Московский Государственный Институт Электронной Техники.

(Технический Университет)

Домашнее задание №1

по курсу «Безопасность жизнедеятельности».

Вариант 3.

Выполнила: Безуглова Евгения

МП-48

Проверил: Рябышенков А.С.

Москва, 2003 год.

Вопрос 1. Методика анализа пэб. Участок диффузии.

1. Декомпозиция анализируемых объектов с целью выявления материальных носителей потенциальной опасности.

Предметы труда:исходные материалы – диффузанты, в качестве которых используются высокотоксичные соединения мышьяка, сурьмы, фосфора, бора.

Средства труда: машины, орудия, сооружения, здания, энергия.

На этапе заготовительных операций используется следующее оборудование:

- диффузионные установки: СДО -13,СДО-125/4, CДО-125/3-12,CДД-13,СДД-125ц/1;

Продукты труда, полуфабрикаты.

- полупроводниковая ИМС, подвергаемая после проведения операции диффузии, дальнейшей обработке (по технологической цепочке);

Технологический процесс, операции, действия.

Диффузия примесей проводится следующими методами : в открытой трубке в потоке газа-носителя, в ампулах, в вакууме, а также бокс-методом, среди которых наиболее широко применяют первый метод.

Подготовку к сборке и непосредственно сборку кварцевой ампулы проводят в скафандре с использованием средств индивидуальной защиты (защитных очков, резиновых перчаток, респиратора).

Сама диффузионная электрическая печь также располагается в специальном укрытии, оснащённом вытяжной вентиляцией. При этом, в случае разгерметизации ампул с навеской мышьяка в момент загрузки в печь створки шкафа должны быть немедленно закрыты и печь отключена. Выгрузка ампул и замена реактора производится после остывания печи до температуры не более 40 градусов. Вскрытие кварцевых ампул производится в вытяжном шкафу с использованием индивидуальных средств защиты. Для утилизации твёрдых отходов, загрязнённых мышьяком, применяют специальную тару, на которую наносятся предупредительные надписи - "Отходы мышьяка", "Яд".

В технологии кремниевых ИМС наиболее широкое применение нашёл метод диффузии в открытой трубке с твердым, жидким или газообразным источником примеси. В каждом случае в качестве диффузантов используются вещества, оказывающие токсичное действие на организм человека.

Обращение с указанными веществами требует соблюдения особых мер безопасности на всех этапах работы с ними. Транспортировка и хранение диффузантов производятся в запаянных кварцевых ампулах, помещенных в герметично закрывающийся контейнер, с размещением каждой ампулы в отдельном гнезде с амортизирующими прокладками. Места хранения должны быть недоступны попаданию воды. Вскрытие ампул работающими производится в вытяжном шкафу с использованием промышленного противогаза, халата, резиновых нарукавников, анатомических перчаток в присутствии инженерно-технического работника, ответственного за проведение данной работы.

Производственная среда.

В виду специфичности операции диффузии ее необходимо проводить в отдельном производственном помещении, не вмешиваясь в дальнейший процесс изготовления печатных плат.

Природно-климатическая cреда.

Предприятие находится в средней полосе РФ. Максимально возможная температура в течении года от +30 до +35 градусов, минимально возможная от -40 – до -35 градусов. Средняя летняя температура +25 градусов, средняя зимняя -25 градусов. В зимнее время большую часть дня необходимо искусственное освещение.