Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
SHADOW / PART_2.DOC
Скачиваний:
2
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
437.25 Кб
Скачать

2.3 Оснащение мультипликаторами производства современных дозу

Стремление изготовителей мультипликаторов обеспечить го-товность своих систем в режиме “just-in-Time” способствовало соз-данию рядом фирм ещё в 1986 г. моделей экспонирующего обору-дования, предназначенного для производства ДОЗУ ёмкостью 1М бит и пилотных образцов ДОЗУ ёмкостью 4М бит. Среди амери-канских поставщиков - фирмы: GCA-модификации мультипликато-ра серии DSW 8500, в том числе модель ALS-1 на базе DSW 8500, но рассчитанная на экспонирование пластин диаметром до 200мм; ASET - новые модификации мультипликаторов серии 900 SLR; Perkin-Elmer - Micrastep. Усовершенствованные мультипликаторы серии PAS 2500 предложила также нидерландская фирма ASM Lithography. Среди японских поставщиков систем экспонирования новую серию мультипликаторов для производства СБИС на плас-тине диаметром 100-150 мм выпустила фирма Nikon (табл. 2.9).

Очередные модификации мультипликаторов серии FPA-1550 представлены и другими японским поставщиком этого вида обору-дования - фирмой Canon. В число изготовителей мультипликато-ров для производства ДОЗУ ёмкостью 4М бит с минимальным раз-мером элемента 0,8 мкм и разработки ДОЗУ ёмкостью 16М бит с минимальным размером элемента 0,6 мкм в 1989 г. вошла также японская фирма Hitachi - модель LD-5010i.

Таблица 2.9

Параметры мультипликаторов фирмы Nikon для обработки пластин диаметром 100-150 мм

В 1988-1989 гг. изготовителям СБИС были предложены мо-дификации мультипликаторов, предназначенные для массового производства ДОЗУ ёмкостью 4М бит (табл. 2.10). В конце 1989 г. фирма Nikon рекламировала новые модификации мультипликато-ров серии NSR-1505 (табл. 2.11) для выпуска ДОЗУ ёмкостью 4М бит второго поколения. Осенью 1989 г. фирма Nikon поставила на рынок новую модель мультипликатора NSR-1755G7A (табл. 2.12), ориентированную на производство как ДОЗУ ёмкостью 4М бит, так и экспериментальных образцов ДОЗУ ёмкостью 16М бит.

И наконец, в 1990 г. фирма Canon сообщила о создании нового мультипликатора модели FPA-2000i1. В отличие от преды-дущих моделей мультипликаторов этой фирмы, он предназначен для экспонирования пластин на излучении I-линии. В систему вве-дены также высокоскоростной координатный стол, быстродейству-ющее устройство смены промежуточного шаблона, бесконтактная система транспортировки пластин. По заявлению фирмы, этот мультипликатор предназначен для массового производства ДОЗУ ёмкостью 16М бит. Его технические данные:

- Длина волны экспонирующего излучения.....................365 нм

- Масштаб переноса.................................................................5:1

- Числовая апертура...............................................................0,52

- Производственное разрешение (при К1=0,7)................0,5 мкм

- Размер поля экспонирования.....................................20x20 мм

- Погрешность совмещения............................................±0,1 мкм

- Выравнивание пластины перед........................покристальное

экспонированием..............................................или глобальное

- Источник экспонирующего излучения...............ртутная лампа

высокого давления

мощностью 1,5 кВт

- Неравномерность освещения..........................................±1,2%

- Диаметр экспонируемой пластины................................150 мм

- Производительность.........................................57 пластин в 1ч

Таблица 2.10

Параметры мультипликаторов с масштабом переноса 5:1 для производства ДОЗУ ёмкостью 4М бит

Таблица 2.11

Параметры мультипликаторов фирмы Nikon для производства ДОЗУ ёмкостью 4М бит второго поколения

Таблица 2.12

Параметры мультипликаторов фирмы Nikon для выпуска экспериментальных образцов ДОЗУ ёмкостью 16М бит

Соседние файлы в папке SHADOW