Технология СБИС / sbis / rost / rost

Подготовка подложек 

Общие сведения Преимущества кремниевой технологии. Требования к кремнию

Получение металлургического и электронного кремния

Структура и дефекты в монокристаллическом кремнии

Получение кремния методом зонной плавки

Выращивание кремния по методу Чохральского Оборудование и технология процесса

Основы теории роста монокристаллов

Факторы, влияющие на дефекты в процессе роста

Оценка качества кремния и параметров кристаллов

Окончательная обработка кремния