Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
7
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
3.9 Кб
Скачать

Назначение и требования к металлизацииНазначение и требования к металлизацииПроцесс металлизации заключается в реализации межкомпонентных соединений с низким сопротивлением и создании контактов с низким сопротивлением к высоколегированным областям p- и n- типа и слоям поликристаллического кремния. Пример реализации металлических соединений приведен на схеме поперечного сечения полевого МОП транзистора (см. рис. 1).

Рис. 1

Требования к металлизации

хорошая адгезия металла на осаждаемой поверхности,

отсутствие электромиграции,

высокая коррозионная стойкость,

стабильность на последующих стадиях процесса,

простота изготовления.

Установка для получения тонких пленок испарением

Используемые материалы

В кремниевых МОП и биполярных СБИС в настоящее время для металлизации часто используют алюминий и его сплавы. Это обусловлено его низким удельным сопротивлением при комнатной температуре (2.7 мкОм·см), хорошей адгезией и низкой стоимостью. Проблемы коррозии и электромиграции решаются подбором характеристик осаждаемых материалов и разработкой методов изготовления и герметизации СБИС. Для металлизации используются также золото и многокомпонентные соединения, такие как Ti-Pt, Ti-Pd-Au, Ti-Pt-Au.

Для контакта с электродом затвора или подзатворным диэлектриком обычно используют тугоплавкие металлы и их силициды.

Контактные сопротивления

Контакт металла и полупроводника в изготавливаемых схемах, как правило, являются омическими. Сопротивление такого рода контактов Rc при слабом уровне легирования полупроводника не зависит от уровня его легирования Nd и задается выражением:

Rc = k/(q·A·T)·exp(q·f/(k·T)), где

A - постоянная Ричардсона,

k - постоянная Больцмана,

f - высота потенциального барьера на границе металл-полупроводник.

При высоком уровне легирования полупроводника Nd > 1019 см-3 Rc быстро уменьшается с ростом концентрации примеси по закону:

Rc ~ exp(C·f/Nd1/2),

где C = 4p·(e·m)1/2/h - константа.

Соседние файлы в папке metall