Технология СБИС / sbis / rost / def2

Справка: Поверхностные дефектыПоверхностные дефекты (справка)К поверхностным дефектам относятся:границы зерен монокристаллов,

двойниковые границы.

Двойникование - изменение ориентации кристалла вдоль некоторой плоскости, называемой плоскостью двойникования BC (см. рисунок). Эти дефекты возникают в процессе роста в определенных частях кристаллического слитка. Для производства ИС такие кристаллы не используют, их отбраковывают.