В последнем случае проводят ВЧ нагрев подложек с подложкодержателем, а стенки реактора охлаждают. В реакторе с горячими стенками реакционная труба помещается в печь.

Схема реактора приведена на рисунке:

1 - газораспределительная система,

2 - система сброса газов,

3 - печь,

4 - подложки,

5 - реактор,

6 - выход к насосу,

7 - вентили,

8 - измерители расхода газа.

Преимущества метода

хорошее качество пленки, воспроизводящей рельеф поверхности подложки;

возможность нанесения пленок на относительно большое количество подложек одновременно;

простота оборудования.

Недостаток метода

невозможность получения качественных пленок алюминия.