Выводы по результатам курсовой работы

В данной курсовой работе произведена разработка логического элемента по упрощению заданной функции. Упрощение было произведено с помощью карты Карно, упрощенная функция приведена к базису И-, ИЛИ-НЕ и имеет вид :

Далее, в соответствии с упрощением, была составлена электрическая схема, включающая заданную квазилинейную нагрузку- общую для группы переключающих транзисторов. Затем произвели аналитический расчет параметров транзисторов схемы и определили геометрические размеры затворов последних.

Геометрические размеры транзисторов Т₃, Т₄:

L = 6(мкм).

W = 18,84 19 (мкм).

Геометрические размеры транзисторов Т₂:

L = 6(мкм).

W = 9,42 10 (мкм).

Геометрические размеры для нагрузочного транзистора Т_н:

W = 4 (мкм),

L = 40,81  41 (мкм).

Электрическая схема, описанная в PSPICE, обсчитывалась для определения статических и динамических параметров схемы.

Логический уровень “0” получился отличным от заданного на 13,5%.

По полученным геометрическим размерам построена топология логического элемента и рассказаны основные этапы технологического маршрута изготовления МДП-транзистора с не совмещенным алюминиевым затвором, что является главной особенностью данной технологии. Вообще технологический маршрут с Al- затвором включаетпять фотолитографий :

1. Разделительная диффузия.

2. Формирование областей стока и истока.

3. Формирование тонкого под затворного окисла.

4. Формирование защитного окисла и контактных окон.

5. Металлизация.

В моем случае получился логический элемент с длинной 105,6 мкм, шириной 78 мкм и общей площадью 8236,8 мкм². Топология разработана по методу -проектирования с учетом всех заданных топологических ограничений и допусков.

Список используемой литературы :

1. Конспект лекций по микросхемотехнике.

2. Основы топологического проектирования, Онацько В. Ф.

3. Микросхемотехника, Алексенко А. Г.

- 12-