Технология СБИС / sbis / metall / metall

Металлизация 

Общие вопросы Назначение и требования к металлизации

Методы осаждения металлических пленок

Проблемы металлизации и способы их устранения

Методы металлизации Химическое осаждение металлов из парогазовой смеси

Металлизация с использованием источников резистивного нагрева

Металлизация с использованием электронно-лучевого испарения

Металлизация с использованием источников индукционного нагрева

Металлизация с использованием ионного распыления

Металлизация с использованием магнетронного источника